Enhanced Tool Performance
真正的工具洞察力

Product configurator
Gemini™ MxG5xx
可操作的理解
能够准确跟踪设备状态对于了解可以在哪些方面进行改进至关重要。大多数设备状态模型只能利用维护事件记录最基本的状态。我们的增强型逻辑结合了手动维护事件、开始和结束流程事件、可用在制品和吞吐量,可将每个工具的每个腔室的每一秒分解为近 100 种详细状态中的一种。因此,详细的状态报告超越了以往的可能性。


我们的增强工具性能 (ETP) 状态逻辑将传统的以 E10 工具为中心的数据与 WIP 状态相结合,提供了传统报告无法显示的工厂运营损失的全面视图。在 OEE 指标之上,确定改善工具使用的运营机会。我们从您现有的工具状态模型入手,结合来自设备状态、配方资格、WIP 位置和许多其他因素的实时信息,精确计算工具状态何时转变为 INFICON 状态之一。结果就是一个可操作的增强模型,使您能够将改进工作集中在能够立即产生效果的领域。
增强工具性能不是一个独立的应用程序,而是数据仓库中的一个独特的宝贵概念,所有 INFICON 应用程序均可使用。
智能状态分析
当状态发生变化时,如果操作员没有将设备置于正确的状态,或者状态模型中不存在该状态,我们会向前和向后查看,以正确确定设备本应处于何种状态。
这样,您不仅能看到影响在制品的效率损失,还能看到维护活动造成的效率损失。由于 WIP 和维护导致的停机时间增加了对低效工具性能的可见性,这为工厂经理提供了一个强大的工具,以推动整个组织的改进。

