射频传感技术

我们的尖端射频传感技术为工业环境中的实时等离子体监测、晶圆蚀刻和过程控制提供了非侵入式解决方案。凭借精确的电弧检测和端点控制，我们的传感器可提高效率、防止电弧事件并降低运营成本。它们专为高速数据采集而设计，可确保半导体制造过程中的最佳性能。

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INFICON的射频技术确保等离子体监测的准确性

在半导体制造中实现精确的过程控制需要合适的工具。INFICON的射频传感技术（包括Sion™和ADC100）为实时等离子体监测和晶圆蚀刻提供了强大的解决方案。Sion™提供连续反馈，确保精确的端点检测，避免过度蚀刻和材料浪费。同样，ADC100提供卓越的电弧检测和保护，在维护生产效率的同时保护您的设备。

无论是管理精密的等离子条件还是确保一致的蚀刻质量，INFICON的射频传感器技术都能最大限度地减少停机时间，提高效率。凭借其坚固的设计，Sion™和ADC100都能承受恶劣的环境，同时提供最佳性能，使其成为高风险生产必不可少的工具。

将INFICON的射频传感解决方案整合到您的生产流程中，可以提高工作流程的可靠性，简化操作，并最大限度地减少停机时间。借助这些先进的工具，您可以更快、更准确地完成生产，从而提高您的竞争优势。