热电离真空计
BPG402-Sx
大气压至超高真空真空计

嵌入式选项
与我们一起彻底改变您的真空计使用体验!
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Request
Your configuration has been successfully sent!

INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计 BPG402-S 将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中,测量范围为 5×10-10 mbar至大气压(3.8×10-10 Torr 至大气压)。多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。为负担不重且可重复的过程选择带有双氧化钇铱丝的 BPG402-S,以经济高效的方式执行基本压力测量。传感元件带有板载校准数据,保证更换传感器时的高再现性。
好处
- 从 5 x 10-10 mbar 至大气气压(3.8 x 10-10 Torr 至大气气压)的极其宽泛的测量范围
- 在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性
- 皮拉尼联锁保护丝极,防止过早烧毁
- 双长使用寿命氧化钇铱丝
- 备有可选的图形显示器和现场总线接口
- 高真空皮拉尼自动调节,减少操作员的干预
- 传感元件带有板载校准数据,易于更换,可保证高再现性
- 符合 RoHS 标准
典型应用
- 对半导体过程和传输腔室的压力测量
- 工业镀膜
- 低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制
规格
Measurement range (air, O2, CO, N2) | mbar Torr | 5×10-10 … 1000 3.8×10-10 … 750 |
Accuracy | ||
10-8 … 10-2 mbar | % of reading | ±15 |
Repeatability | ||
10-8 … 10-2 mbar | % of reading | 5 |
Temperature | ||
Operation (ambient) | °C | 0 … +50 |
Storage | °C | -20 … +70 |
Bakeout at flange without electronics BPG402-S | °C | 80 |
Bakeout at flange without electronics BPG402-SL | °C | 150 |
Supply voltage | V (dc) A (dc) | +20 … +28 ≤0.8 |
Materials exposed to vacuum | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass |
Part Number
Accessories
Spare Parts
Part Number | Description |
353-570 | BPG402-S DN 25 ISO-KF |
353-571 | BPG402-S DN 40 CF-R |
353-572 | BPG402-S LCD, DN 25 ISO-KF |
353-573 | BPG402-S LCD, DN 40 CF-R |
353-578 | BPG402-SL long tube DN 40 CF-R |
353-574 | BPG402-SP PBus, DN 25 ISO-KF |
353-575 | BPG402-SP PBus, DN 40 CF-R |
353-576 | BPG402-SD DNet, DN 25 ISO-KF |
353-577 | BPG402-SD DNet, DN 40 CF-R |
353-590 | BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
353-591 | BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R |
353-596 | BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
353-597 | BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R |
Part Number | Description |
353-511 | Power supply BPG400 24VDC |
353-512 | Baffle for BPG400 |
211-113 | Centering ring with baffle DN 25 KF |
Part Number | Description |
354-494 | Spare sensor head BPG402 DN 25 ISO-KF |
354-495 | Spare sensor head BPG402 DN 40 CF-R |
下载
手册
数据表
BPG402-S DE
pdf
•
363,5 KB
•
德语
•
数据表
BPG402-S Datasheet
pdf
•
184,6 KB
•
英文
•
数据表
BPG402-S
pdf
•
360,7 KB
•
西班牙语
•
数据表
BPG402-S JA
pdf
•
447,3 KB
•
日语
•
数据表
BPG402-S KO
pdf
•
355,4 KB
•
韩语
•
数据表
BPG402-S ZH
pdf
•
439,9 KB
•
中文
•
数据表
手册
TIMA46D1_BPG402 Gebrauchsanleitung_kurz
pdf
•
388,1 KB
•
德语
•
操作手册
TIMA47D1_BPG402 Gebrauchsanleitung (Feldbus Versionen)_kurz
pdf
•
372,9 KB
•
德语
•
操作手册
TINA46D1_BPG402 (alle Versionen) Gebrauchsanleitung_lang
pdf
•
1,3 MB
•
德语
•
操作手册
BPG402 Operating Manual (short version)
pdf
•
392,1 KB
•
英文
•
操作手册
BPG402 Operating Manual, Fieldbus Version (short version)
pdf
•
375,1 KB
•
英文
•
操作手册
BPG402 Operating Manual
pdf
•
1,3 MB
•
英文
•
操作手册
BPG402 DeviceNET Communication Protocol
pdf
•
240,3 KB
•
英文
•
操作手册
BPG402 ProfiBUS Communication Protocol
pdf
•
337,9 KB
•
英文
•
操作手册
BPG402 EtherCAT Comunication Protocol
pdf
•
318,2 KB
•
英文
•
操作手册
BPG402 EtherCAT New Generation Communication Protocol
pdf
•
671,5 KB
•
英文
•
操作手册
3D Step Files
353-570 BPG402-S DN 25 ISO-KF
zip
•
530,1 KB
•
3D文件
353-571 BPG402-S DN 40 CF-R
zip
•
428,2 KB
•
3D文件
353-572 BPG402-S LCD DN 25 ISO-KF
zip
•
421,5 KB
•
3D文件
353-573 BPG402-S LCD DN 40 CF-R
zip
•
430,8 KB
•
3D文件
353-574 BPG402-SP PROFIBUS DN 25 ISO-KF
zip
•
431,8 KB
•
3D文件
353-575 BPG402-SP PROFIBUS DN 40 CF-R
zip
•
442,2 KB
•
3D文件
353-576 BPG402-SD DNET DN 25 ISO-KF
zip
•
424,5 KB
•
3D文件
353-577 BPG402-SD DNET DN 40 CF-R
zip
•
433,8 KB
•
3D文件
353-578 BPG402-SL long-tube DN 40 CF-R
zip
•
391,4 KB
•
3D文件
353-590 BPG402-SE EtherCAT 25 ISO-KF
zip
•
197,6 KB
•
3D文件
353-591 BPG402-SE EtherCAT 40 CF-R
zip
•
196,8 KB
•
3D文件
其他
BPG402 int EDS
eds
•
42,8 KB
•
英文
BGP402-float.eds
eds
•
42,8 KB
•
英文
BPG402 09AA GSD
GSD
•
3,0 KB
•
英文
Inficon_402_SP_STEP7
zip
•
847,3 KB
•
英文
BPG402 EtherCAT New Generation ESI V2
xml
•
171,8 KB
•
英文
BPG402 EtherCAT ESI V1.3
zip
•
66,5 KB
•
英文