真空计和控制器
INFICON 提供种类齐全的真空计和控制器，专为精确测量和监控工业过程中的真空度而设计。我们先进的仪器可提供准确的实时数据，确保各种应用中可靠的过程控制和效率。
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中真空至超高真空单真空计
- 纯粹的 Bayard-Alpert 测量系统，适用于超高压和高压测量范围
- 2 根灯丝
- 电隔离电子设备，避免杂散电流
- 滑动发射模式，避免压力跳跃
ATM 至超高真空 TripleGauge®
- 3 + 1 个传感元件，测量范围极广，降低成本，节省空间
- 双灯丝设计
- 独立于气体类型的 10 托以上压力测量，实现可靠的负载锁定控制。
- 压差测量消除了与大气压力变化有关的不确定性
ATM 至超高真空双真空计
- 双测量仪（2 个传感元件），测量范围宽，降低成本，节省空间
- 用于 Bayard-Alpert 系统的 2 根灯丝
- 皮拉尼联锁保护，避免灯丝过早烧毁
- 滑动排放模式，避免压力跳跃
大气压至中真空真空计
- 轻松一键调节 ATM 和 HV
- 节省空间的坚固设计
- 铝质壳体
- 可安装在任何方向
Most advanced digital Pirani technology, compact size and the variety of features.
- 可提供钨(PSG550)或镍(PSG552)灯丝，或为高腐蚀性应用提供全陶瓷涂层(PSG554)传感器单元
- 可选择显示、设定值和数字接口
- 最新的EtherCAT协议标准ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0
- 易于更换的插拔式传感器元件，具有板载校准数据--保证高重复性和低拥有成本
INFICON 皮拉尼电容膜片式测量仪 (PCG55x) 将 INFICON 皮拉尼技术与陶瓷电容膜片传感器的优点结合在单一产品中。
- 在 10 mbar 以上压力下不受气体类型限制 – 能够安全排放任何气体混合物
- 在大气压力下具有高度的准确性和再现性，能够进行可靠、快速的大气压力检测
- 灵活的安装方向提供自由的加工设计
- 可配备钨丝 (PCG550)、镍丝 (PCG552) 或全陶瓷涂层 (PCG554) 传感器装置用于高腐蚀性应用
INFICON Gemini® 倒置磁控管真空计是所有真空测量应用（专利申请中）的动力源泉。
- 在恶劣环境下，使用寿命长
- 低杂散磁场
- 零维护 - 可换插头
INFICON 倒泵控管 Pirani 真空计 MPG400 和 MPG401 测量范围为 5 x 10-9 mbar 至大气压力（3.8 x 10-9 Torr 至大气压力）
- 复合真空计 – 倒磁控管和皮拉尼
- 从 5 X 10-9 mbar 至大气气压的宽广测量范围
- 不会出现丝极烧毁的现象
- 卓越的点火属性
倒置磁控真空计适用于所有超高真空应用，测量范围为5x10-11 mbar
- 测量范围低至 5x10-11 mbar
- 扩展性版本, 传感器烘烤至 250°C
- 良好的点火属性
- 容易清洗
INFICON Augent® 光学等离子体真空计是一种紧凑、智能的真空监测解决方案。
- 高速检漏，可进行腔体检漏
- 提高生产率和产量
- 寿命长，不烧丝，有气涌保护
- 可承受工艺化学反应
INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG402 涵盖从 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr）的广泛测量范围
- 测量范围从 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr）
- 在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性
- 超压检测保护丝极，防止过早烧毁
- 双长使用寿命氧化钇铱丝
ATM到超高真空热阴极仪
与其他制造商的PBR 260 Pirani/Bayard-Alpert热阴极测量仪兼容。
- 产品编号IGG27000与PT R27 000匹配
- 编号IGG27001与PT R27 001匹配
- 编号IGG27002与PT R27 002匹配
INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计 BPG400 将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中，测量范围为 5×10-10 mbar至大气压（3.8×10-10 Torr 至大气压)。
- 从 5 x 10-10 mbar 至大气气压（3.8 x 10-10 Torr 至大气气压）的极其宽泛的测量范围
- 在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性
- 皮拉尼联锁保护 Bayard-Alpert 系统在高压操作下丝极过早烧毁和过度污染
- 长使用寿命氧化钇铱丝
INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计 BPG402-S 将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中，测量范围为 5×10-10 mbar至大气压（3.8×10-10 Torr 至大气压)。
- 从 5 x 10-10 mbar 至大气气压（3.8 x 10-10 Torr 至大气气压）的极其宽泛的测量范围
- 在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性
- 皮拉尼联锁保护丝极，防止过早烧毁
- 双长使用寿命氧化钇铱丝
INFICON Bayard-Alpert Pirani 电容式隔膜真空计 (Triple-Gauge™) BCG450 将三大不同技术的优势融合在一个体积小、价格低的规管中，可以测量从 5×10-10 至 1500 mbar（3.75×10-10 至 1125 Torr）的过程压力和基本压。
- BCG450 可节省成本和工具空间，降低真空测量仪器的安装与设置的复杂性
- 压力超过 10 Torr 时压力测量不受气体类型限制，可以为任何气体混合物提供更为可靠的预抽真空室控制
- 皮拉尼联锁保护丝极，防止过早烧毁
- 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员的干预
INFICON 高压热电离 Pirani真空计 HPG400 将高压热电离技术与 Pirani 传感器整合在一个体积小、价格低的规管中，可测量 2×10-6 mbar 至大气气压（1.5×10-6 Torr 至大气气压）范围内的压力。
- HPG400 可节省成本和工具空间，降低真空系统的安装与设置的复杂性
- 高压热电离可以准确可靠地测量 1 X 10-5 至 1 mbar 范围内的压力，进而改善过程控制
- 用户可选的热电离发射在 5 X 10-2 至 1 mbar 之间启动
- 皮拉尼联锁保护丝极，防止过早烧毁
INFICON 皮拉尼测量仪加强型 300 (PGE300) 像比它更大的 brotherP GE500 一样配备了市场上最新的数字对流增强型皮拉尼技术。
- 对流增强的皮拉尼技术可在大气压下实现宽测量范围和更高的精度
- 内置显示器的一体式主动式测量仪，1 个设定点和 3 个可选模拟输出信号
- 明亮的数字 LED 显示屏提供用户友好的校准和操作
- 3 个可选的模拟输出信号（用户可选）
INFICON 皮拉尼真强型(PGE) DeviceNet 版本配备了市场上最新的数字对流增强型 Pirani 技术。
- 对流增强型皮拉尼技术，测量范围广，接近大气层时精度更高
- 一体化有源表，内置显示屏，2个设定点，数字DeviceNet接口
- 明亮的数字OLED显示屏，带键盘，设置简单。
INFICON 皮拉尼仪表增强型 500 (PGE500) 采用了市场上最新的数字对流增强型皮拉尼技术。
- 对流增强的皮拉尼技术可在大气压下实现宽测量范围和更高的精度
- 内置显示器的一体式主动式测量仪，2 个设定点，4 个模拟输出信号和 2 个数字接口
- 带键盘的明亮的数字 OLED 显示屏，简化设置校准和操作
- 4 个可选的模拟输出信号（3 个用户可选，1 个默认）
新型 INFICON Pirani Piezo 组合仪表 (PPG550) 基于目前最先进的 MEMS（微机电系统）传感器技术。
- 2mbar以上的气体类型独立
- 大气环境下的高精确度和可重复性
- 安装方向灵活多样
- 可选择模拟输出信号
新型 INFICON Pirani 压电组合真空计 (PPG570) 基于现有最先进的 MEMS（微机电系统）传感器技术，该技术也用于我们的 PPG550 "ATM 至中真空 "真空计。
- 2mbar以上的气体类型独立--允许任何气体混合物的安全排放
- 大气层的高精度和重现性--用于可靠、快速的大气层压力检测
- 大气层环境压力测量 多
- 达3个固态继电器
INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG302 涵盖从 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar（1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr）的广泛测量范围。
- 测量范围从 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar（1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr）
- 双标准长使用寿命氧化钇铱丝
- 一体式主动测量仪，内置显示器、设定点、模拟输出和标准集成式 RS485 数字接口
- 带键盘的明亮的数字 OLED 显示屏，简化设置、操作和编程
大性能，小尺寸
- 卓越的跨度稳定性 - 独立于气体类型
- 氧化铝传感器
- 紧凑型，同级中的最小尺寸
- 易于集成，任何安装方向
工业应用，有温度补偿
- 从 100 mTorr 至 1000 Torr 的满刻度量程
- 电源接通后快速稳定
- 暴露于大气压后快速恢复
- 防腐蚀陶瓷传感器
苛刻的工艺应用，温度补偿
