SMART 要素
在氦气泄漏检测中操作更简便,结果更快速

SMART-Spray: 快速、简单、可靠
通过 SMART-Spray,我们提供了一种新型氦气喷枪。有了 SMART-Spray,用软管搬运大型氦气瓶和容易出错的喷雾量调节都将成为过去。"产品经理马库斯-施万贝拉(Markus Schwambera)总结说:"这种方便的设备每次充氦可喷射 1000 次以上,它取代了遥控器,并将其功能与手动氦气喷枪的功能结合在一起。


它配备了彩色照明显示屏,使具有许多测试点和潜在泄漏的复杂半导体系统的泄漏检测变得更加容易。这些应用的特点是极限泄漏率小于 1 x 10-9 mbar x l/s。在这些应用中,电池供电的便携式设备使泄漏测试更加灵活、简单和高效。
I·BOOST: 响应时间短,测量结果精确
通过信号处理滤波器 I·BOOST 软件更新,INFICON 可加速泄漏率信号。这缩短了响应和测试时间,尤其是 UL3000 Fab 和 UL6000 Fab 系列,因为测试点的喷涂间隔更短。


"产品经理马库斯-施万贝拉(Markus Schwambera)概述了效率的飞跃。"Schwambera 保证说:"购买许可证的用户可以更快、更精确地获得不同腔室容积的测量结果。I·BOOST 的优势在复杂的半导体系统中也特别有效。
SPRAY-Check: 易于安装 测试泄漏
SPRAY-Check 是一种易于安装的检漏仪。"该工具以石英窗为基础,只对氦气和氢气等轻气体有渗透性。Markus Schwambera 解释说:"这不仅提高了安全性,还扩展了泄漏检测的功能。SPRAY-Check 可以在相关泄漏率范围内检查测量设置和测试方法。它还可以直接连接到系统上进行死区时间检查。
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"Markus Schwambera 说:"有时,从喷射到显示屏上的指示之间会间隔一定的时间。这样,用户就能更好地估算出喷洒点之间的停顿时间,从而明确划分出潜在的泄漏点。排除程序适用:如果在死锁时间过后没有任何指示,则说明没有泄漏。"产品经理解释说:"由于 SPRAY-Check 不受对工艺有害的气体(如水或氧气)的影响,因此它也可以安装在半导体系统上。重要的应用领域是极限泄漏率低于 10-9 mbar x l/s 的系统。
这些智能必需品在全球范围内销售
SMART-Spray、I·BOOST 和 SPRAY-Check 适用于 UL 系列的所有移动式 INFICON 氦气检漏仪,其中 I·BOOST 仅限于最新一代的 UL 设备(UL3000 Fab/UL6000 Fab 系列)。UL6000 Fab 是市场上功能最强大、性能最好的设备,适用于现代半导体工厂和具有超大腔室容积的涂层系统中的较大测试量。在所有测量范围内,它都能提供最快的响应时间和最短的测试时间。其紧凑的设计使其即使在狭小的空间内也能轻松操作。UL3000 Fab 系列也是为半导体工厂的泄漏检测而开发的。"它具有灵活、机动、调试快速和灵敏度高等特点。产品经理 Markus Schwambera 强调说:"用户也能很快收到精确的检测结果",这是现代半导体工厂的标准。此外,UL3000 Fab 的占地面积也很小,可以在狭窄的空间内轻松移动。UL1000 Fab 系列在工业或半导体环境中进行经济型氦气真空泄漏测试时,应用范围非常广泛,尤其适用于较小的真空室。主要优点该设备功能强大、坚固耐用且购买成本低廉。