光学气体分析仪
Quantus® LP100
实时端点检测和泄漏检测
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON Quantus LP100 气体分析仪为您的关键过程环境提供实时泄漏检测和端点检测。许多过程对泄漏都很敏感，或要求进行终点检测。Quantus LP100 是一种气体分析仪，专门用于实时应对敏感过程环境中的细微变化，以最大限度地减少报废，提高产出。
功能
- 方便的现场可更换等离子单元
- 使用标准 KF25 连接件方便地安装
- 更低的维护成本
- 低至 ppm 级的出色检测下限
- 工作范围为 10 mTorr 至 1 Torr
- 长期的可靠性：不需要泵
- 低拥有成本
- 快速的 10 Hz 采样频率
- 精致小巧：（高 x 宽 x 长）87 x 151 x 241 mm (3.4 x 5.9 x 9.5 in.)
- 有经验的现场培训 INFICON 工程师提供支持
技术规格
| Operating pressure | 0.01 to 1 Torr (application dependent) |
| Spectrometer performance | 200 to 850 nanometer wavelengths (UV-VIS) 16-bit full-scale resolution, 2048 pixels |
| Detection limit | To low ppm levels (application dependent) |
| Exposure time | Minimum of 1 ms |
| Vacuum fitting | KF25 |
