氦气泄漏检测仪

UL1000 Fab

ULTRATEST™ 传感技术

工业真空和半导体制造中，真空泄漏检测的“干式”标准。

INFICON UL1000 Fab 氦气检漏仪是工业或半导体环境中经济型氦气真空泄漏检测的公认标准。

通过仪器的干式泵技术，可以消除被测部件或设备被碳氢化合物或颗粒污染的可能性。UL1000 FAB在高性能、超高稳健性和经济性之间提供了最佳的性价比。它提供最先进的 10^-12 mbar·l/s 检测极限，具备合理的短抽气时间和响应时间的特点。紧凑的设计提供了高度的机动性，方便进入空间有限的维修区域。可选的背景本底抑制（iZERO）功能能够在2秒内实现低于现有背景本底水平状态持续进行泄漏测试。

所有特性都使您能够缩短泄漏测试工作的时间，同时确保可以经济实惠地检测出所有泄漏。

使用 SMART-Spray 和 SPRAY-Check

SMART-Spray 大型氦气瓶和笨重的软管，从而增强了检漏功能。它简化了流程，减少了手动氦气流量调整，最大限度地减少了错误。该工具使泄漏检测更快、更简单、更可靠，同时保持较低的氦气消耗量和背景水平。

此外，SPRAY-Check（喷淋检漏）可确保检漏仪的功能性和就绪状态。它适用于 10-⁹ 至 10-⁸ mbar∙l/s 范围，可在测试过程中提供可靠的检查。

优势

通过缩短抽气时间和响应时间加快泄漏检测工作
通过使用可选的背景抑制（Izero），避免需要进行多次泄漏测试。
通过紧凑的设计方便进入空间有限的维护区域
通过耐用的两个热丝离子源（三年保修）和逆流式真空系统实现低拥有成本 (TCO)
通过可旋转显示、声音和灯光泄漏提示以及可选的远程控制降低应用难度
通过内置泄漏测试和自动校准程序实现低成本维护

典型应用

对清洁度要求严苛的工业真空设备制造
在将真空组件或子组件安装到现有工具中之前
真空工具的维护工作，无论是否有泵的支持
工艺气体系统的检查和安装
半导体、平板显示器或太阳能电池制造

规格

UL1000

UL1000 Fab

氦气最小泄漏检测率（真空法）	mbar•L/s	< 5·10^-12
氦气最小检测泄漏率（嗅探模式）	mbar•L/s	< 5·10^-8
最大。入口压力 GROSS 模式	mbar	15
最大入口压力 FINE（精细）模式	mbar	2
最大入口压力 ULTRA 模式	mbar	0.4
前置真空泵类型		油封
排空时的泵速	m³/h	16 at 50 Hz
氦气抽速 ULTRA 模式	L/s	2.5
可检测到的质量		2,3,4 amu
质谱仪扇形领域		180°
灯丝离子束铱/钇涂层		2
经校准的内置泄漏测试	mbar•L/s	E-7
测试端口		DN 25 KF
可调节触发器		2
界面		RS232
图表记录器输出	V	2x10
输入/输出		与 PLC 兼容
允许环境温度（运行期间）	°C	+10.....+40
重量	kg lb	110 242
尺寸（长 x 宽 x 高）	mm in	1068 x 525 x 850 42 x 21 x 33
电源电压	V (AC) V (AC) V (AC)	230 (±10%) 50Hz 115 (±10%) 60Hz 100 (±10%) 50/60Hz
耗电量	VA	1100

氦气最小检测泄漏率（真空模式）	mbar•L/s	< 5·10^-12
氦气最小检测泄漏率（嗅探模式）	mbar•L/s	< 5·10^-8
最大。入口压力 GROSS 模式	mbar	15
最大入口压力 FINE（精细）模式	mbar	2
最大入口压力 ULTRA 模式	mbar	0.4
前置真空泵类型		干式压缩
排空时的泵速	m³/h	25 at 50 Hz
氦气抽速 ULTRA 模式	L/s	2.5
可检测到的质量		2,3,4 amu
质谱仪扇形领域		180°
铱/钇涂层灯丝离子源		2
校准内置泄漏	mbar•L/s	∼ 10^-7
测试端口		DN 25 KF/(DN 40 KF)
可调节触发器		2
界面		RS 232
图表记录器输出	V	2 x10
输入/输出		与 PLC 兼容
允许环境温度（运行期间）	°C	+10 to +40
重量	kg lb	110 242
尺寸（长 x 宽 x 高）	mm in.	1050 x 472 x 987 41 x 19 x 39
尺寸（长 x 宽 x 高）	V (AC)	230 (± 10 %) 50 Hz
电源电压 (US)	V (AC)	100/115 V (± 10 %) 50/60 Hz
功耗（典型值）	VA	1100
耗电量（最大值）	VA	1100

