用于光学气体分析和总压力测量的双量规
Augent® OPG550
光学等离子体真空计
嵌入式选项
与我们一起彻底改变您的真空计使用体验！
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON Augent® 光学等离子体真空计是一种紧凑、智能的真空监测解决方案。Augent将两种传感器技术结合到一个紧凑的设备中，用于监测1 x 10-7至5 mbar的气体类型，并同时测量从1 x 10-7 mbar到大气的总压力。
Augent由一个集成的皮拉尼传感器保护，用于关闭20mbar以上的等离子体。快速光学测量原理原则上允许检测任何类型的气体。
优势
- 高速检漏，可进行腔体检漏
- 提高生产率和产量
- 寿命长，不烧丝，有气涌保护
- 可承受工艺化学反应
- 智能算法，易于集成
- 设计紧凑，占地面积小
- 可靠、快速启动
3D Model
放大和平移，近距離觀看 Augent® OPG550
规格
| 测量范围 N2 | 毫巴 托 | 1×10-7 … 5
|
| 精度 总压力读数 N2 | ||
| 1 x 10-7 ... 100 毫巴 | 读数百分比 | 30 |
| 100 ... 1000 毫巴 | 读数百分比 | 50 |
| N2 总压力读数的重复性 | ||
| 1 x 10-7 ... 100 毫巴 | 读数百分比 | 5 |
| 温度 | ||
| 运行（环境） | °C | +5 … +50 |
| 存储 | °C | -20 … +70 |
| 带电子装置的法兰处烘干 | °C | <80 |
| 法兰处烘干（不含电子装置 | °C | <120 |
| 电源电压 | ||
| 压力表 | 伏（直流） | +14.5 … +30 |
| 波纹 | 伏（p-p） | <1 |
| 耗电量 | W | <5 |
| 连接保险丝 | AT | 1 |
| 暴露在真空中的材料 | ||
| 一般材料 | 一般材料 | Al2O3, 不锈钢 |
| 阳极 | 阳极 | 钼 |
| 电离室 | 电离室 | 钛，不锈钢 |
| 点火器 | 点火器 | 不锈钢 |
附件
备件
| 零件编号 | 描述 |
| 303-333 | 用于诊断端口（RS232）的诊断电缆，2 米 |
| 351-051 | 24 V（直流）电源，带模拟输出和 RS232 线路 |
| 351-052 | 光学窗口清洁套件（适用于 PN 为 3OF1-xxx-xxxxx 的压力表） |
| 零件编号 | 描述 |
| 351-594 | 更换传感器 DN ISO 16 KF |
| 351- 595 | 更换传感器 DN 16 CF-R |
| 351-597 | 更换传感器 DN ISO 25 KF |
| 351-598 | 更换传感器 DN ISO 40 KF |
| 351-599 | 更换传感器 DN ISO 40 CF-F |
| 351-596 | 更换传感器 8 VCR female |
| 351-055 | 备用离子室 TI - OPG550 |
| 351-995 | MxG40x/50x, OPG550 点火辅助备件 (10) |
零件编号
下载
手册
3D Step Files
