质谱仪
Transpector® XPR 3+
Transpector® XPR 3+
扩大的压力范围 RGA - 传感化创新
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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监测并控制快速过程变化
新的 Transpector XPR 3+ 残余气体分析仪 (RGA) 提供业内领先的测量速度，以监测并控制现代半导体和显示屏生产所需的快速过程变化。Transpector XPR 3+ 非常适合于现场空气漏点、气体纯度、碳氢化合物和污染监测。相比定期上升率测试，Transpector XPR 3+ 进行的实时测量可提供卓越的产品保护
通过最大化工具使用时间促进盈利能力
Transpector XPR 3+ RGA 是用于溅射压力范围应用的经实践验证的四极和双离子源传感器。无需压力转换设备，部件使用寿命长，能快速检测并诊断问题，从而最大化工具可用性、产品吞吐量和产量。传感器可在高真空到 20 mTorr 范围连续工作，无需泵。Transpector XPR 3+ 双离子源腔室设计用于限制涂层，以保持离子源灵敏度，并延长传感器平均维护时间。
优势
- 从高真空到 PVD 流程压强条件下，能够高灵敏度地检测空气泄漏和污染，实时保护晶圆和面板
- 最大化 PM 效率和工具正常使用时间，具有快速可靠的腔室条件
- 通过延长使用寿命、防污染、双离子源设计最小化总体拥有成本；无需泵，即可监测高达 20 mTorr 的压强。低压 EM 变体可提供成本敏感的替代选择
- 通过强大数据采集与同步实现无缝工厂集成和可靠阻断
- 通过定制配方优化增强独特生产能力
- 通过即时现场专家响应保护关键过程需求
典型应用
- PVD 和溅射过程模块
- 预清洗模块
- 非群集 PVD 工具
- 夹钳式除气模块
技术规格
| 质量位置稳定性 | <0.1 amu over 24 hours |
| 灵敏度（FC 模式） | ≥4E-7 amps/Torr (3E-7 amps/mbar) |
| 灵敏度（标称） | ≥8E-3 amps/Torr (3E-3 amps/mbar) |
| 最小可检测分压（FC 模式） | ≤1E-9 Torr (1.3E-9 mbar) |
| 最小可检测分压（EM 模式） | ≤6E-12 Torr (8E-12 mbar) |
| 最大工作压力（FC 或 EM 模式） | 20 mTorr (2.6E-2 mbar) |
| 最大工作压力（线性操作） | 10 mTorr (1.3E-2 mbar) |