订购信息

零件编号

附件

550-000A	UL1000, 230 V AC, DN 25 KF
550-001A	UL1000, 115 V AC, DN 25 KF
550-002A	UL1000, 100 V AC, DN 25 KF

550-100A	UL1000 Fab, 230 V AC, DN 25 KF
550-101A	UL1000 Fab, 100/115 V AC, DN 25 KF
550-102	UL1000 Fab, 230 V AC, DN 40 KF

551-050	SMART-Spray 氦气喷枪套装
551-031	喷涂检查 TL8（未校准）
14005	SL200 - 4 米，用于 UL 产品系列的嗅探器探头
14006	SL200 - 14 米，用于 UL 产品系列的嗅探器探头
14022	用于遥控器 RC1000 的延长电缆，长 8 米。
551-000	用于 UL1000 的可拆卸工具箱
551-001	用于 UL1000/5000 的氦气瓶支架
551-002	用于 UL1000/5000 的防静电垫
551-005	TC1000 试验箱、DN 25 KF、ESD 腕带
551-010	遥控器 RC1000C，有线，带 4 米电缆
551-015	无线遥控器 RC1000WL，包括无线发射器
551-020	用于 RC1000WL 的无线发射器

下载

样本

UL1000

pdf • 580,0 KB • 英文 • 手册

UL1000 Fab Brochure

pdf • 2,5 MB • 英文 • 手册

Remote Control RC1000

pdf • 442,6 KB • 英文 • 手册

手册

SMART-Spray Betriebsanleitung

pdf • 2,7 MB • 德语 • 操作手册

SPRAY-Check Operating-instructions

pdf • 594,5 KB • 英文 • 操作手册

SPRAY-Check 说明 - Simplified Chinese

pdf • 124,9 KB • 中文 • 操作手册

SPRAY-Check 使用説明書

pdf • 634,2 KB • 日语 • 操作手册

SPRAY-Check 使用說明 - Traditional Chinese

pdf • 641,1 KB • 中文 • 操作手册

SPRAY-Check 사용 방법

pdf • 583,8 KB • 韩语 • 操作手册

SPRAY-Check Инструкция по применению

pdf • 991,2 KB • 俄语 • 操作手册

SPRAY-Check mode d'emploi

pdf • 597,2 KB • 法语 • 操作手册

SPRAY-Check istruzioni per l'uso originali

pdf • 595,2 KB • 意大利语 • 操作手册

SPRAY-Check Instrukcje użytkowania

pdf • 597,3 KB • 波兰语 • 操作手册

SPRAY-Check Instrucciones de uso

pdf • 595,7 KB • 西班牙语 • 操作手册

Schnüffelleitung SL200

pdf • 1,0 MB • 德语 • 操作手册

Sniffer Line SL200

pdf • 1,1 MB • 英文 • 操作手册

UL1000 Fab Betriebsanleitung

pdf • 2,4 MB • 德语 • 操作手册

SMART-Spray Operating instructions

pdf • 2,7 MB • 英文 • 操作手册

TC1000 Operating Manual

pdf • 353,8 KB • 英文 • 操作手册

UL1000 Fab Operating instructions PL

pdf • 2,2 MB • 波兰语 • 操作手册

UL1000 Fab Operating instructions NL

pdf • 2,1 MB • 荷兰语 • 操作手册

Interface Description UL1000/5000

pdf • 147,8 KB • 法语, 德语, 意大利语, 日语, 韩语, 波兰语, 俄语, 西班牙语, 瑞典语, 中文, 捷克语, 英文, 荷兰语, 葡萄牙语, 匈牙利, 罗马尼亚语 • 操作手册

