质谱仪
QMG 700
以卓越的稳定性和精细的分辨率超越检测极限
QMG 700 已停产。
即将推出！
全新 QMG 800 - 联系我们了解更多详情
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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半导体制造技术中的快速进步依赖敏捷而可靠的气体分析解决方案。在工厂或实验室中，选择 INFICON QMG 700 分析质谱仪以突破检测障碍并促使您的过程进入更高层次的创新。QMG 700 的模块化设计带来无与伦比的性能和适应性。利用 QMG 700 增强竞争优势，获得出众的测量能力。
从多样化的离子源、滤质器和射频电源选项中选择适当的方案，以根据具体的应用量身定制 QMG 700。QMG 700 对超过九个数量级的动态量程和 ppb 检测限制引以为豪，这种特性使其成为超高真空测量的理想选择。QMG 700 可提供涵盖整个质量范围的单位分辨率，对于较低的质量甚至可获得更高的分辨率。该仪器是最具挑战性的测量应用的极好选择，包括同位素分析，例如氦和氘分离。通过 QMG 700 控制您的过程，并依靠其出色的长期稳定性来保护关键测量。
INFICON 在分析质谱仪领域拥有四十多年卓越的历史，可确保 QMG 700 成为下一代气体分析投资的正确选择。为了获得一致的精度和精确的结果，您可信赖 INFICON QMG 700 以及我们享誉世界的应用专长。
功能
- 质量范围选择从1-512 amu
- 超过9个量级的动态范围
- 极快的测量速度：0.125 ms/amu
- MDPP < 10E-16 mbar
- 整个质量范围内分辨率高。质量1、2和3在ppb范围内可清晰分离
- 多种不同的离子源选择
- 分立或连续动态电子倍增器选项
- IO选项：8个模拟输入/输出和32个数字输入/输出
- 功能强大的软件，界面灵活，用户友好
典型应用
- 气体排放质谱仪
- 终点检测
- 沉积材料监控
- 二次离子质谱仪
技术规格
QMA 400
QMA 410
QMA 430
| 质量范围 | 1-512 amu (1) |
| 传感器长度 | 441.5 mm |
| 杆直径 | 8 mm |
| 杆材料 | 钼 |
| 法兰 | DN 63 CF-F |
| 检测器类型 | 法拉第/SEV 217 |
| 最大工作压力 (FC) | 1 E-4 mbar |
| 最大工作压力 (EM) | 1 E-5 mbar |
| 灵敏度 | 5 E-4 A/mbar |
| 最小可检测分压 | 1 E-15 mbar |
| 分辨率（可调） | 0.3 - 7 amu |
| 分压比 | < 0.5 ppb |
| 最高工作温度传感器 | 150 °C |
| 最高烘烤温度 | 400 °C |
| 最高工作温度电子元件 | 40 °C |
| 测量速度 | 0.125 ms - 60 s/amu |
| 电源 | 100 - 240 VAC |
(1) QMA 400 可用于质量范围：1-512 amu。 QMA 400 的规格基于 512 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置 。 | |
| (2) QMA 410 可用于质量范围：1-128 amu。 QMA 410 的规格基于 128 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置。 | |
| 质量范围 | 1-340 amu (2) |
| 传感器长度 | 548 mm |
| 杆直径 | 16 mm |
| 杆材料 | 钼 |
| 法兰 | DN 100 CF-F |
| 检测器类型 | 法拉第/SEV 217 |
| 最大工作压力 (FC) | 1 E-4 mbar |
| 最大工作压力 (EM) | 1 E-5 mbar |
| 灵敏度 | 1 E -3 A/mbar |
| 最小可检测分压 | 5 E-16 mbar |
| 分辨率（可调） | 0.2 - 2.2 amu |
| 分压比 | < 0.5 ppb |
| 最高工作温度传感器 | 150 °C |
| 最高烘烤温度 | 400 °C |
| 最高工作温度电子元件 | 40 °C |
| 测量速度 | 0.125 ms - 60 s/amu |
| 电源 | 100 - 240 VAC |
(1) QMA 400 可用于质量范围：1-512 amu。 QMA 400 的规格基于 512 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置 。 | |
| (2) QMA 410 可用于质量范围：1-128 amu。 QMA 410 的规格基于 128 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置。 | |
| 质量范围 | 1-300 amu |
| 传感器长度 | 441.5 mm |
| 杆直径 | 8 mm |
| 杆材料 | 不锈钢 |
| 法兰 | DN 63 CF-F |
| 检测器类型 | 法拉第/SEV 217 |
| 最大工作压力 (FC) | 1 E-4 mbar |
| 最大工作压力 (EM) | 1 E-5 mbar |
| 灵敏度 | 2 E-4 A/mbar |
| 最小可检测分压 | 1 E-15 mbar |
| 分辨率（可调） | 0.3 - 7 amu |
| 分压比 | < 0.5 ppb |
| 最高工作温度传感器 | 150 °C |
| 最高烘烤温度 | 400 °C |
| 最高工作温度电子元件 | 40 °C |
| 测量速度 | 0.125 ms - 60 s/amu |
| 电源 | 100 - 240 VAC |
(1) QMA 400 可用于质量范围：1-512 amu。 QMA 400 的规格基于 512 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置 。 | |
| (2) QMA 410 可用于质量范围：1-128 amu。 QMA 410 的规格基于 128 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置。 | |
零件号
QMA 400
QMA 410
QMA 430
| 490-715 | 带有网格离子源的QMA 400 |
| 450-119 | 盖板的位置，DMM的规格。 |
| 490-601 | 用于PPM 422标准的QMA 400 |
| 490-700 | 带有轴向离子源的QMA 400 |
| 490-701 | 带横梁的QMA400 |
| 490-702 | QMA 400, SEM 217, 横梁, Yt |
| 490-810 | 带有轴向离子源的QMA 410 |
| 490-812 | QMA 410,16mm Mo,217, W, CB-GT |
| 490-817 | QMA 410，SEM 217，横梁，Yt |
| 490-821 | QMA 410四联分析器 |
| 490-830 | QMA 410 mit CB-IQ mit Magn.,SEV218 |
| 490-901 | QMA 430 mit CB-IQ, Faraday |
| 490-910 | QMA 430，带轴向IQ，90° SEV217 |
| 490-913 | 带有网格离子源的QMA 430 |
| 490-914 | QMA 430网格离子源，真空退火 |
| 490-916 | QMA 430，CB-IQ，不含SEV217 |
| 490-917 | 带CB离子源的QMA 430，气密性好 |
| 490-918 | QMA 430，CB离子源，不含SEV217 |
| 490-943 | QMA 430, SEM 217, Crossbeam, YT |
