热电离真空计
Trigon™ BPG552
ATM 至超高真空双真空计
嵌入式选项
与我们一起彻底改变您的真空计使用体验！
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
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Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
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Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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对于测量范围要求从 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1000 mbar) 的应用，Trigon™ 系列包括双技术 BPG552 真空计。BPG552 由一个 Bayard-Alpert 热电离传感器元件和一个经典、坚固、可靠的皮拉尼传感器元件组成。支持的 Bayard-Alpert 双丝提供了卓越的精度、可重复性和使用寿命。
VacXplor™ Software
VacXplor 是我们的模块化用户软件，旨在增强您使用 INFICON Trigon 真空计的体验。VacXplor 提供统一的界面、动态数据可视化和高级定制选项，安装时无需管理员权限。
优势
- 双测量仪（2 个传感元件），测量范围宽，降低成本，节省空间
- 用于 Bayard-Alpert 系统的 2 根灯丝
- 皮拉尼互锁保护，避免灯丝过早烧毁
- 自动高真空皮拉尼调节，减少操作员干预
- 电隔离电子元件，避免杂散电流
- 滑动排放模式，避免切换排放流时出现压力跳跃和冻结现象
- 可移动的校准数据芯片延长了烘烤时间
- 设定点继电器
- 明亮大屏幕 OLED 显示屏（可 90° 旋转），带用户界面
- 模拟输出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
- 可与 VGC50x 控制器系列配合使用
- 向后兼容 BPG402
- 符合 RoHS 规范
典型应用
- 半导体工艺中的压力测量
- 工业镀膜
- 低真空到超高真空范围内系统的一般真空测量和控制 超高真空范围
规格
| 测量范围（空气、O2、CO、N2） | 5 × 10-10 … 1000 mbar |
| 准确性 | |
| 1 × 10-8 … 1 x 10-2 mbar | 读数的 ±15 |
| 1 x 10-2 mbar … 1000 mbar | 读数的 ±30 |
| 重复性 | 读数的 5%，10-8 ... 10-2 毫巴（稳定 10 分钟后） |
| 暴露在真空中的材料 | 不锈钢、镍铁合金、镀镍、哈氏合金、玻璃、铱、氧化钇 (Y2O3)、镍、钨 |
零件编号
备件
| 零件编号 | 描述 |
| 354-420 | BPG552 Spare sensor head, KF25 |
| 354-421 | BPG552 Spare sensor head, CF40 |
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宣传册
手册
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Trigon 15DSUB,2SP,OLED,25KF
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Trigon 15DSUB,2SP,OLED,40CF-R
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