UL1000 Fab Operating instructions IT

pdf • 2,1 MB • 意大利语 • 操作手册

RC1000 Notice d'utilisation

pdf • 2,1 MB • 法语 • 操作手册

UL1000 Fab Operating instructions FR

pdf • 3,0 MB • 法语 • 操作手册

RC1000 Operating instructions

pdf • 2,1 MB • 英文 • 操作手册

UL1000 Fab Operation Manual

pdf • 2,0 MB • 英文 • 操作手册

TC1000 Betriebsanleitung

pdf • 340,5 KB • 德语 • 操作手册

RC1000 Betriebsanleitung

pdf • 2,1 MB • 德语 • 操作手册

LD-Katalog-2022-23-DE

pdf • 6,9 MB • 德语 • 目录

该产品被用于以下市场

传统的石油和天然气生产在过去几十年中出现了需求的增长，并被发展中国家的人口增长、城市化和中产阶级的消费所推动。

了解更多

暖通空调/制冷

制冷和空调技术无疑是21世纪的重要课题之一。技术的有效性、能源效率以及最后但同样重要的最佳温度或最适气候（针对私人以及商业领域）非常重要。

了解更多

工业制造

其中，真空技术大多用于保证清洁的环境，并且在某些过程中需要维持真空以确保过程顺利实施。

了解更多

移动和汽车

在一个不断发展的行业中进行可靠的泄漏测试。汽车行业的变化使泄漏检测变得更加重要。

了解更多

半导体IDM和晶圆代工厂

为支持广泛的应用而定制的传感器，确保产品安全、提高产量和最高生产力。

了解更多

半导体设备制造商

半导体行业涉及集成电路的设计、制造、组装和测试，而半导体主要用于数据处理、通信、消费电子、汽车和航空航天。

了解更多

真空镀膜

真空镀膜市场远远超出了光学领域，正在迅速扩展到十年前几乎无法想象的领域、行业和薄膜层。

了解更多

Name	Hostname	Vendor	Expiry
cookiehub	.inficon.com	CookieHub	365 days
Used by CookieHub to store information about whether visitors have given or declined the use of cookie categories used on the site.
__cf_bm	.hubspot.com	Cloudflare, Inc.	1 hour
The __cf_bm cookie supports Cloudflare Bot Management by managing incoming traffic that matches criteria associated with bots. The cookie does not collect any personal data, and any information collected is subject to one-way encryption.
_cfuvid	.hubspot.com		Session
Used by Cloudflare WAF to distinguish individual users who share the same IP address and apply rate limits
_cfuvid	.hsforms.com		Session
Used by Cloudflare WAF to distinguish individual users who share the same IP address and apply rate limits
__cf_bm	.hsforms.net	Cloudflare, Inc.	1 hour
The __cf_bm cookie supports Cloudflare Bot Management by managing incoming traffic that matches criteria associated with bots. The cookie does not collect any personal data, and any information collected is subject to one-way encryption.
__cf_bm	.hsforms.com	Cloudflare, Inc.	1 hour
The __cf_bm cookie supports Cloudflare Bot Management by managing incoming traffic that matches criteria associated with bots. The cookie does not collect any personal data, and any information collected is subject to one-way encryption.
__cf_bm	.vimeo.com	Cloudflare, Inc.	1 hour
The __cf_bm cookie supports Cloudflare Bot Management by managing incoming traffic that matches criteria associated with bots. The cookie does not collect any personal data, and any information collected is subject to one-way encryption.
_cfuvid	.vimeo.com		Session
Used by Cloudflare WAF to distinguish individual users who share the same IP address and apply rate limits
__cf_bm	.hs-scripts.com	Cloudflare, Inc.	1 hour
The __cf_bm cookie supports Cloudflare Bot Management by managing incoming traffic that matches criteria associated with bots. The cookie does not collect any personal data, and any information collected is subject to one-way encryption.
__cf_bm	.hsadspixel.net	Cloudflare, Inc.	1 hour
The __cf_bm cookie supports Cloudflare Bot Management by managing incoming traffic that matches criteria associated with bots. The cookie does not collect any personal data, and any information collected is subject to one-way encryption.
__cf_bm	.hs-analytics.net	Cloudflare, Inc.	1 hour
The __cf_bm cookie supports Cloudflare Bot Management by managing incoming traffic that matches criteria associated with bots. The cookie does not collect any personal data, and any information collected is subject to one-way encryption.
__cf_bm	.hs-banner.com	Cloudflare, Inc.	1 hour
The __cf_bm cookie supports Cloudflare Bot Management by managing incoming traffic that matches criteria associated with bots. The cookie does not collect any personal data, and any information collected is subject to one-way encryption.

