热电离真空计
BAG302
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Gemini™ MxG5xx
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INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG302 涵盖从 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar(1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr)的广泛测量范围。紧凑型一体化热电离真空计 BAG302 能够轻松地更换双丝极传感器、内置 OLED 显示器、设定点继电器和对数线性模拟输出以及集成 RS485 数字接口,提高了集成灵活性。这些功能配以坚固的设计,使 BAG302 为其自身的基本压力测量仪器带来经济且可重复的过程,并提供高价值/低拥有成本的选择。
好处
- 测量范围从 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar(1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr)
- 双标准长使用寿命氧化钇铱丝
- 一体式主动测量仪,内置显示器、设定点、模拟输出和标准集成式 RS485 数字接口
- 带键盘的明亮的数字 OLED 显示屏,简化设置、操作和编程
- 用户可编程的设定点继电器
- 用户可编程的显示器单位:mbar、Torr 或 Pa
- 用户可选的发射电流自动设换范围
- 机械强度和坚固性
- 各种法兰的选择
- 易于更换的传感元件
- 合规和标准:CE、RoHS
- 直接取代 Granville-Phillips® 354 Micro-Ion® 模块 – 包括软件命令在内的相同控制功能 (RS485)(Granville-Phillips® 和 Micro-Ion® 是 MKS Instruments, Andover, MA 的注册商标)
典型应用
- 对半导体过程和传输腔室的压力测量
- 工业镀膜
- 低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制
零件编号
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手册
3D Step Files
352-050 BAG302-S 9DSub, 1SP, OLED, 16KF.STEP
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352-051 BAG302-S 9DSub. 1SP, OLED, 25KF.STEP
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352-052 BAG302-S 9DSub,OLED,40KF.STEP
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352-053 BAG302-S 9DSub,OLED,16CFR.STEP
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352-054 BAG302-S 9DSub, 1SP, OLED, 40CFR.STEP
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352-055 BAG302-S 9DSub,OLED,3_4 inch Tube.STEP
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352-056 BAG302-S 9DSub, OLED, 8FVCR.STEP
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