光学气体分析仪
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用于光学气体分析和总压力测量的双量规
Augent® OPG550
INFICON Augent® 光学等离子体真空计是一种紧凑、智能的真空监测解决方案。
Augent® OPG550
- 高速检漏，可进行腔体检漏
- 提高生产率和产量
- 寿命长，不烧丝，有气涌保护
- 可承受工艺化学反应
光学气体分析仪
Quantus® HP100
为尖端的半导体制造工艺和其他气体分析应用提供实时泄漏检测、端点检测和过程监测
Quantus® HP100
- 操作范围从1托到450托
- 卓越的检测极限< 1 ppm
- 长期的可靠性：不需要泵
- 使用标准的KF25连接，易于安装
光学气体分析仪
Quantus® LP100
为关键工艺环境提供实时泄漏检测和端点检测
Quantus® LP100
- 操作范围为10 mTorr至1 Torr
- 优秀的检测限可低至低ppm水平
- 长期的可靠性：不需要泵
- 使用标准的KF25连接，易于安装