利用先进的泄漏检测解决方案确保半导体制造质量

半导体在当今的电子工业中发挥着至关重要的作用。它们被广泛应用于计算机、智能手机、汽车、家用电器、游戏系统和医疗设备中，而对芯片日益增长的需求要求精确的制造工艺。准确的泄漏检测在保持最佳条件和应对半导体行业的挑战方面发挥着至关重要的作用。下面介绍 INFICON 的泄漏检测解决方案如何确保半导体制造的质量：

• 保持真空：精确的泄漏检测可确保对半导体工艺至关重要的真空条件的完整性。即使是最微小的泄漏，也必须加以识别和修复，以确保独特的半导体特性。
• 保持洁净室条件：使用示踪气体进行泄漏检测是一种无污染的方法，符合洁净室程序。这可以防止颗粒和污染物的进入，维护半导体洁净室严格的洁净度标准。
• 定位复杂泄漏：先进的泄漏检测技术，包括示踪气体的使用，可有效定位复杂半导体工具设计中的泄漏。这种能力对于识别和处理不同配置的半导体设备中的泄漏至关重要。
• 确保灵敏度和精确度：精确、高灵敏度的泄漏检测可确保识别最小的泄漏。这种精确度对于保持半导体制造工艺所需的纯度、防止缺陷和确保产品质量至关重要。
• 材料兼容性：INFICON 的泄漏检测解决方案与半导体材料兼容。这对于防止可能损坏或改变半导体制造中所用材料的不良相互作用至关重要。
• 快速检测泄漏，实现高产能：INFICON 提供的可靠泄漏检测系统能够以最快的速度获得可靠的结果，从而提高半导体制造的高产能。快速识别和解决泄漏问题可最大限度地减少停机时间，确保最佳生产效率。
• 与自动化系统集成：INFICON 的泄漏检测解决方案与自动化系统无缝集成，提供实时反馈。这种集成可实现持续监控和即时泄漏响应，并有助于提高自动化半导体制造过程的整体设备效率 (OEE)。
• 经济高效的解决方案： INFICON 致力于开发经济高效的泄漏检测解决方案，在准确性和成本之间取得平衡。这样，既可降低半导体制造成本，又不会影响可靠性。

INFICON 提供用于嗅探和真空检漏的检漏仪，可用于半导体芯片制造、太阳能电池生产线、平板显示器、玻璃和塑料箔镀膜以及一般真空系统。