氦气泄漏检测器

UL6000 Fab 系列

UL6000 Fab / UL6000 Fab PLUS 检漏仪

ULTRATEST™ 传感器技术

为泄漏测试的速度和精度设定标准

用于半导体应用的氦气检漏仪系列

INFICON UL6000 氦气检漏仪旨在满足最为苛刻的泄漏检测应用的要求。UL6000采用INFICON专有软件算法I·CAL和HYDRO·S，采用经过现场验证的真空设计，提供了测试灵活性、高灵敏度和快速准确的结果，使任何泄漏检测应用程序快速而简单。

UL6000 在所有测试范围内均可实现快速响应，从达到测试条件到获得最终结果的整个周期时间极其短暂。此专门设计的真空架构可以提供持续高速的氦气泵速以及极其快的响应，能够满足您的需求。

高效泄漏测试

泄漏检测既耗时又复杂。通过测量上升率（RoR），半导体和真空设备在运行过程中受到持续监控。在通过该整体泄漏测试显示泄漏后，使用氦气喷射（喷氦）方法定位泄漏位置，以便进行所需的维修。随后是另一次使用压力增加或所谓的真空衰减测量的泄漏测试——这是一个复杂的过程，需要重复进行，直到检测到所有泄漏。此外，为了尽可能精确，对于大的设备体积，该程序的测量时间通常特别长。得益于我们的智能上升率功能I·RISE，新的UL6000 Fab PLUS现在可以单独进行压力上升测量，并将其与氦气喷射(喷氦）方法相结合。我们的专利系统使测量时间大幅下降，从而有助于最大限度地减少泄漏测试和晶圆厂设备维护的一般时间。体验更快、更超前。

使用 SMART-Spray 优化泄漏测试 I·BOOST 和 SPRAY-Check

SMART-Spray 大型氦气瓶和笨重的软管，从而增强了检漏功能。它简化了流程，减少了手动氦气流量调整，最大限度地减少了错误。该工具使泄漏检测更快、更简单、更可靠，同时保持较低的氦气消耗量和背景水平。

I-BOOST 是高效、精确检漏的理想选择，可节省高达 50% 的检漏时间。它的响应时间更短，可对各种腔体进行快速、精确的测量，从而提高效率和准确性。此外，SPRAY-Check（喷淋检漏）可确保检漏仪的功能性和就绪状态。它适用于 10-⁹ 至 10-⁸ mbar∙l/s 范围，可在测试过程中提供可靠的检查。

优势

HYDRO-S (HYDROgen-Suppression) 能够快速达到测试条件。
UL6000 Fab PLUS - 其他优势
- 拥有I-RISE，我们的智能上升率：提供设备内压力上升测试，并结合氦气喷射（喷氦）方法
- 在10秒内完成上升率的测量
- 有助于最大限度地减少泄漏测试和工厂设备维护的一般时间
- 更快，更精确
I-CAL（智能 - 泄漏率计算算法）确保对所有测试范围内的泄漏做出快速响应。
特殊的多进口涡轮分子泵可以在所有压力下提供最佳氦气泵速和高氦气压缩率，从而提供卓越灵敏度、快速响应和清洗。
涡轮分子泵可以对任何测试对象（包括最大容量和最大腔室）提供极其快速的响应。
经过验证的 INFICON 扇形磁场质谱仪采用无故障、免维护设计，历经数年仍可提供准确且可重复的结果。
自我保护功能可保护 UL6000 免受氦气和粒子污染，甚至还设有自动冲净周期，确保 UL6000 随时可用。
旋转式显示器/控制接口和可选远程手动控制器提供操作灵活性。
可通过软件启用对装置和系统软件的访问控制，从而阻止未经授权地使用或意外修改测试设定。
通过电子邮件升级软件，确保您的 UL6000 始终处于最佳工作状态。
新型工作站设计，带有最佳高度的工作台面，并且配备有防静电台垫和工具箱，便于测试。

典型应用

半导体和平板显示器工具上的测试元件、部件和大型腔室泄漏测试
半导体和平板显示工具的泄漏测试
航空元件、部件和系统的泄漏测试
储存容器/储罐的泄漏测试

规格

UL 6000 Fab

UL 6000 Fab PLUS

氦气最低检测漏率 (真空模式)	mbar∙L/s	<5∙10^-12

氦气最低检测漏率 (吸枪模式)	mbar∙L/s	<5∙10^-8

最大进气压力 (MASSIVE 模式)		atm (~1013 mbar)

