光学气体分析仪
INFICON 为半导体、显示器和其他制造过程中的气体分析提供行业领先的光学传感器解决方案。 我们的尖端技术可实现原位漏气检测、端点检测和过程监控，从而提高产量并减少废品。
此过滤器组合无法显示结果。
重新设置过滤器以获得结果。
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用于光学气体分析和总压力测量的双量规
Augent® OPG550
INFICON Augent® 光学等离子体真空计是一种紧凑、智能的真空监测解决方案。
Augent® OPG550
- 高速检漏，可进行腔体检漏
- 提高生产率和产量
- 寿命长，不烧丝，有气涌保护
- 可承受工艺化学反应
光学气体分析仪
Quantus® HP100
为尖端的半导体制造工艺和其他气体分析应用提供实时泄漏检测、端点检测和过程监测
Quantus® HP100
- 操作范围从1托到450托
- 卓越的检测极限< 1 ppm
- 长期的可靠性：不需要泵
- 使用标准的KF25连接，易于安装
光学气体分析仪
Quantus® LP100
为关键工艺环境提供实时泄漏检测和端点检测
Quantus® LP100
- 操作范围为10 mTorr至1 Torr
- 优秀的检测限可低至低ppm水平
- 长期的可靠性：不需要泵
- 使用标准的KF25连接，易于安装