射频传感技术
ADC100
ADC100 系统连接至 DC 发电机，以实时检测等离子体电弧。 这样就能中断晶圆过程，并将潜在硬件或产品损坏通知工程师。
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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ADC100 系统连接至 DC 发电机，以实时检测等离子体电弧。 这样就能中断晶圆过程，并将潜在硬件或产品损坏通知工程师。
功能
- FabGuard 传感器集成和分析系统可将软件集成到工具
- 每个通道 250 kHz 的数据采集频率
- 将定制电缆连接到大部分 DC 发电机
- 使用预定义分析工具快速检测电弧
- 终点检测功能
- 全球应用支持
该产品被用于以下市场
