热电离真空计

Trigon™ BCG552

ATM 至超高真空 TripleGauge®

BPG552-Trigon
嵌入式选项

与我们一起彻底改变您的真空计使用体验!

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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TripleGauge® BCG552 在一个传感器法兰中集成了 3 个真空传感元件。这款新型 TrigonTM 系列的旗舰产品具有极宽的测量范围,从 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1500 mbar)。由于增加了 ATM 传感器,BCG552 可用于压差测量,并在多个应用中用作真空开关。

支持的 Bayard-Alpert 双灯丝在 UHV 和 HV 范围内具有出色的精度、可重复性和使用寿命,而微型电容式隔膜真空计在 ATM 范围内具有出色的精度,并且不受气体类型的影响。

VacXplor™ Software

VacXplor 是我们的模块化用户软件,旨在增强您使用 INFICON Trigon 真空计的体验。VacXplor 提供统一的界面、动态数据可视化和高级定制选项,安装时无需管理员权限。

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Icon - VacXplor 1
Icon - VacXplor 1

优势

  • 3 + 1 个传感元件,测量范围极广,降低成本,节省空间
  • 双灯丝设计
  • 独立于气体类型的压力测量(10 托以上)为任何混合气体提供更可靠的负载锁定控制。
  • 压差测量消除了与大气压力变化有关的不确定性
  • 自动高真空皮拉尼调节减少了操作员的干预
  • 电隔离电子元件可避免杂散电流
  • 滑动排放模式,避免在切换排放流时出现压力跳跃和冻结现象
  • 设定点继电器
  • 明亮大屏幕 OLED 显示屏(可 90° 旋转),带用户界面
  • 模拟输出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
  • 可与 VGC50x 控制器系列配合使用
  • 向后兼容 TripleGauge® BCG450
  • 符合 RoHS 规范

典型应用

  • 半导体制程、传输和负载锁定室中的压力测量
  • 工业镀膜
  • 低真空至超高真空范围内系统的一般真空测量和控制

规格

测量范围 (空气, O2, CO, N2)5 × 10-10 … 1500 mbar
准确度 
950 ... 1050 mbar±2.5% 读数
50 ... 950 mbar±5% 读数
1 × 10-8 … 50 mbar±15% 读数
可重复性5% 读数, 1 × 10-8 … 1050 mbar (稳定 10 分钟后)
暴露在真空中的材料不锈钢、镍铁合金、镀镍、哈氏合金、玻璃、铱、氧化钇 (Y2O3)、镍、钨

零件编号

BCG552 Ordering Information
BCG552 Ordering Information

备件

零件编号描述
354-423BCG552 备用传感器头, KF25
354-424BCG552 备用传感器头, CF40
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