Transpector® APX ALD 单压力残余气体分析仪
单压ALD/CVD和蚀刻先进工艺的专家
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
实时减少废品，提高产量
INFICON Transpector APX 是用于半导体和显示器制造过程监控市场领先的残余气体分析仪 (RGA)。INFICON 深知半导体和显示器客户有着独特的需求，Transpector APX 的最新修订版在保持行业领先的测量速度和灵敏度的同时，提供了更大的灵活性以满足特定的应用要求。Transpector APX 是用于 ALD、CVD、PVD 和蚀刻等半导体工艺的理想 RGA 过程监控器。
下一代 Transpector APX ALD 单压入口系统设计用于在 ALD 或 PECVD 等容易产生颗粒或涂层的制程化学中生存。这允许在所有关键工艺步骤中进行连续监测，以捕获数据点。此外，入口温度可控，可抵御腐蚀性气体，这对于腔室清洁终点监测应用至关重要。
优势
- 针对特定应用的平台设计，为您的ALD或CVD工艺提供最长的使用寿命，实现最佳的晶圆和面板保护以及工艺优化
- ALD准备就绪，测量速度超过每秒550个数据点
- 由于采用高性能泵系统，工厂占地面积减少 30%，安装更加简便
- 温控入口采用 INFICON 专利涂层，用于离散压力入口，可承受苛刻的腐蚀性化学物质
- 自动校准确保传感器与传感器、工具与工具腔室匹配的长期数据可靠性和准确性
- Transpector APX 与 FabGuard® 软件集成后成为强大的过程监控和诊断工具，并由 INFICON 世界级应用专家提供支持
规格
| 总压力范围 | 5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar |
| 检测限 | <10 ppb |
| 工艺压力范围 | 1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm |
| 灵敏度（低排放） | >4.0E-6 amps/Torr >3E-6 amps/mbar |
| 灵敏度（高排放） | >2.0E-5 amps/Torr >1.5E-5 amps/mbar |
| 总压力范围 | 5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar |
| 检测限 | <25 ppb |
| 工艺压力范围 | 1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm |
| 灵敏度（低排放） | >2.0E-6 amps/Torr >1.5E-6 amps/mbar |
| 灵敏度（高排放） | >1.0E-5 amps/Torr >7.6E-6 amps/mbar |
| 总压力范围 | 5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar |
| 检测限 | <50 ppb |
| 工艺压力范围 | 1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm |
| 灵敏度（低排放） | >1.0E-6 amps/Torr >7.6E-7 amps/mbar |
| 灵敏度（高排放） | >5.0E-6 amps/Torr >3.8E-6 amps/mbar |
易耗品
| 零件编号 | 描述 |
| 969-800-G1S | APX CIS Tungsten Filament Kit GOLD |
| 969-800-G2S | APX CIS Coated Filament Kit GOLD |
| 969-801-G1S | APX CIS Tungsten Ion Source Kit GOLD |
| 969-801-G2S | APX CIS Tungsten Ion Source Kit with Anode Liner GOLD |
| 969-801-G3S | APX CIS Coated Ion Source Kit GOLD |
| 969-801-G4S | APX CIS Coated Ion Source Kit with Anode Liner GOLD |
| 961-707-G1 | Electron Multiplier Replacement Kit |
| 923-418-G2 | Replacement diaphragm kit for 2-stage pump |
