热电离真空计

Trigon™ BPG552

ATM 至超高真空双真空计

BPG552-Trigon
嵌入式选项

与我们一起彻底改变您的真空计使用体验!

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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对于测量范围要求从 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1000 mbar) 的应用,Trigon™ 系列包括双技术 BPG552 真空计。BPG552 由一个 Bayard-Alpert 热电离传感器元件和一个经典、坚固、可靠的皮拉尼传感器元件组成。支持的 Bayard-Alpert 双丝提供了卓越的精度、可重复性和使用寿命。

VacXplor™ Software

VacXplor 是我们的模块化用户软件,旨在增强您使用 INFICON Trigon 真空计的体验。VacXplor 提供统一的界面、动态数据可视化和高级定制选项,安装时无需管理员权限。

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Icon - VacXplor 1
Icon - VacXplor 1

优势

  • 双测量仪(2 个传感元件),测量范围宽,降低成本,节省空间
  • 用于 Bayard-Alpert 系统的 2 根灯丝
  • 皮拉尼互锁保护,避免灯丝过早烧毁
  • 自动高真空皮拉尼调节,减少操作员干预
  • 电隔离电子元件,避免杂散电流
  • 滑动排放模式,避免切换排放流时出现压力跳跃和冻结现象
  • 可移动的校准数据芯片延长了烘烤时间
  • 设定点继电器
  • 明亮大屏幕 OLED 显示屏(可 90° 旋转),带用户界面
  • 模拟输出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
  • 可与 VGC50x 控制器系列配合使用
  • 向后兼容 BPG402
  • 符合 RoHS 规范

典型应用

  • 半导体工艺中的压力测量
  • 工业镀膜
  • 低真空到超高真空范围内系统的一般真空测量和控制 超高真空范围

规格

测量范围(空气、O2、CO、N2)5 × 10-10 … 1000 mbar
准确性 
1 × 10-8 … 1 x 10-2 mbar 读数的 ±15
1 x 10-2 mbar … 1000 mbar          读数的 ±30
重复性读数的 5%,10-8 ... 10-2 毫巴(稳定 10 分钟后)
暴露在真空中的材料不锈钢、镍铁合金、镀镍、哈氏合金、玻璃、铱、氧化钇 (Y2O3)、镍、钨

零件编号

BPG552 Ordering Information
BPG552 Ordering Information

备件

零件编号描述
354-420  BPG552 Spare sensor head, KF25
354-421BPG552 Spare sensor head, CF40
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