电容式压力计

Edge® CDG100D2

100°C温控，满量程1 ... 1000 Torr / mbar

嵌入式选项

与我们一起彻底改变您的真空计使用体验！

INFICON Edge 电容膜片式真空计是专为恶劣制造环境设计的极其准确的真空测量仪表。成熟的控温、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性，而且具有无与伦比的零位稳定性。Edge 随附 INFICON 已获专利的独特传感器屏蔽，用于保护真空计，使其免受不需要的过程副产品的影响。先进的电子元件能为所有应用提供范围广泛的可配置信号调节，另外还有 EtherCAT 现场总线接口可供选择。创新的加热概念能够使接触表面保持低温，并节约宝贵的工具空间。INFICON Edge 是同类产品中最小的真空测量仪器。

优势

紧凑型，节省宝贵的工具空间
易于集成，各种满刻度、法兰，标配两个设定点
轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移
诊断端口便于快速服务与维护
两年保修服务，先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命
卓越的信号稳定性和可重复性，即使是最严苛的等离子应用，都无需长期执行重新校准
合规和标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型应用

CVD、蚀刻、PVD 及其他半导体生产过程

技术规格

1000 ... 500 Torr / mbar

200 ... 1 Torr / mbar

精度	% of reading	0.2

分辨率	percent FS	0.003

输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10

反应时间	ms	30

暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

精度	% of reading	0.2

分辨率	percent FS	0.003

输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10

反应时间	ms	30

暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

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手册

Vacuum Instrumentation with EtherCAT Brochure

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数据表

Edge CDG100D2 1 … 1000Torr / mbar DE

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Edge® CDG100D2 Datasheet

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Edge CDG100D2 1 … 1000Torr / mbar JA

pdf • 733,2 KB • 日语 • 数据表

Edge CDG100D2 1 … 1000Torr/mbar KO

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Edge CDG100D2 1 … 1000 托 / 毫巴 ZH

pdf • 732,5 KB • 中文 • 数据表

Edge CDG100D2 1 … 1000Torr / mbar

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尺寸图

CDG100D2 dimension drawing

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手册

SKY®, Edge®, Stripe® CDG EtherCAT New Generation Communication Protocol

pdf • 2,1 MB • 英文 • 操作手册

CDGxxxD Communication manual RS232C

pdf • 187,4 KB • 英文 • 操作手册

CDGxxxD Kommunikationsanleitung RS232C

pdf • 188,5 KB • 德语 • 操作手册

Communication protocol EtherCAT

pdf • 972,1 KB • 英文 • 操作手册

Gebrauchsanleitung Edge CDG045D2 CDG100D2 DE

pdf • 1,7 MB • 德语 • 操作手册

Manual Edge CDG045D2 CDG100D2

pdf • 1,7 MB • 英文 • 操作手册

Manual Edge CDG045D2 CDG100D2 CN

pdf • 1,8 MB • 中文 • 操作手册

3D Step Files

Edge® CDG100D2 3D 4-VCR-m 9DSUB

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SKY® CDG100D 3D 16KF 15DSUB

stp • 937,0 KB • 3D文件

Edge® CDG100D2 3D tube E-CAT

zip • 252,0 KB • 3D文件

Edge® CDG100D2 3D Tube 15DSUB

zip • 470,5 KB • 3D文件

Edge® CDG100D2 3D Tube 9DSUB

zip • 1,1 MB • 3D文件

Edge® CDG100D2 3D 16KF E-CAT

zip • 254,1 KB • 3D文件

Edge® CDG100D2 3D 8-VCR-f E-CAT

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Edge® CDG100D2 3D 8-VCR-f 15DSUB

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Edge® CDG100D2 3D 4-VCR-m 15DSUB

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Edge® CDG100D2 3D 4-VCR-f 15DSUB

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Edge® CDG100D2 3D 16CF 9DSUB

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Edge® CDG100D2 3D 8-VCR-f 9DSUB

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Edge® CDG100D2 3D 16KF 9DSUB

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Edge® CDG100D2 3D 16CF E-CAT

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Edge® CDG100D2 3D 16KF 15DSUB

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Edge® CDG100D2 3D 4-VCR-m E-CAT

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Edge® CDG100D2 3D 4-VCR-f 9DSUB

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Edge CDG100D2 16CF 15DSUB

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Edge CDG100D2 4-VCR-f E-CAT

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其他

SKY®, Edge® CDG EtherCAT New Generation ESI V2

zip • 10,5 KB • 日语, 英文

EtherCAT ESI file CDG V1_4_0_0

xml • 1,3 MB • 英文

该产品被用于以下市场

Analytical-Instrumentation-Navi

分析仪器市场为广大用户提供高度复杂的分析工具，涵盖不同应用场景和市场。INFICON与那些拥有最先进技术的制造商合作，帮助分析和识别最小的结构或元素组成，无论是气体、液体还是固体均在其适用范围内。

INFICON汇聚尖端科技，实现最高质量的显示器产品

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传统的石油和天然气生产在过去几十年中出现了需求的增长，并被发展中国家的人口增长、城市化和中产阶级的消费所推动。

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其中，真空技术大多用于保证清洁的环境，并且在某些过程中需要维持真空以确保过程顺利实施。

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在一个不断发展的行业中进行可靠的泄漏测试。汽车行业的变化使泄漏检测变得更加重要。

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真空镀膜市场远远超出了光学领域，正在迅速扩展到十年前几乎无法想象的领域、行业和薄膜层。

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