Name	Hostname	Vendor	Expiry
vuid	.vimeo.com		400 days
These cookies are used by the Vimeo video player on websites.

Name	Hostname	Vendor	Expiry
bcookie	.linkedin.com	LinkedIn Ireland Unlimited Company	365 days
This is a Microsoft MSN 1st party cookie for sharing the content of the website via social media.
_lfa	.inficon.com	Dealfront	365 days
Used by Leadfeeder to collect behavioral data of all website visitors. This includes: pages viewed, visitor source and time spent on the site.
__hstc	.inficon.com	HubSpot	180 days
This cookie name is associated with websites built on the HubSpot platform. This is the main cookie for tracking visitors. It contains the domain, utk, initial timestamp (first visit), last timestamp (last visit), current timestamp (this visit), and session number (increments for each subsequent session).
hubspotutk	.inficon.com	HubSpot	180 days
This cookie name is associated with websites built on the HubSpot platform. This cookie is used to keep track of a visitor's identity. This cookie is passed to HubSpot on form submission and used when deduplicating contacts.
__hssrc	.inficon.com	HubSpot	Session
This cookie name is associated with websites built on the HubSpot platform. Whenever HubSpot changes the session cookie, this cookie is also set to determine if the visitor has restarted their browser. If this cookie does not exist when HubSpot manages cookies, it is considered a new session.
__hssc	.inficon.com	HubSpot	1 hour
This cookie name is associated with websites built on the HubSpot platform. This cookie keeps track of sessions. This is used to determine if HubSpot should increment the session number and timestamps in the __hstc cookie. It contains the domain, viewCount (increments each pageView in a session), and session start timestamp.
_lfa	www.inficon.com	Dealfront	365 days
Used by Leadfeeder to collect behavioral data of all website visitors. This includes: pages viewed, visitor source and time spent on the site.

Name	Hostname	Vendor	Expiry
lidc	.linkedin.com	LinkedIn Ireland Unlimited Company	1 day
Used by LinkedIn for routing.
UserMatchHistory	.linkedin.com	LinkedIn Ireland Unlimited Company	30 days
Contains a unique identifier used by LinkedIn to determine that two distinct hits belong to the same user across browsing sessions.
AnalyticsSyncHistory	.linkedin.com	LinkedIn Ireland Unlimited Company	30 days
Used by LinkedIn to store information about the time a sync with the lms_analytics cookie took place for users in the Designated Countries
bscookie	.www.linkedin.com	LinkedIn Ireland Unlimited Company	365 days
Used by the social networking service, LinkedIn, for tracking the use of embedded services.
li_gc	.linkedin.com	LinkedIn Ireland Unlimited Company	180 days
Used by LinkedIn to store consent of guests regarding the use of cookies for non-essential purposes
_gcl_au	.inficon.com	Google Advertising Products	90 days
Used by Google AdSense to understand user interaction with the website by generating analytical data.
_fbp	.inficon.com	Meta Platforms	90 days
Facebook Pixel advertising first-party cookie. Used by Facebook to track visits across websites to deliver a series of advertisement products such as real time bidding from third party advertisers.
IDE	.doubleclick.net	Google Advertising Products	390 days
Used by Google's DoubleClick to serve targeted advertisements that are relevant to users across the web. Targeted advertisements may be displayed to users based on previous visits to a website. These cookies measure the conversion rate of ads presented to the user.
_SS	www.inficon.com	Microsoft	Session
This cookie tracks and allows us to understand the effectiveness of advertising campaigns across the Microsoft Bing advertising network.

Name	Hostname	Vendor	Expiry
mf_user	.inficon.com		90 days
mf_a466cf73-bdb1-4970-801b-d32bbde71b0f	.inficon.com		Session

ULTRATEST™ 传感技术

使用 SMART-Spray 和 SPRAY-Check

优势

典型应用

规格

订购信息

下载

相关产品