氦气泄漏检测仪

UL1000 Fab

ULTRATEST™ 传感技术

工业真空和半导体制造中，真空泄漏检测的“干式”标准。

INFICON UL1000 Fab 氦气检漏仪是工业或半导体环境中经济型氦气真空泄漏检测的公认标准。

通过仪器的干式泵技术，可以消除被测部件或设备被碳氢化合物或颗粒污染的可能性。UL1000 FAB在高性能、超高稳健性和经济性之间提供了最佳的性价比。它提供最先进的 10^-12 mbar·l/s 检测极限，具备合理的短抽气时间和响应时间的特点。紧凑的设计提供了高度的机动性，方便进入空间有限的维修区域。可选的背景本底抑制（iZERO）功能能够在2秒内实现低于现有背景本底水平状态持续进行泄漏测试。

所有特性都使您能够缩短泄漏测试工作的时间，同时确保可以经济实惠地检测出所有泄漏。

使用 SMART-Spray 优化泄漏测试 I·BOOST 和 SPRAY-Check

SMART-Spray 大型氦气瓶和笨重的软管，从而增强了检漏功能。它简化了流程，减少了手动氦气流量调整，最大限度地减少了错误。该工具使泄漏检测更快、更简单、更可靠，同时保持较低的氦气消耗量和背景水平。

I-BOOST 是高效、精确检漏的理想选择，可节省高达 50% 的检漏时间。它的响应时间更短，可对各种腔体进行快速、精确的测量，从而提高效率和准确性。此外，SPRAY-Check（喷淋检漏）可确保检漏仪的功能性和就绪状态。它适用于 10-⁹ 至 10-⁸ mbar∙l/s 范围，可在测试过程中提供可靠的检查。

优势

通过缩短抽气时间和响应时间加快泄漏检测工作
通过使用可选的背景抑制（Izero），避免需要进行多次泄漏测试。
通过紧凑的设计方便进入空间有限的维护区域
通过耐用的两个热丝离子源（三年保修）和逆流式真空系统实现低拥有成本 (TCO)
通过可旋转显示、声音和灯光泄漏提示以及可选的远程控制降低应用难度
通过内置泄漏测试和自动校准程序实现低成本维护

典型应用

对清洁度要求严苛的工业真空设备制造
在将真空组件或子组件安装到现有工具中之前
真空工具的维护工作，无论是否有泵的支持
工艺气体系统的检查和安装
半导体、平板显示器或太阳能电池制造

规格

UL1000

UL1000 Fab

氦气最小泄漏检测率（真空法）	mbar•L/s	< 5·10^-12
氦气最小检测泄漏率（嗅探模式）	mbar•L/s	< 5·10^-8
最大。入口压力 GROSS 模式	mbar	15
最大入口压力 FINE（精细）模式	mbar	2
最大入口压力 ULTRA 模式	mbar	0.4
前置真空泵类型		油封
排空时的泵速	m³/h	16 at 50 Hz
氦气抽速 ULTRA 模式	L/s	2.5
可检测到的质量		2,3,4 amu
质谱仪扇形领域		180°
灯丝离子束铱/钇涂层		2
经校准的内置泄漏测试	mbar•L/s	E-7
测试端口		DN 25 KF
可调节触发器		2
界面		RS232
图表记录器输出	V	2x10
输入/输出		与 PLC 兼容
允许环境温度（运行期间）	°C	+10.....+40
重量	kg lb	110 242
尺寸（长 x 宽 x 高）	mm in	1068 x 525 x 850 42 x 21 x 33
电源电压	V (AC) V (AC) V (AC)	230 (±10%) 50Hz 115 (±10%) 60Hz 100 (±10%) 50/60Hz
耗电量	VA	1100

氦气最小检测泄漏率（真空模式）	mbar•L/s	< 5·10^-12
氦气最小检测泄漏率（嗅探模式）	mbar•L/s	< 5·10^-8
最大。入口压力 GROSS 模式	mbar	15
最大入口压力 FINE（精细）模式	mbar	2
最大入口压力 ULTRA 模式	mbar	0.4
前置真空泵类型		干式压缩
排空时的泵速	m³/h	25 at 50 Hz
氦气抽速 ULTRA 模式	L/s	2.5
可检测到的质量		2,3,4 amu
质谱仪扇形领域		180°
铱/钇涂层灯丝离子源		2
校准内置泄漏	mbar•L/s	∼ 10^-7
测试端口		DN 25 KF/(DN 40 KF)
可调节触发器		2
界面		RS 232
图表记录器输出	V	2 x10
输入/输出		与 PLC 兼容
允许环境温度（运行期间）	°C	+10 to +40
重量	kg lb	110 242
尺寸（长 x 宽 x 高）	mm in.	1050 x 472 x 987 41 x 19 x 39
尺寸（长 x 宽 x 高）	V (AC)	230 (± 10 %) 50 Hz
电源电压 (US)	V (AC)	100/115 V (± 10 %) 50/60 Hz
功耗（典型值）	VA	1100
耗电量（最大值）	VA	1100

订购信息

零件编号

附件

550-000A	UL1000, 230 V AC, DN 25 KF
550-001A	UL1000, 115 V AC, DN 25 KF
550-002A	UL1000, 100 V AC, DN 25 KF

550-100A	UL1000 Fab, 230 V AC, DN 25 KF
550-101A	UL1000 Fab, 100/115 V AC, DN 25 KF
550-102	UL1000 Fab, 230 V AC, DN 40 KF

14022	用于遥控器 RC1000 的延长电缆，长 8 米。
551-000	用于 UL1000 的可拆卸工具箱
551-001	用于 UL1000/5000 的氦气瓶支架
551-002	用于 UL1000/5000 的防静电垫
551-005	TC1000 试验箱、DN 25 KF、ESD 腕带
551-010	遥控器 RC1000C，有线，带 4 米电缆
551-015	无线遥控器 RC1000WL，包括无线发射器
551-020	用于 RC1000WL 的无线发射器
551-050	SMART-Spray 氦气喷枪套装
551-031	喷涂检查 TL8（未校准）