热电离真空计
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中真空至超高真空单真空计
- 纯粹的 Bayard-Alpert 测量系统,适用于超高压和高压测量范围
- 2 根灯丝
- 电隔离电子设备,避免杂散电流
- 滑动发射模式,避免压力跳跃
ATM 至超高真空 TripleGauge®
- 3 + 1 个传感元件,测量范围极广,降低成本,节省空间
- 双灯丝设计
- 独立于气体类型的 10 托以上压力测量,实现可靠的负载锁定控制。
- 压差测量消除了与大气压力变化有关的不确定性
ATM 至超高真空双真空计
- 双测量仪(2 个传感元件),测量范围宽,降低成本,节省空间
- 用于 Bayard-Alpert 系统的 2 根灯丝
- 皮拉尼联锁保护,避免灯丝过早烧毁
- 滑动排放模式,避免压力跳跃
INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG402 涵盖从 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr)的广泛测量范围
- 测量范围从 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr)
- 在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性
- 超压检测保护丝极,防止过早烧毁
- 双长使用寿命氧化钇铱丝
ATM到超高真空热阴极仪
与其他制造商的PBR 260 Pirani/Bayard-Alpert热阴极测量仪兼容。
- 产品编号IGG27000与PT R27 000匹配
- 编号IGG27001与PT R27 001匹配
- 编号IGG27002与PT R27 002匹配
INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计 BPG400 将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中,测量范围为 5×10-10 mbar至大气压(3.8×10-10 Torr 至大气压)。
- 从 5 x 10-10 mbar 至大气气压(3.8 x 10-10 Torr 至大气气压)的极其宽泛的测量范围
- 在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性
- 皮拉尼联锁保护 Bayard-Alpert 系统在高压操作下丝极过早烧毁和过度污染
- 长使用寿命氧化钇铱丝
INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计 BPG402-S 将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中,测量范围为 5×10-10 mbar至大气压(3.8×10-10 Torr 至大气压)。
- 从 5 x 10-10 mbar 至大气气压(3.8 x 10-10 Torr 至大气气压)的极其宽泛的测量范围
- 在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性
- 皮拉尼联锁保护丝极,防止过早烧毁
- 双长使用寿命氧化钇铱丝
INFICON Bayard-Alpert Pirani 电容式隔膜真空计 (Triple-Gauge™) BCG450 将三大不同技术的优势融合在一个体积小、价格低的规管中,可以测量从 5×10-10 至 1500 mbar(3.75×10-10 至 1125 Torr)的过程压力和基本压。
- BCG450 可节省成本和工具空间,降低真空测量仪器的安装与设置的复杂性
- 压力超过 10 Torr 时压力测量不受气体类型限制,可以为任何气体混合物提供更为可靠的预抽真空室控制
- 皮拉尼联锁保护丝极,防止过早烧毁
- 高真空皮拉尼自动调节,减少操作员的干预
INFICON 高压热电离 Pirani真空计 HPG400 将高压热电离技术与 Pirani 传感器整合在一个体积小、价格低的规管中,可测量 2×10-6 mbar 至大气气压(1.5×10-6 Torr 至大气气压)范围内的压力。
- HPG400 可节省成本和工具空间,降低真空系统的安装与设置的复杂性
- 高压热电离可以准确可靠地测量 1 X 10-5 至 1 mbar 范围内的压力,进而改善过程控制
- 用户可选的热电离发射在 5 X 10-2 至 1 mbar 之间启动
- 皮拉尼联锁保护丝极,防止过早烧毁
INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG302 涵盖从 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar(1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr)的广泛测量范围。
- 测量范围从 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar(1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr)
- 双标准长使用寿命氧化钇铱丝
- 一体式主动测量仪,内置显示器、设定点、模拟输出和标准集成式 RS485 数字接口
- 带键盘的明亮的数字 OLED 显示屏,简化设置、操作和编程
用于 VGC083 的微型热离子巴亚尔-阿尔伯特无源测量头
- 经久耐用、可靠、成熟的表头设计
- 结构紧凑,连接法兰和配件选择多,可直接替换
- 双氧化钇涂层铱丝阴极组件
- 电子轰击 (EB) 除气
INFICON Bayard-Alpert 被动真空计头 BAG050、BAG051、BAG052 和 BAG053 设计用于 INFICON 真空计控制器 VGC083A 和 VGC083B
- 可靠且经过验证的测量仪头设计
- 可代替大多数裸热电离真空计头
- 宽范围的发射电流(100μA 至 10 mA)
- 可提供单/双氧化钇涂层铱和双钨丝阴极组件
用于 IM540 的热阴极电离无源测量头
- 采用单独校准的传感系统,测量精度高
- 可更换阴极
- 最高 400 ° 的极端高温烘烤
电离真空计的新标准。
- 专为在高真空和超高真空范围内要求高测量精度的应用而开发
- 电极系统配置符合 ISO/TS 6737 标准
- 相对气体灵敏度可预测,不确定性小,可测量所有气体种类的真实压力