质谱仪
用于 Transpector® CPM
用于移动故障排除的独立手推车
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON 移动手推车允许 Transpector CPM（紧凑型过程监控器）成为移动故障排除工具。自带车使系统可以在工具之间搬运，它还具有可调节至各种工具高度的灵活性。机械臂机制使采样系统能够弯曲、旋转和垂直移动，这些优势使这款手推车成为狭小生产空间的理想选择。
功能
- 精致小巧 – 手推车的开放式结构及其“肘”形支架臂使得 RGA 能够与工具紧密耦合，而无需占用宝贵的地面空间。
- 完善的系统 – 手推车能够搬运或支持 Transpector CPM 系统及台式或笔记本电脑。它还有一个用于压缩空气、氮气、废气并为 CPM 系统提供动力的连接板。
- 提供 120 VAC 和 230 VAC 型号。
好处
- 灵活性 – 可以通过水平或垂直移动 CPM，使 Transpector CPM 靠近工具或真空系统，还能够旋转系统。
零件号
| Mobile Cart for CPM 120V | |
| Part Number | Description |
| 919-501-G3 | Mobile Cart for CPM 120V
|
| Mobile Cart for CPM 230V | |
| Part Number | Description |
| 919-501-G4 | Mobile Cart for CPM 230V |