- 从 100 mTorr 至 1000 Torr 的满刻度量程
- 电源接通后快速稳定
- 暴露于大气压后快速恢复
- 防腐蚀陶瓷传感器
电流回路，温度补偿
- 全刻度范围从 100 毫托 … 1000 托
- 电源接通后快速稳定
- 暴露于大气压后快速恢复
- 防腐陶瓷传感器
卓越的信号稳定性，温度可控
- 拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗
- 易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点
- 轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移
- 诊断端口便于快速服务与维护
卓越的信号稳定性，温度可控
- 拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗
- 易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点
- 轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移
- 诊断端口便于快速服务与维护
高温应用，温度控制
- 拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗
- 易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点
- 轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移
- 诊断端口便于快速服务与维护
高温应用，温度控制
- 拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗
- 易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点
- 轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移
- 诊断端口便于快速服务与维护
EtherCAT，有温度补偿
- 易于集成，EtherCAT，各种满刻度和法兰，标配两个设定点
- 轻松一键调零或远程信号调零指令，可调零点偏移
- 诊断端口用于快速维修和维护
- 防腐陶瓷传感器
占地面积小，温度可控
- 紧凑型，节省宝贵的工具空间
- 易于集成，各种满刻度、法兰，标配两个设定点
- 轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移
- 诊断端口便于快速服务与维护
占地面积小，温度可控
- 紧凑型，节省宝贵的工具空间
- 易于集成，各种满刻度、法兰，标配两个设定点
- 轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移
- 诊断端口便于快速服务与维护
高速，温度控制
- 高生产力 - 响应时间快于 2 ms (FS > 50 mTorr)
- 灵活集成 - EtherCAT 现场总线
- 使用寿命长 - 经验证的陶瓷传感器
- 忘记重新校准 - 90ppm/年全方位稳定性
高速，温度控制
- 高生产力 - 响应时间快于 2 ms
- 灵活集成 - EtherCAT 现场总线
- 使用寿命长 - 经验证的陶瓷传感器
- 忘记重新校准 - 90ppm/年全方位稳定性
参考，真正的高精度
- 拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗
- 易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点
- 轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移
- 诊断端口便于快速服务与维护
用于OEM的微型传感器
- 微型传感器精度高
- 出色的重复性和长期稳定性
- 用于自定义集成和校准的可焊接馈入装置，或 用于集成工厂校准传感器的已焊接自定义法兰
- 传感器电子设备配备 SPI 接口，可轻松集成和安全通讯
用于OEM的微型传感器，双传感器
- 双微型传感器测量范围宽，精度高
- 范围广，精度高
- 优异的重复性和长期稳定性
与环境的差值 - 真空系统的安全开关
- 性能可靠且价格适中的真空开关
- 高使用寿命
- 坚固耐用的设计
- 易于集成
带有可调节电气开关触点的绝对压力开关
- 高开关精度 (± 0.1 mbar)
- 长期稳定的操作特性
- 坚固耐用、防腐蚀的结构设计
绝对开关 - 准确可靠的压力检测
- 耐腐蚀全不锈钢设计
- 设计稳健，符合洁净室标准
- 出厂预设或现场可调设定点，易于安装
差动开关 - 准确可靠的压力检测
- 耐腐蚀全不锈钢设计
- 设计稳健，符合洁净室标准
- 出厂预设或现场可调设定点，易于安装r
过程测量、控制和记录数据的可持续解决方案
- 采用点矩阵菜单引导方式显示参数、传感器或一般设置，操作简便
- 显示屏明亮清晰，用于远距离仪表读数
- 设定点或压力相对于时间的条形图显示
VGC094 是用于真空过程测量、控制和数据记录的著名解决方案。
