热电离真空计

BPG400

大气压至超高真空真空计

嵌入式选项

与我们一起彻底改变您的真空计使用体验！

INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计 BPG400 将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中，测量范围为 5×10^-10 mbar至大气压（3.8×10^-10 Torr 至大气压)。多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。选择 BPG400 单一经济型封装，在低成本、可重复的过程中进行基础压力测量。

好处

从 5 x 10^-10 mbar 至大气气压（3.8 x 10^{-10 Torr 至大气气压）的极其宽泛的测量范围}
在 10^-8 … 10^-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性
皮拉尼联锁保护 Bayard-Alpert 系统在高压操作下丝极过早烧毁和过度污染
长使用寿命氧化钇铱丝
备有可选的图形显示器和现场总线接口
高真空皮拉尼自动调节，减少操作员的干预
符合 RoHS 标准
低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

典型应用

对半导体过程和传输腔室的压力测量
工业镀膜
低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

规格

Measurement range (air, O₂, CO, N₂)	mbar Torr	5×10^-10 … 1000 3.8×10^-10 … 750

Accuracy

10^-8 … 10^-2 mbar	% of reading	±15

Repeatability

10^-8 … 10^-2 mbar	% of reading	5

Temperature

Operation (ambient)	°C	0 … +50
Storage	°C	-20 … +70
Bakeout at flange with extension	°C	150
Bakeout at flange without extension	°C	80
Bakeout electronics removed	°C	150

Supply voltage	V (dc) A (dc)	+20 … +28 0.8

Materials exposed to vacuum		Yt₂O₃, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass

在此下载完整的规格

Part Number

Accessories

Spare Parts

Part Number	Description
353-500	BPG400 DN 25 ISO-KF
353-501	BPG400 LCD, DN 25 ISO-KF
353-502	BPG400 DN 40 CF-R
353-503	BPG400 LCD, DN 40 CF-R
353-505	BPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-506	BPG400-SP PBus, DN 40 CF-R
353-507	BPG400-SD DNet, DN 25 ISO-KF
353-508	BPG400-SD DNet, DN 40 CF-R

Part Number	Description
353-511	Power supply BPG400 24VDC
353-510	100 mm sensor extension tube
353-512	Baffle for BPG400
211-113	Centering ring with baffle DN 25 KF

Part Number	Description
354-490	Spare sensor head BPG400, DN 25 ISO-KF
354-491	Spare sensor head BPG400, DN 40 CF-R
354-498	Spare electronic BPG400 without Display
354-499	Spare electronic BPG400 with Display

下载

手册

Hot Ion Gauge Brochure

pdf • 2,5 MB • 英文 • 手册

数据表

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BPG400 Datasheet

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pdf • 229,9 KB • 西班牙语 • 数据表

pdf • 359,9 KB • 日语 • 数据表

pdf • 280,7 KB • 韩语 • 数据表

pdf • 357,6 KB • 中文 • 数据表

手册

TIMA03D1 BPG400xx Gebrauchsanleitung kurz

pdf • 319,1 KB • 德语 • 操作手册

TINA03D1 BPG400-xx Gebrauchsanleitung_lang.Web

pdf • 1,1 MB • 德语 • 操作手册

BPG400xx Operating Manual (short version)

pdf • 314,5 KB • 英文 • 操作手册

TIMA03D1 BPG400xx Gebrauchsanleitung kurz

pdf • 319,1 KB • 英文 • 操作手册

TIMA36E1_BPG400xx operating manual-supplement

pdf • 326,7 KB • 英文 • 操作手册

TINA03E1_BPG400-xx operating manual_long

pdf • 1,1 MB • 英文 • 操作手册

TIRA03E1 DeviceNet BPG400x Communication Protocol

pdf • 319,3 KB • 英文 • 操作手册

TIRA36E1 PROFIBUS BPG400x Communication Protocol

pdf • 399,9 KB • 英文 • 操作手册

3D Step Files

352-501 BPG400 with LCD, DN 25 ISO-KF

zip • 456,8 KB • 3D文件

353-500 BPG400 without LCD, DN 25 ISO-KF

zip • 449,5 KB • 3D文件

353-502 BPG400 without LCD, DN 40 CF-R

zip • 427,5 KB • 3D文件

353-503 BPG400 with LCD, DN 40 CF-R

zip • 468,1 KB • 3D文件

353-505 BPG400-SP with PROFIBUS DP, DN 25 ISO-KF

zip • 468,2 KB • 3D文件

353-506 BPG400-SP with PROFIBUS DP, DN 40 CF-R

zip • 468,2 KB • 3D文件

353-507 BPG400-SD with DeviceNet™, DN 25 ISO-KF

zip • 457,3 KB • 3D文件

353-508 BPG400-SD with DeviceNet™, DN 40 CF-R

zip • 462,3 KB • 3D文件

354-490 BPG400 Replacement sensor DN 25 ISO-KF

zip • 48,5 KB • 3D文件

354-491 BPG400 Replacement sensor DN 40 CF-R

zip • 69,2 KB • 3D文件

其他

BPG400_06A9.GSD

GSD • 2,5 KB • 英文

BPG400-float.eds

eds • 35,1 KB • 英文

eds • 31,4 KB • 英文

Inficon_400_SP_STEP7

zip • 856,6 KB • 英文

该产品被用于以下市场

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INFICON汇聚尖端科技，实现最高质量的显示器产品

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其中，真空技术大多用于保证清洁的环境，并且在某些过程中需要维持真空以确保过程顺利实施。

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