热电离真空计
BPG402-Sx
大气压至超高真空真空计
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Gemini™ MxG5xx
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INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计 BPG402-S 将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中,测量范围为 5×10-10 mbar至大气压(3.8×10-10 Torr 至大气压)。多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。为负担不重且可重复的过程选择带有双氧化钇铱丝的 BPG402-S,以经济高效的方式执行基本压力测量。传感元件带有板载校准数据,保证更换传感器时的高再现性。
好处
- 从 5 x 10-10 mbar 至大气气压(3.8 x 10-10 Torr 至大气气压)的极其宽泛的测量范围
- 在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性
- 皮拉尼联锁保护丝极,防止过早烧毁
- 双长使用寿命氧化钇铱丝
- 备有可选的图形显示器和现场总线接口
- 高真空皮拉尼自动调节,减少操作员的干预
- 传感元件带有板载校准数据,易于更换,可保证高再现性
- 符合 RoHS 标准
典型应用
- 对半导体过程和传输腔室的压力测量
- 工业镀膜
- 低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制
规格
Measurement range (air, O2, CO, N2) | mbar Torr | 5×10-10 … 1000 3.8×10-10 … 750 |
Accuracy | ||
10-8 … 10-2 mbar | % of reading | ±15 |
Repeatability | ||
10-8 … 10-2 mbar | % of reading | 5 |
Temperature | ||
Operation (ambient) | °C | 0 … +50 |
Storage | °C | -20 … +70 |
Bakeout at flange without electronics BPG402-S | °C | 80 |
Bakeout at flange without electronics BPG402-SL | °C | 150 |
Supply voltage | V (dc) A (dc) | +20 … +28 ≤0.8 |
Materials exposed to vacuum | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass |
Part Number
Accessories
Spare Parts
Part Number | Description |
353-570 | BPG402-S DN 25 ISO-KF |
353-571 | BPG402-S DN 40 CF-R |
353-572 | BPG402-S LCD, DN 25 ISO-KF |
353-573 | BPG402-S LCD, DN 40 CF-R |
353-578 | BPG402-SL long tube DN 40 CF-R |
353-574 | BPG402-SP PBus, DN 25 ISO-KF |
353-575 | BPG402-SP PBus, DN 40 CF-R |
353-576 | BPG402-SD DNet, DN 25 ISO-KF |
353-577 | BPG402-SD DNet, DN 40 CF-R |
353-590 | BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
353-591 | BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R |
353-596 | BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
353-597 | BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R |
Part Number | Description |
353-511 | Power supply BPG400 24VDC |
353-512 | Baffle for BPG400 |
211-113 | Centering ring with baffle DN 25 KF |
Part Number | Description |
354-494 | Spare sensor head BPG402 DN 25 ISO-KF |
354-495 | Spare sensor head BPG402 DN 40 CF-R |
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TIMA47D1_BPG402 Gebrauchsanleitung (Feldbus Versionen)_kurz
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TINA46D1_BPG402 (alle Versionen) Gebrauchsanleitung_lang
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BPG402 Operating Manual (short version)
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BPG402 Operating Manual, Fieldbus Version (short version)
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操作手册
BPG402 Operating Manual
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BPG402 ProfiBUS Communication Protocol
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BPG402 EtherCAT Comunication Protocol
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BPG402 EtherCAT New Generation Communication Protocol
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353-578 BPG402-SL long-tube DN 40 CF-R
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353-591 BPG402-SE EtherCAT 40 CF-R
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其他
BPG402 int EDS
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BGP402-float.eds
eds
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BPG402 09AA GSD
GSD
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Inficon_402_SP_STEP7
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BPG402 EtherCAT New Generation ESI V2
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BPG402 EtherCAT ESI V1.3
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