热电离真空计
Trigon™ BCG552
ATM 至超高真空 TripleGauge®
嵌入式选项
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
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Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
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Electrical connection
Digital interface
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TripleGauge® BCG552 在一个传感器法兰中集成了 3 个真空传感元件。这款新型 TrigonTM 系列的旗舰产品具有极宽的测量范围，从 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1500 mbar)。由于增加了 ATM 传感器，BCG552 可用于压差测量，并在多个应用中用作真空开关。
支持的 Bayard-Alpert 双灯丝在 UHV 和 HV 范围内具有出色的精度、可重复性和使用寿命，而微型电容式隔膜真空计在 ATM 范围内具有出色的精度，并且不受气体类型的影响。
优势
- 3 + 1 个传感元件，测量范围极广，降低成本，节省空间
- 双灯丝设计
- 独立于气体类型的压力测量（10 托以上）为任何混合气体提供更可靠的负载锁定控制。
- 压差测量消除了与大气压力变化有关的不确定性
- 自动高真空皮拉尼调节减少了操作员的干预
- 电隔离电子元件可避免杂散电流
- 滑动排放模式，避免在切换排放流时出现压力跳跃和冻结现象
- 设定点继电器
- 明亮大屏幕 OLED 显示屏（可 90° 旋转），带用户界面
- 模拟输出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
- 可与 VGC50x 控制器系列配合使用
- 向后兼容 TripleGauge® BCG450
- 符合 RoHS 规范
典型应用
- 半导体制程、传输和负载锁定室中的压力测量
- 工业镀膜
- 低真空至超高真空范围内系统的一般真空测量和控制
规格
| 测量范围 (气, O2, CO, N2) | 5 × 10-10 … 1500 mbar |
| 准确度 | |
| 950 ... 1050 mbar | ±2.5% 读数 |
| 50 ... 950 mbar | ±5% 读数 |
| 1 × 10-8 … 50 mbar | ±15% 读数 |
| 可重复性 | 5% 读数, 1 × 10-8 … 1050 mbar (稳定 10 分钟后） |
| 暴露在真空中的材料 | 不锈钢、镍铁合金、镀镍、哈氏合金、玻璃、铱、氧化钇 (Y2O3)、镍、钨 |
零件编号
备件
| 零件编号 | 描述 |
| 354-423 | BCG552 备用传感器头, KF25 |
| 354-424 | BCG552 备用传感器头, CF40 |
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Trigon 15DSUB,2SP,OLED,E-CAT,25KF
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