热电离真空计

BAG302

中到超高真空真空计

Pirani-BAG302
嵌入式选项

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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG302 涵盖从 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar(1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr)的广泛测量范围。紧凑型一体化热电离真空计 BAG302 能够轻松地更换双丝极传感器、内置 OLED 显示器、设定点继电器和对数线性模拟输出以及集成 RS485 数字接口,提高了集成灵活性。这些功能配以坚固的设计,使 BAG302 为其自身的基本压力测量仪器带来经济且可重复的过程,并提供高价值/低拥有成本的选择。

好处

  • 测量范围从 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar(1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr)
  • 双标准长使用寿命氧化钇铱丝
  • 一体式主动测量仪,内置显示器、设定点、模拟输出和标准集成式 RS485 数字接口
  • 带键盘的明亮的数字 OLED 显示屏,简化设置、操作和编程
  • 用户可编程的设定点继电器
  • 用户可编程的显示器单位:mbar、Torr 或 Pa
  • 用户可选的发射电流自动设换范围
  • 机械强度和坚固性
  • 各种法兰的选择
  • 易于更换的传感元件
  • 合规和标准:CE、RoHS
  • 直接取代 Granville-Phillips® 354 Micro-Ion® 模块 – 包括软件命令在内的相同控制功能 (RS485)(Granville-Phillips® 和 Micro-Ion® 是 MKS Instruments, Andover, MA 的注册商标)

典型应用

  • 对半导体过程和传输腔室的压力测量
  • 工业镀膜
  • 低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

零件编号

BAG302 Ordering Information
BAG302 Ordering Information
该产品被用于以下市场
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