射频传感技术
Sion™
无创卡箍式射频检测仪可在 iPVD、PECVD 和蚀刻应用中实现高速电弧检测
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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减少晶圆损失，提高产出
等离子体加工期间的电弧放电可造成靶和腔室损坏，因而导致基材受损并形成颗粒。随着特征尺寸的下降，微电子设备越来越容易出现电弧引发的损坏。电弧放电可出现在任何等离子辅助过程中，例如电离物理气相沉积 (iPVD)、等离子增强化学气相沉积 (PECVD) 和蚀刻。INFICON Sion 弧检测器可提供至关重要的第一道防线。Sion 能够快速检测到微弧并在明显损伤或废料出现之前对其作出反应。系统可对等离子微电弧事件进行实时检测和分析。
功能
- 便于改装到现有工具箱中
- 非侵入式传感器安装
- 高速数据采集 (250 kHz)
- 与 FabGuard 相集成的数据管理
该产品被用于以下市场