粗抽泵类型		roots 罗茨

最大抽速度	m³/h	>36

抽速 @ 进气口 (100-1000 mbar)	m³/h	23

抽速 @ 进气口 (10-100 mbar 和 1-10 mbar)	m³/h	26

最大氦气抽速 (ULTRA 模式)	L/s	>36

最大氦气抽速 DN63 减少到DN40	L/s	~ 30

抽空时间（到 1 mbar 在腔体50 L下）	s	52

50 L的响应时间	s	1.4

抽空时间到（ 1 mbar 在腔体50 L下）	s	52

抽空时间（到 1 mbar 在腔体100 L下） *	s	104

抽空时间（到 1 mbar 在腔体500 L下）*	s	527

抽空时间（到 1 mbar 在腔体1000 L下）*	s	1054

放空时间（50 L to 大气压. 16 s）	s	16

开机时间	min	<2

校准需要时间	s	<30 s

进气法兰		DN63 ISO-K

检测质量 (ULTRATEST Sensor Technology)		2,3,4 (H₂, ³He, He)

供电	V	100 to 230, 50/60 Hz

最大功率消耗	VA	1500

典型功率消耗	VA	700

重量	kg	143

尺寸 (LxWxH)	mm in.	1050x427x1040 42x21x41

*外推

氦气最低检测漏率 (真空模式)	mbar∙L/s	<5∙10^-12

氦气最低检测漏率 (吸枪模式)	mbar∙L/s	<5∙10^-8

最大进气压力 (MASSIVE 模式)		atm (~1013 mbar)

粗抽泵类型		roots

最大抽速	m³/h	>36

抽速 @ 进气口 (100-1000 mbar)	m³/h	23

抽速 @ 进气口 (10-100 mbar 和 1-10 mbar)	m³/h	26

最大氦气抽速 (ULTRA 模式)	L/s	>36

最大氦气抽速 DN63 减少到DN40	L/s	~ 30

50 L的响应时间	s	1.4

抽空时间（到1 mbar 在腔体50 L下）	s	52

抽空时间（到 1 mbar 在腔体100 L下）	s	104

抽空时间（到 1 mbar 在腔体500 L下）L*	s	527

抽空时间（到 1 mbar 在腔体1000 L下）*	s	1054

放空时间（50 L to 大气压. 16 s）	s	16

开机时间	min	<2

校准需要时间	s	<30 s

I·RISE测量时间	s	<10

进气法兰		DN63 ISO-K

检测质量 (ULTRATEST Sensor Technology)		2,3,4 (H₂, ³He, He)

供电电压	V	100 to 230, 50/60 Hz

最大功率消耗	VA	1500

典型功率消耗	VA	700

重量	kg	143

尺寸 (LxWxH)	mm in.	1050x427x1040 42x21x41

*e外推

订购信息

零件编号

附件

易耗品

550-520	UL6000 Fab
550-530	UL6000 Fab PLUS

551-050	SMART-Spray ***NEW
551-600	I·BOOST software license***NEW
551-031	SPRAY-Check TL8***NEW
551-226	Metal hose, DN63 ISO-K/DN50 ISO-KF
551-227	Metal hose, DN63 ISO-K/DN40 ISO-KF
551-015	Remote Control RC1000WL, wireless, incl. wireless transmitter
551-010	Remote Control RC1000C, wired, with 4m coiled cable
551-202	Vaccuum Hose Holder for UL3000 Fab (incl. for ULTRA version)
525-001	SL3000-3, sniffer line 3 m length
525-002	SL3000-5, sniffer line 5 m length
525-003	SL3000-10, sniffer line 10 m length
551-203	Bracket for SL3000
551-210	SL200, Sniffer line + el. extension for UL3000
551-201	Helium Bottle Holder
560-310	I/O 1000 module
560-315	BM1000 PROFIBUS module
560-316	BM1000 PROFINET IO module
560-317	BM1000 DeviceNet module
560-318	BM1000 Ethernet/IP module
560-334	Data Cable for IO1000,BM1000, 0.5m
560-332	Data Cable 2 m
560-335	Data Cable 5 m
560-340	Data Cable 10 m