质谱仪

Transpector® MPH

无与伦比的性能提高良率并使正常运行时间最大化

持续上升的硅晶圆价格以及对成品的需求意味着废弃晶圆需要付出前所未有的代价。因此，在半导体制造中心了解过程并监测缺陷也变得更加重要。Transpector MPH 气体分析系统专门用于让您的系统在所有气体分析应用中都实现业内一流的性能，有助于最大限度地提高芯片产量，降低工具停工时间。Transpector MPH 兼具总拥有成本低和平均故障间隔时间长的优点，在帮助您赢利方面的作用优于市面上的任何其他残余气体分析仪 (RGA)。

INFICON 利用在气体分析过程控制设备领域的专长制造的 RGA 具有行业领先的数据采集速度，可检分压强和信噪比最低。所有这些特性都不会牺牲 INFICON Transpector 气体分析仪一贯出色的可靠性。

功能

最大模拟扫描和选定峰值的数据速率为每点 1.8 ms
TCP/IP 以太网连接
双丝极
可现场更换电子倍增器
组合阳极、阴极和反射极丝极套件
较短的传感器可降低安装占地面积
九个数量级的动态量程
<2E-15 Torr 的 MDPP（100 amu）
信噪比更高
可调换传感器和电子元件
传感器在洁净室环境中装配、测试并进行双层包装
符合 RoHS 标准

技术规格

MPH100M

MPH100F

MPH200M

MPH200F

MPH300M

MPH300F

质量范围	100 amu

最小可检测分压	2E-15 Torr

灵敏度 (FC)	6E-4 A/Torr

灵敏度 (EM)	500 A/Torr

最大工作压力	5E-4 Torr

质量范围	100 amu

最小可检测分压	3E-13 Torr

灵敏度 (FC)	6E-4 A/Torr

灵敏度 (EM)	NA

最大工作压力	5E-4 Torr

质量范围	200 amu

最小可检测分压	3E-15 Torr

灵敏度 (FC)	5E-4 A/Torr

灵敏度 (EM)	500 A/Torr

最大工作压力	5E-4 Torr

质量范围	200 amu

最小可检测分压	4E-13 Torr

灵敏度 (FC)	5E-4 A/Torr

灵敏度 (EM)	NA

最大工作压力	5E-4 Torr

质量范围	300 amu

最小可检测分压	4E-15 Torr

灵敏度 (FC)	4E-4 A/Torr

灵敏度 (EM)	250 A/Torr

最大工作压力	5E-4 Torr

质量范围	300 amu

最小可检测分压	5E-13 Torr

灵敏度 (FC)	4E-4 A/Torr

灵敏度 (EM)	NA

最大工作压力	5E-4 Torr

配件

961-021-G1	Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) US plug
961-021-G2	Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable
961-021-G3	Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable
961-021-G4	Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug
961-021-G5	Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable
961-021-G6	Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable
600-1190-P8	Ethernet 7m cable
600-1190-P15	Ethernet 15m cable
600-1428-P1	Power Supply Extension Cable- 15 ft (4.5m)
600-1429-P1	Power Supply Extension Cable - 30 ft (9m)
961-417-G1	Ethernet Router 4 port with Push Button Wi-Fi
961-418-G1	Ethernet Switch 8 port
961-702-G1	Pirani Interlock Kit
914-024-G1	Angle Valve Kit, Manual (includes heater)
914-026-G1	MPH Angle Valve Kit, Electropneumatic 24 V(DC) (includes heater)
961-029-G1	MPH Heater Kit 120 VAC
961-029-G2	MPH Heater Kit 230 VAC

备件

耗材

961-416-P1	Spare MPH Heating Jacket
914-407-P1	Spare Valve Heating Jacket (required heater power cable if stand alone)
600-1117-P1	Spare Heater Power Cable 120 VAC
600-1117-P2	Spare Heater Power Cable 230 VAC
914-410-P1	Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1	Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2	MPH Extension Kit
961-205-G2	MPH HPR Extension Kit
961-022-G1	Spare O-Ring and Nut Kit
074-5007-G1	Gas Analysis Product Manuals CD

961-700-G1	Coated Iridium Filament Kit
961-700-G2	Tungsten Filament Kit
961-701-G1	Coated Iridium Filament Ion Source
961-701-G2	Tungsten Filament Ion Source
961-2428-G2	Electron Multiplier Replacement Kit

备件