热电离真空计
BCG450
大气压至超高真空三合一真空计
嵌入式选项
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
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Flange connection to vacuum chamber
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INFICON Bayard-Alpert Pirani 电容式隔膜真空计 (Triple-Gauge™) BCG450 将三大不同技术的优势融合在一个体积小、价格低的规管中，可以测量从 5×10-10 至 1500 mbar（3.75×10-10 至 1125 Torr）的过程压力和基本压。BCG450 的设计旨在替代三个传感器（热电离、加强对流 Prani 和真空开关），因而节省了成本和宝贵的工具空间。
好处
- BCG450 可节省成本和工具空间，降低真空测量仪器的安装与设置的复杂性
- 压力超过 10 Torr 时压力测量不受气体类型限制，可以为任何气体混合物提供更为可靠的预抽真空室控制
- 皮拉尼联锁保护丝极，防止过早烧毁
- 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员的干预
- 大气气压下压差测量消除了大气压力变化引起的不确定性
- 传感元件带有板载校准数据，易于更换，可保证再现性
- 备有可选的图形显示器和现场总线接口
- 符合 RoHS 标准
典型应用
- 对半导体过程和预抽真空室的压力测量
- 工业镀膜
- 在低至超高真空范围中系统的一般真空测量和控制
规格
| Measurement range (air, O2, CO, N2) | mbar Torr | 5×10-10 … 1500 3.75×10-10 … 1125 |
| Accuracy | ||
| 10-8 … 50 mbar | % of reading | ±15 |
| 50 … 950 mbar | % of reading | ±5 |
| 950 … 1050 mbar | % of reading | ±2.5 |
| Repeatability | ||
| 10-8 … 10-2 mbar | % of reading | 5 |
| Temperature | ||
| Operation (ambient) | °C | 0 … +50 |
| Storage | °C | -20 … +70 |
| Bakeout at flange | °C | 80 |
| Bakeout electronics removed | °C | 150 |
| Supply voltage | V (dc) A (dc) | 20 … 28 0.8 |
| Materials exposed to vacuum | Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass |
Part Number
Accessories
Spare Parts
| Part Number | Description |
| 353-550 | BCG450 DN 25 ISO-KF |
| 353-551 | BCG450 DN 40 CF-R |
| 353-552 | BCG450 LCD, DN 25 ISO-KF |
| 353-553 | BCG450 LCD, DN 40 CF-R |
| 353-554 | BCG450-SP PBus, DN 25 ISO-KF |
| 353-556 | BCG450-SP PBus, DN 40 CF-R |
| 353-557 | BCG450-SD DNet, DN 25 ISO-KF |
| 353-558 | BCG450-SD DNet, DN 40 CF-R |
| 353-592 | BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
| 353-593 | BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R |
| 353-598 | BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
| 353-599 | BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R |
| 353-517 | BCG450-PN PROFINET, DN 25 ISO-KF |
| 353-518 | BCG450-PN PROFINET, DN 40 CF-R |
| Part Number | Description |
| 353-511 | Power supply BPG400 24VDC |
| 353-512 | Baffle for BPG400 |
| 211-113 | Centering ring with baffle DN 25 KF |
| Part Number | Description |
| 354-492 | Spare sensor head BCG450, DN 25 ISO-KF |
| 354-493 | Spare sensor head BCG450, DN 40 CF-R |
下载
手册
手册
TINA40D1 Triple Gauge BCG450 Gebrauchsanleitung_lang
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2,0 MB
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德语
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操作手册
BCG450 TripleGauge EtherCAT New Generation Communication Protocol
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773,5 KB
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英文
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操作手册
BCG450 TripleGauge EtherCAT Communication Protocol
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350,6 KB
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英文
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操作手册
BCG450 TripleGauge DeviceNet Communication Protocol
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289,8 KB
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英文
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操作手册
BCG450 TripleGauge PROFIBUS Communication Protocol
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360,8 KB
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英文
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操作手册
BCG450 TripleGauge PROFINET Communication Protocol
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824,0 KB
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英文
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操作手册
TINA40E1 Triple Gauge BCG450 Operating manual_long
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1,8 MB
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英文
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操作手册
3D Step Files
353-517 BCG450 PROFINET DN 25 ISO-KF
stp
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3,5 MB
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3D文件
353-518 BCG450 PROFINET DN 40 CF-R
stp
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5,4 MB
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3D文件
353-550 BCG450 DN 25 ISO-KF
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451,7 KB
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3D文件
353-551 BCG450 DN 40-CF-R
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455,6 KB
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3D文件
353-552 BCG450 LCD DN 25 ISO-KF
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453,5 KB
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3D文件
353-553 BCG450 LCD DN 40 CF-R
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353-554 BCG450 PROFIBUS DN 25 ISO-KF
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459,8 KB
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3D文件
353-556 BCG450 PROFIBUS DN 40-CF-R
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467,2 KB
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353-557 BCG450 DNET DN 25 ISO-KF
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457,3 KB
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3D文件
353-558 BCG450 DNET DN 40-CF-R
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462,3 KB
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3D文件
353-592 BCG450-SE EtherCAT 25 ISO-KF
stp
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5,1 MB
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3D文件
353-593 BCG450-SE EtherCAT 40 CF-R
stp
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5,2 MB
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3D文件
其他
BCG450 TripleGauge int EDS
eds
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英文
BCG450 TripleGauge Float EDS
eds
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53,7 KB
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英文
BCG450 TripleGauge 08E6 GSD
GSD
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2,5 KB
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英文
Inficon_450_SP_STEP7
zip
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857,1 KB
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英文
BCG450 TripleGauge EtherCAT New Generation ESI V2
xml
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218,7 KB
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英文
BCG450 TripleGauge ESI V1.3
xml
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1,4 MB
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英文
PROFINET GSDML File for BCG450
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3,2 KB
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英文
