质谱仪
INFICON 的高性能质谱仪可为半导体制造过程、工业涂层和真空过程、研究和环境监测提供精确的气体分析。我们的先进技术可实现痕量气体的实时检测，从而提高质量控制和过程效率，同时最大限度地减少设备停机时间。
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质谱分析法
Transpector APX 多压力传感器
多压ALD/CVD和蚀刻先进工艺专家
Transpector APX 多压力传感器
- xParts 涂层可延长在恶劣化学环境下的使用寿命
- 多压力采样入口
- 检测限低于10 ppb
- 行业领先的泵送速度
质谱仪
Transpector® APX ALD 单压力
单压ALD/CVD和蚀刻先进工艺专家
Transpector® APX ALD 单压力残余气体分析仪
- xParts 涂层可延长在恶劣化学环境中的使用寿命
- 高温单压入口
- 检测限低于10 ppb
- 行业领先的泵送速度
质谱仪
Transpector® CPX
用于高级过程监控的紧凑型过程专家
Transpector® CPX
- HexBlock多压力采样入口
- 检测限低于200 ppb
- 行业领先的抽气速度
- 系统体积减少30%
质谱仪
Transpector® XPR 3+
极端PVD过程监控四极杆质谱仪
Transpector® XPR 3+
- 行业领先的最大工作压力
- 可选的超压隔离阀联锁
- 扫描量高达100 amu
质谱仪
Transpector® MPH
高性能四极杆质谱仪
Transpector® MPH
- 90年代的动态范围
- 行业领先的数据收集率
- 可更换的传感器和电子设备
- 扫描量高达300阿姆
质谱仪
Transpector® MPS
多用途四极杆质谱仪
Transpector® MPS
- 90年代的动态范围
- 可更换的传感器和电子器件
- 可选的连续动态电子倍增器
- 扫描量高达200 amu
质谱仪
Transpector® SPS
在目标压力范围内的过程监测
Transpector® SPS
- 有针对性的高压工艺
- 单一压力采样入口
- 检测限低于1ppm
- 集成的差分泵系统