检漏仪

我们提供各种气体泄漏检测器和泄漏检测设备,包括创新的氦气泄漏检测器、氢气泄漏检测器、真空泄漏检测器、制冷剂泄漏检测器等,适用于各种市场和应用。

产品类型
用于工业制造的检漏仪 校准漏孔 示踪气体充气机 服务的检漏仪 附件
方法
嗅探 真空 积累
气体
氦气 氢气/成型气体 制冷剂 多种气体 燃料 天然气 空气 电解液 Carbon Monoxide
市场
暖通空调/制冷 工业制造 真空镀膜 安全 能源 半导体IDM和晶圆代工厂 半导体设备制造商 显示 医药和医疗 移动和汽车 研究与学术界 分析仪器 电池
931-UL6000-Fab-PLUS
氦气 泄漏检测器
UL6000 Fab

INFICON UL6000 氦气检漏仪旨在满足最为苛刻的泄漏检测应用的要求。UL6000 采用经过领域验证的真空设计,内置 INFICON 专利软件算法 I-CAL 和 Hydro-S,可以为测试提供灵活性和高灵敏度以及快速、精确的测试结果,确保任何泄漏检测应用均可快速、轻松地完成。

UL6000 Fab 系列
  • HYDRO-S (HYDROgen-Suppression) 能够快速达到测试条件。
  • UL6000 Fab PLUS - 其他优势
  • I-CAL(智能 - 泄漏率计算算法) 确保对所有测试范围内的泄漏做出快速响应。
  • 特殊的多进口涡轮分子泵可以在所有压力下提供最佳氦气泵速和高氦气压缩率,从而提供卓越灵敏度、快速响应和清洗。
916-UL3000-Fab-ULTRA
氦气 泄漏检测器
UL3000 Fab系列

为满足半导体应用中的检漏需求而设计

UL3000系列
  • 采用I-CAL软件算法,在10-9至10-12mbar-l/s范围内快速测量,节省时间
  • 使用I-ZERO 2.0进行最有效的检漏,其改进的智能功能可在保持高测量灵敏度的同时进行快速背景抑制
  • 适用于真空和嗅探检漏
  • 通过快速排空和响应时间,最大限度地减少检漏工作
937-UL1000-Fab
氦气 泄漏检测仪
UL1000 Fab

INFICON UL1000 Fab 氦气检漏仪是工业或半导体环境中经济型氦气真空泄漏检测的公认标准

UL1000 Fab
  • 通过缩短抽气时间和响应时间加快泄漏检测工作
  • 通过使用可选的背景抑制(I.Zero),避免需要进行多次泄漏测试。
  • 通过紧凑的设计方便进入空间有限的维护区域
  • 通过耐用的两个热丝离子源(三年保修)和逆流式真空系统实现低拥有成本 (TCO)
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