传感器和馈入件
Easy Rate Sensor Feedthroughs
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON 提供各种石英晶体监测仪 (QCM) 传感器馈入件，以适应经济型传感器。CF40 (2.75 in. ConFlat®) 和 2.54 cm (1 in.) 螺栓式馈入件提供电气连接、水冷却和空气管的各种组合。
专为经济型传感器设计的 INFICON 馈入件还可配备标准管接头，以便于安装用户定制长度的传感器。
除非另行说明，否则典型的馈入件电气连接都包含大气端的同轴 BNC 连接器和真空端的 Microdot® 连接器。这种款式的电气连接适合用于随经济型传感器订购或另外订购的真空电缆。
备注：采用标准管接头的馈入件带有外径为 4.8 mm (3/16 in.) 的水管和空气管。
备注：无标准管接头的馈入件带有外径为 4.8 mm (3/16 in.) 的空气管以及用于 4.8 mm (3/16 in.) 外径水管的通道。
下表根据传感器类型列出了馈入件要求和部件号的快速参考。
功能
- 可提供2.54厘米（1英寸）的螺栓或CF40（2.75英寸ConFlat®）样式
- 可提供穿孔管接头
