附件
HAPSITE® 服务模块
所有 HAPSITE 化学识别系统型号的支持功能
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Request
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功能
- 在英福康服务代表的指导下，用于现场替换NEG
- 用作使用 NEG 为 HAPSITE 提供真空的替代或备份方法（即当 NEG 未安装或正在维修时）
- 用于在 INFICON 服务代表的指导下执行 HAPSITE 故障排除操作
- 作为 HAPSITE 使用备用电源
