质谱仪
QMG 800
以无与伦比的灵敏度、精确度和卓越的分析能力挑战极限
INFICON QMG 800 是继 QMG 700 之后的新一代分析质谱仪。QMG 800 仍是用于分析过程监控的市场领先的残余气体分析仪 (RGA)。
INFICON 意识到客户的独特需求，打造了 QMG 800，使其在保持行业领先的测量速度和灵敏度的同时，具有更大的灵活性以满足特定的应用要求。QMG 800 的设计旨在为各种分析质谱应用提供更强的性能和可靠性。它是在污染监测过程中进行精确和准确分析的理想选择，可确保各行业最高水平的纯度和质量控制。QMG 800 采用了尖端技术来提高性能和体验，用户会对它的数字先进性赞不绝口。
INFICON QMG 800 在分析质谱领域拥有 50 多年的卓越先驱经验，为您的气体分析投资设定了新标准。在我们的全球专业知识和创新承诺的支持下，您将体验到无与伦比的准确性和精确度。
选择 QMG 800，每次都能获得值得信赖的结果。
特点
- 先进的数字平台可通过 OPC UA 进行通信
- 无缝 OEM 集成
- 适合各种应用的离子源选项
- 与完整的 FabGuard® 软件套件完全兼容，可提供无与伦比的诊断功能
- 90° 离轴扫描电子显微镜可最大限度地降低自由基和非电离粒子的噪音
- 无与伦比的精度和灵敏度，具有单离子检测功能
- 行业领先的测量速度，每 AMU 125 微秒
典型应用
- 污染检测
- 气体纯度监测
- 终点检测
- 分子束外延监测
规格
QMA 400
QMA 430
| 质量范围 | 1-512 amu |
| 杆材料 | 钼 |
| 最大工作压力 (EM) 最大工作压力 (EM) | 1 E-5 mbar |
| 法拉第灵敏度 | |
| 轴离子源 | 3E-4 A/mbar |
| 横束离子源 | 7E-5 A/mbar |
| 交叉光束气密离子源 | 7E-5 A/mbar |
| 带磁铁的横束离子源 | 7E-4 A/mbar |
| 带磁铁的交叉光束气密离子源 | 7E-4 A/mbar |
| 网格离子源 | 2E-4 A/mbar |
| 分辨率（可调） | 0.3 - 7 amu |
| 最小可检测部分压力 | 1 E-15 mbar |
| 带电子倍增器的分压比 | < 0.5 ppb |
| 最高工作温度 工作温度（传感器和电子元件） | 150 °C |
| 测量速度 | 0.125 ms - 60 s/amu |
| 质量范围 | 1-300 amu |
| 杆材料 | 不锈钢 |
| 最大工作压力 (EM) 最大工作压力 (EM) | 1 E-5 mbar |
| 法拉第灵敏度 | |
| 轴离子源 | 2E-4 A/mbar |
| 横束离子源 | 8E-5 A/mbar |
| 交叉光束气密离子源 | 8E-5 A/mbar |
| 带磁铁的横束离子源 | 7E-4 A/mbar |
| 带磁铁的交叉光束气密离子源 | 7E-4 A/mbar |
| 网格离子源 | 2E-4 A/mbar |
| 分辨率（可调） | 0.3 - 7 amu |
| 最小可检测部分压力 | 2E-15 mbar |
| 带电子倍增器的分压比 | < 1 ppb |
| 最高工作温度 工作温度（传感器和电子元件） | 150 °C |
| 测量速度 | 0.125 ms - 60 s/amu |
