热电离真空计

Trigon™ BAG552

中真空至超高真空单真空计

BPG552-Trigon
嵌入式选项

与我们一起彻底改变您的真空计使用体验!

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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对于需要独立热离子规技术的应用,Trigon™ 系列中包含了采用单一技术的 Bayard-Alpert 热电离规 BAG552。

BAG552 专为压力范围为 5 × 10-10 ... 2 x 10-2 毫巴的气体真空测量而设计。支持双灯丝,具有出色的精度、可重复性和使用寿命。BAG552 还可与 INFICON 真空计控制器系列 VGC501VGC502 VGC503 配合使用。

VacXplor™ Software

VacXplor 是我们的模块化用户软件,旨在增强您使用 INFICON Trigon 真空计的体验。VacXplor 提供统一的界面、动态数据可视化和高级定制选项,安装时无需管理员权限。

在此下载 VacXplor™
Icon - VacXplor 1
Icon - VacXplor 1

优势

  • 纯粹的 Bayard-Alpert 测量系统,适用于超高压和高压测量范围
  • 双灯丝设计
  • 电隔离电子设备,避免杂散电流
  • 滑动发射模式,避免在切换发射流时出现压力跳跃和冻结现象
  • 可移动校准数据芯片,延长了烘烤时间
  • 设定点继电器
  • 明亮大屏幕 OLED 显示屏(可 90° 旋转),带用户界面
  • 模拟输出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
  • 可与 VGC50x 控制器系列配合使用
  • 符合 RoHS 规范

典型应用

  • 半导体工艺中的压力测量
  • 工业镀膜
  • 高真空至超高真空范围内系统的一般真空测量和控制

规格

测量范围 (空气, O2, CO, N2)5 × 10-10 … 2 × 10-2 mbar
准确度 
1 × 10-8 … 2 × 10-2 mbar±15% 读数
可重复性5% 读数, 10-8 … 2 × 10-2 mbar (稳定 10 分钟后)
暴露在真空中的材料不锈钢、镍铁合金、镀镍、哈氏合金、玻璃、铱、氧化钇 (Y2O3)、镍、钨

零件编号

BAG552 Ordering Information
BAG552 Ordering Information

备件

零件编号描述
352-420BAG552 备用传感器头, 25KF
352-421BAG552 备用传感器头, 40CF
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