热电离真空计
BCG450
大气压至超高真空三合一真空计
嵌入式选项
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Gemini™ MxG5xx
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INFICON Bayard-Alpert Pirani 电容式隔膜真空计 (Triple-Gauge™) BCG450 将三大不同技术的优势融合在一个体积小、价格低的规管中，可以测量从 5×10-10 至 1500 mbar（3.75×10-10 至 1125 Torr）的过程压力和基本压。BCG450 的设计旨在替代三个传感器（热电离、加强对流 Prani 和真空开关），因而节省了成本和宝贵的工具空间。
好处
- BCG450 可节省成本和工具空间，降低真空测量仪器的安装与设置的复杂性
- 压力超过 10 Torr 时压力测量不受气体类型限制，可以为任何气体混合物提供更为可靠的预抽真空室控制
- 皮拉尼联锁保护丝极，防止过早烧毁
- 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员的干预
- 大气气压下压差测量消除了大气压力变化引起的不确定性
- 传感元件带有板载校准数据，易于更换，可保证再现性
- 备有可选的图形显示器和现场总线接口
- 符合 RoHS 标准
典型应用
- 对半导体过程和预抽真空室的压力测量
- 工业镀膜
- 在低至超高真空范围中系统的一般真空测量和控制
下载
手册
手册
TINA40D1 Triple Gauge BCG450 Gebrauchsanleitung_lang
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2,0 MB
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德语
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操作手册
BCG450 TripleGauge EtherCAT New Generation Communication Protocol
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773,5 KB
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英文
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操作手册
BCG450 TripleGauge EtherCAT Communication Protocol
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350,6 KB
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英文
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操作手册
BCG450 TripleGauge DeviceNet Communication Protocol
pdf
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289,8 KB
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英文
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操作手册
BCG450 TripleGauge PROFIBUS Communication Protocol
pdf
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360,8 KB
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英文
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操作手册
BCG450 TripleGauge PROFINET Communication Protocol
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824,0 KB
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英文
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操作手册
TINA40E1 Triple Gauge BCG450 Operating manual_long
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1,8 MB
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英文
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操作手册
3D Step Files
353-517 BCG450 PROFINET DN 25 ISO-KF
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3D文件
353-518 BCG450 PROFINET DN 40 CF-R
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5,4 MB
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3D文件
353-550 BCG450 DN 25 ISO-KF
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3D文件
353-551 BCG450 DN 40-CF-R
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3D文件
353-552 BCG450 LCD DN 25 ISO-KF
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453,5 KB
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353-553 BCG450 LCD DN 40 CF-R
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353-554 BCG450 PROFIBUS DN 25 ISO-KF
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459,8 KB
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3D文件
353-556 BCG450 PROFIBUS DN 40-CF-R
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467,2 KB
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353-557 BCG450 DNET DN 25 ISO-KF
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353-558 BCG450 DNET DN 40-CF-R
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353-592 BCG450-SE EtherCAT 25 ISO-KF
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353-593 BCG450-SE EtherCAT 40 CF-R
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196,8 KB
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其他
BCG450 TripleGauge int EDS
eds
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英文
BCG450 TripleGauge Float EDS
eds
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53,7 KB
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英文
BCG450 TripleGauge 08E6 GSD
GSD
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2,5 KB
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英文
Inficon_450_SP_STEP7
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英文
BCG450 TripleGauge EtherCAT New Generation ESI V2
xml
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英文
BCG450 TripleGauge ESI V1.3
xml
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PROFINET GSDML File for BCG450
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英文
