射频传感技术

射频传感技术

Sion™

无创卡箍式射频检测仪可在 iPVD、PECVD 和蚀刻应用中实现高速电弧检测

Sion™

• 便于改装到现有工具箱中
• 非侵入式传感器安装
• 高速数据采集 (250 kHz)
• 与 FabGuard 相集成的数据管理

产品细节

射频传感技术

ADC100

ADC100 系统连接至 DC 发电机，以实时检测等离子体电弧。 这样就能中断晶圆过程，并将潜在硬件或产品损坏通知工程师。

ADC100

• FabGuard 传感器集成和分析系统可将软件集成到工具
• 每个通道 250 kHz 的数据采集频率
• 将定制电缆连接到大部分 DC 发电机
• 使用预定义分析工具快速检测电弧

产品细节