质谱仪
Transpector® CPX
紧凑型过程专家用于先进的过程监测
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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增强性能、可靠性验证与应用多样性
INFICON Transpector CPX 是一款市场领先的残余气体分析仪（RGA），用于半导体制造中的先进过程监控。INFICON 深知半导体制造过程有特定需求，需要灵活性以满足应用要求。Transpector CPX 设计时充分考虑了这一多样性，配备了多压力 HexBlock 入口和多种功能选项，以满足应用需求。
新一代 Transpector CPX 相较于前代产品*体积减少了 30%，同时保持行业领先的抽气系统。作为可选配置，Transpector CPX 还可以配备双丝闭合离子源，以提高使用寿命和 RGA 的运行时间。此外，Transpector CPX 还是一款更智能的系统，具有更强的控制能力。
*与 Transpector CPM 3 相比
优势
- 可配置的 HexBlock，最多支持三个压力入口，适用于多种应用
- 与 Transpector CPM 3 相比，系统体积减少 30%，便于在空间受限的应用中进行 RGA 集成
- 可选双丝功能选项，延长使用寿命并提高 RGA 的运行时间
- 通过行业领先的抽气系统和温控加热组件简化系统复杂度
- 自动校准确保长期数据可靠性和准确性，实现传感器到传感器、工具到工具的腔室匹配
- 当与 FabGuard 软件集成并由 INFICON 世界级应用专家支持时，Transpector CPX 成为强大的过程监控和诊断工具
规格
100 AMU
200 AMU
300 AMU CPM
| 检测极限 | < 200 ppb |
| 过程压力范围 | 1E-8 Torr to 1.2 ATM |
| 灵敏度（低发射） | > 4E-6 Amps/Torr |
| 灵敏度 (高发射) | > 2E-5 Amps/Torr |
| 检测极限 | < 500 ppb |
| 过程压力范围 | 1E-8 Torr to 1.2 ATM |
| 零名都（低发射） | > 4E-6 Amps/Torr |
| 灵敏度 (高发射) | > 2E-5 Amps/Torr |
| 检测极限 | < 1 ppm |
| 制程压力范围 | 1E-8 Torr to 1.2 ATM |
| 灵敏度（低发射） | > 4E-6 Amps/Torr |
| 灵敏度 (高发射) | > 2E-5 Amps/Torr |
消耗品
| 零件编号 | 说明 |
| 969-818-G2S | 单灯丝涂层套件 |
| 969-818-G1S | 单灯丝钨丝灯泡套件 |
| 969-819-G3S | 单灯丝镀膜离子源套件 |
| 969-819-G1S | 单灯丝钨离子源套件 |
| 969-819-G2S | 单灯丝鎢离子源套件 + 阳极襯片 |
| 961-707-G1 | 电子倍增器替换套件 |
| 923-418-G2 | 适用于2 級泵的更換隔膜套件 |
| 923-711-G1 | HexBlock气门替换套件 |
