FabGuard® FDC
智能监控促进智能制造
INFICON FabGuard 是业界领先的过程监控和故障检测系统，专为半导体和高科技制造业而设计。通过利用实时数据分析和人工智能驱动的洞察力，FabGuard 可帮助您在问题影响生产之前进行检测，减少停机时间并提高产量效率。
FabGuard 通过对工厂设备进行无缝集成，可确保更高的吞吐量、更低的缺陷率和更强的运营信心，从而使您在精密制造领域获得竞争优势。
实时过程监控实现更智能的制造
INFICON 的 FabGuard FDC 系统提供无与伦比的连接性、数据收集和可操作的洞察力，以优化半导体制造。工程师可深入了解工具性能和流程效率，从而做出更明智的决策并持续改进。除了传统的故障检测和分类 (FDC) 方法外，FabGuard 还利用 SmartFDC® 和先进的无监督机器学习来自动检测流程转变，从而确保更快的响应时间、更高的产量和最大化的生产效率。
优势
- 流程设备与传感器数据的无缝集成
- 边缘计算
- 内部或基于云
- 实时和逐次运行分析
- 与传感器、仪表、物联网/IIoT、过程工具的世界级连接
- 自动机器学习
智能过程监测和控制
FabGuard 是一种先进的过程监控系统，可帮助工程师全面、实时地了解各种传感器、仪表、设施和设备的运行情况。通过无缝集成来自多个来源的数据，FabGuard 可为过程工具提供无与伦比的可视性，从而实现更明智的决策、改进过程控制并提高制造效率。
通过自适应实时数据收集功能，FabGuard 可确保在正确的时间捕获正确的数据，这对于准确的故障检测和过程鉴定至关重要。其动态数据收集功能可优化工具带宽，在不影响性能的情况下最大限度地提高数据的深度和广度。通过根据过程条件、传感器和工具组件进行实时调整，FabGuard 可提供更智能的洞察力、更快速的响应和卓越的过程优化。
改造工厂的专业知识
INFICON 为每家工厂带来深厚的流程和设备专业知识，帮助工程师精确高效地解决实际制造难题。我们的现场服务和软件开发团队都是业内资深人士，确保 FabGuard 能够满足您生产环境的独特需求。
INFICON 在所有晶圆直径、平板尺寸、器件几何形状和基板类型方面都拥有丰富的经验，可为各个级别的工厂提供支持，无论是采用最低自动化还是全自动智能制造系统。通过将先进技术与实践行业知识相结合，我们可以帮助您优化流程、提高工具性能并提高产量。
向 INFICON 咨询我们的人工智能专家
Ask INFICON 基于先进的大型语言模型 (LLM) 技术提供实时支持，帮助半导体制造商快速获取基本产品知识。该知识助手与 FabGuard Web 应用程序集成，整合了 FabGuard 帮助、培训材料、传感器文档和其他最终用户资源，使工程师和操作员能够在一个无缝的人工智能驱动界面中排除故障、了解故障检测和传感器化概念，并加深对 FabGuard 功能的理解。
