氦气泄漏检测器

UL3000 Fab Series

UL3000 Fab /UL3000 Fab ULTRA

采用 ULTRATEST ™ 传感器技术的移动式氦气检漏仪

移动式氦气检漏仪：专为半导体应用中的检漏需求而设计。

它具有灵活性、移动性、快速启动、高灵敏度、快速和精确的测试结果以及可靠性。

由于更高的空气泵送速度，更快的泵降（排空）时间。
由于低维护的根部粗加工泵，总拥有成本（TCO）更低。
由于HYDRO-S软件消除了水蒸气背景，更早地开始检漏，使得快速达到敏感测量范围成为可能
UL3000 Fab ULTRA还通过使用成熟的吸污管线SL3000提供了改进的吸污能力，该吸污管线长度可达10米。SL3000有一个单独的连接端口，因此不需要连接到真空入口。

快速的结果

改进后的真空系统带有低维护的真空泵，可以从大气压开始检测泄漏。坚固的质谱仪系统确保了长时间的运行和低维护成本。

可旋转的显示器和可远程控制的用户接口

新的触摸屏显示，即使在远距离也能显示测试结果和状态信息。通过用户指导的菜单结构，即使是没有经验的操作员也能轻松操作。通过智能手机或平板电脑可以对UL3000 Fab（ULTRA）进行无线控制--无需特殊软件或Apps。通过按钮记录和存储测试结果，可以传输到其他存储介质，以便进一步分析。

纤细的设计，先进的可操作性

低重心、大轮子、符合人体工程学设计的手柄和纤细的外壳使UL3000 Fab (ULTRA)即使在狭小的空间也有良好的移动性。

使用 SMART-Spray 优化泄漏测试 I·BOOST 和 SPRAY-Check

SMART-Spray 大型氦气瓶和笨重的软管，从而增强了检漏功能。它简化了流程，减少了手动氦气流量调整，最大限度地减少了错误。该工具使泄漏检测更快、更简单、更可靠，同时保持较低的氦气消耗量和背景水平。

I-BOOST 是高效、精确检漏的理想选择，可节省高达 50% 的检漏时间。它的响应时间更短，可对各种腔体进行快速、精确的测量，从而提高效率和准确性。此外，SPRAY-Check（喷淋检漏）可确保检漏仪的功能性和就绪状态。它适用于 10-⁹ 至 10-⁸ mbar∙l/s 范围，可在测试过程中提供可靠的检查。

优势

采用I-CAL软件算法，在10^-9至10^-12mbar-l/s范围内快速测量，节省时间
使用I-ZERO 2.0进行最有效的检漏，其改进的智能功能可在保持高测量灵敏度的同时进行快速背景抑制
适用于真空和嗅探检漏
通过快速排空和响应时间，最大限度地减少检漏工作
纤细的设计，易于操作，节省时间
坚固的离子源（3年保修）和逆流真空系统使总拥有成本（TCO）较低
逆流式真空系统
易于使用，由操作员指导的人机界面，带有全彩高分辨率可旋转显示器
UL3000 Fab ULTRA：由于HYDRO-S软件消除了水蒸气背景，使其有可能迅速达到敏感的测量范围，从而更早开始检漏。
UL3000 Fab ULTRA: 由于更高的空气泵送速度，更快的泵降（排空）时间
根部泵的速度更快
UL3000 Fab ULTRA: 由于根部泵的低维护率，总拥有成本（TCO）更低。粗加工泵。
UL3000 Fab ULTRA：通过使用久经考验的吸污管线SL3000，该检漏仪还提供了改进的吸污能力，其长度可达10米。SL3000有一个单独的连接端口，因此不需要连接到真空入口。

典型应用

半导体工厂
平板显示器制造
太阳能电池的制造
玻璃和卷材（卷对卷）镀膜
一般真空镀膜和应用

规格

UL3000 Fab

UL3000 Fab ULTRA

粗加工泵的最大泵送速度	m³/h	>30
氦气抽吸速度（高敏感模式ULTRA）。	L/s	4
尺寸（长x宽x高）	mm in.	1050x472x987 42x21x34
附加功能	具有最高抽气速度的罗茨干泵，HYDRO-S，用于SL3000的独立吸气管口，真空软管支架

粗加工泵的最大泵送速度	m³/h	>36
氦气抽吸速度（高敏感模式ULTRA）。	L/s	4
尺寸（长x宽x高）	mm in.	1050x472x987 42x21x34
附加功能	具有最高抽气速度的罗茨干泵，HYDRO-S，用于SL3000的独立吸气管口，真空软管支架

订购信息

零件编号

附件

易耗品

550-260	UL3000 Fab ULTRA
550-200	UL3000 Fab

551-050	SMART-Spray ***NEW
551-600	I·BOOST software license***NEW
551-031	SPRAY-Check TL8***NEW
551-010	遥控器 RC1000C，有线，带 4 米卷曲电缆
551-202	用于 UL3000 Fab 的真空软管支架（包括 ULTRA 版本）
525-001	SL3000-3，3 米长嗅探线
525-002	SL3000-5, 5 米长嗅探线
525-003	SL3000-10, 10 米长嗅探线
551-203	用于 SL3000 的支架
551-210	SL200, Sniffer line + el. extension for UL3000
551-201	氦气瓶支架
560-310	I/O 1000 模块
560-315	BM1000 PROFIBUS 模块
560-316	BM1000 PROFINET IO 模块
560-317	BM1000 DeviceNet 模块
560-318	BM1000 Ethernet/IP 模块
560-334	用于 IO1000、BM1000 的数据线，0.5 米
560-332	数据线 2 米
560-335	数据线 5 米
560-340	数据线 10 米
551-005	TC1000 试验箱，DN25KF，ESD 腕带
551-205	用于 TC1000/SL200、UL3000 的延长电缆