- 用于真空监测和控制的完整解决方案，监测范围从 1×10-11 到 1000 毫巴，甚至是远距离监测
- 屏幕明亮清晰
- 条形图显示，带设定点或压力与时间关系视图
- 传感器操作简单，具有直观的指导菜单，可进行参数、传感器或常规设置
适用于VGC094的Pirani被动式测量头
- 弹性体（PSG010）或金属密封（PSG017，PSG018）设计
- 指定的高测量准确度与重复性
- 烘烤温度高达100°C（PSG010）/ 250°C（PSG017，PSG018）
- 抗电离辐射高达106Gy（PSG017，PSG018）
用于 VGC083 和 VGC031 的对流增强型被动皮拉尼计
- 对流增强型 Pirani 技术可在大气附近实现更宽的测量范围和更高的精度
- 镀金钨丝
- 机械结构坚固，不易受到机械冲击和振动的影响
- 多种法兰选择
用于 VGC094 和 VGC083C 的冷阴极无源测量头
- 基于倒置磁控管原理的表头设计可靠且经过验证
- 大真空压力测量范围能力从 1×10-11 (MAG070) 到 5×10-3 mbar
- 可烘烤至 150 °C (MAG050) 或 250 °C (MAG060, MAG070)
- 良好的点火性能
真空計頭 MAG084 是獨特的抗磁場倒置磁控管冷陰極真空計，專為搭配真空計控制器 VGC094 使用而設計。
- 可在強大的外部磁场中持续运行
- 可靠且经验证的测量头设计，以倒置磁控管原理为基础
- 创新的双电离室原理
- 可烘烤至 230 °C
用于 VGC083 的微型热离子巴亚尔-阿尔伯特无源测量头
- 经久耐用、可靠、成熟的表头设计
- 结构紧凑，连接法兰和配件选择多，可直接替换
- 双氧化钇涂层铱丝阴极组件
- 电子轰击 (EB) 除气
INFICON Bayard-Alpert 被动真空计头 BAG050、BAG051、BAG052 和 BAG053 设计用于 INFICON 真空计控制器 VGC083A 和 VGC083B
- 可靠且经过验证的测量仪头设计
- 可代替大多数裸热电离真空计头
- 宽范围的发射电流（100μA 至 10 mA）
- 可提供单/双氧化钇涂层铱和双钨丝阴极组件
用于 IM540 的热阴极电离无源测量头
- 采用单独校准的传感系统，测量精度高
- 可更换阴极
- 最高 400 ° 的极端高温烘烤
电离真空计的新标准。
- 专为在高真空和超高真空范围内要求高测量精度的应用而开发
- 电极系统配置符合 ISO/TS 6737 标准
- 相对气体灵敏度可预测，不确定性小，可测量所有气体种类的真实压力
用于过程测量和数据记录的高级控制器。
- 易于使用的点阵式菜单界面，用于调整参数、传感器或常规设置
- 清晰明亮的显示屏，用于远程读取设备数据
- 条形图显示设定点或显示压力随时间变化的情况
符合成本效益的壓力監控解決方案。
- 使用者可选择测量单位（Pa、mbar或Torr）
- 小巧的台式机设计，可轻松安装在面板或19“机架上
- 测量器可输出0至10 V信号，供PLC或图表记录器使用
- 一个可自由调整的设定点
为 与被动式测座 BAG05x 和 PGE050 配合使用而设计
- 使用特殊 OLED 显示屏用于参数、传感器或软键的常规设置，操作简单
- LED 显示屏亮度、清晰度高，用于真空压力读数
- 三个模拟输出，用户可分配给任何真空计
- 根据表头类型，选择德加电子轰击或 I2R 电阻加热调解仪表
离子参考计控制器 IRC081 及其用户界面是标准化离子参考计 IRG080 的操作和显示界面。
- 精确真空压力测量的操作和显示解决方案
- 用户可控制 IRG080 真空计的所有参数设置
- 通过 5 个电位计进行简单的手动操作
- 通过 USB-B 端口与电脑连接的用户界面
用于 PGE050 的单通道控制器
- 显示和控制宽泛的测量范围，从 1.3×10-4 到 1333 毫巴
- 明亮的数字 OLED 显示屏，带键盘，便于设置和操作
- 4 个用户可选模拟输出信号，2 个设定点继电器
- RS232/RS485 数字接口
多功能热阴极电离无源压力表控制器
- 支持 IE414（Bayard-Alpert）和 IE514（萃取器）热阴极电离规的操作
- 可连接和操作 PSG5xx（皮拉尼）、PCG55x（皮拉尼-电容式隔膜）和 CDG（电容式隔膜）有源真空计系列中的两个有源真空计
- 操作简单，可通过菜单引导显示进行参数、传感器或常规设置
连接到INFICON CDG产品系列，提供一个4位数的显示器
- 4 位数字显示，便于读数
- 大型 10mm 主动式 LED 显示屏 - 可从远距离和广角范围内读取
- 内嵌式插头设计
- 15pin D-Sub，没有额外的电源连接
用于工业过程的可靠、高性能真空计
INFICON 凭借其种类齐全的真空计、压力计和真空传感器，为工业真空监测提供高性能解决方案。 我们的仪器可确保准确测量工业过程中的真空度，并通过数字真空监测提供实时数据。
我们的产品稳定性高，可为关键过程提供可靠的测量，减少系统停机时间并提高运行效率。
借助 INFICON 真空技术，各行业可以在依赖真空的过程中保持最佳性能并确保高质量的结果。我们通过提供无缝集成和定制安装支持，确保从竞争对手的真空计转换到 INFICON 时停机时间最短，从而实现平稳过渡，不中断关键过程。