冷阴极真空计

Gemini® MxG5xx

大气压至超高真空真空计

嵌入式选项

与我们一起彻底改变您的真空计使用体验！

INFICON Gemini^® 倒置磁控真空计是所有真空测量应用（专利申请中）的动力源泉。Gemini MPG50x将两个传感器系统组合在一个小型设备中，用于从大气测量低至1x10–9毫巴，而Gemini MAG50x是一个纯冷阴极传感器系统（不含Pirani元件），覆盖范围从1x10-2毫巴至1x10-9毫巴。获得专利的超低杂散磁场设计为全新的应用领域开启了大门。独特的可互换式双室传感器单元不用清洗并减少了维护，这使使Gemini成为同类产品中最坚稳和经济的真空计。

Gemini冷阴极和组合真空计配备了完全集成的数字电子设备，使系统集成具有很强的灵活性。冷阴极和皮拉尼组合选项提供了跨越多个应用领域的无缝转换、可靠性、实用性和灵活性。

MAG 和 MPG Gemini 現在也可搭配 PROFINET、EtherCAT 現場總線以及 MAG55x 和 MPG55x 設定點使用。

优势

在恶劣环境下，使用寿命长
低杂散磁场
零维护 - 可换插头
超紧凑尺寸
抗腐蚀馈入装置
可选测量电流
2 個繼電器設定點 (使用 PROFINET 或 EtherCAT 版本 MxG55x 時)
數位介面 PROFINET、EtherCAT 及 RS232/RS485

典型应用

在蒸发和溅射涂层应用中从大气到高真空基本压力监测和控制。
一般真空测量 - 工业炉、建筑玻璃、半导体、冰箱和空调。
分析和研发应用 – 质谱分析、电子显微镜、医疗、眼科、光学和高能物理。

技术规格

MAG5xx

MPG5xx

测量范围（空气、氮气）	mbar Torr	1×10^-9 … 1×10^-2 (7.6×10^-10 … 7.6×10^-3)

准确度 (N₂)
1×10^-8 … 1×10^-2 毫巴	% of reading	30
1×10^-2 … 100 毫巴	% of reading	-
100 … 1000 毫巴	% of reading	-

可重复性 (N₂)
1×10^-8 … 1×10^-2 毫巴	% of reading	5
1×10^-8 … 100 毫巴	% of reading	-

容许温度
运行（环境）	°C	+5 ... +55
法兰烘烤 (1)	°C	<150
储存	°C	-40 ... +70
灯丝温度	°C	-

供电电压
在量规 (2)	V (dc)	+14.5 ... +30
波纹	V (p-p)	<1
功耗	W	<2
待连接的保险丝	AT	<1

(1）没有电子元件。 (2）电源单元的最小电压必须与传感器电缆的长度成比例地增加。

测量范围（空气、氮气）	mbar Torr	(7.6×10^-10 … 760) 1×10^-9 … 1×10^-2

准确度 (N₂)
1×10^-8 … 1×10^-2 毫巴	% of reading	30
1×10^-2 … 100 毫巴	% of reading	30
100 … 1000 毫巴	% of reading	50

可重复性 (N₂)
1×10^-8 … 1×10^-2 毫巴	% of reading	-
1×10^-8 … 100 毫巴	% of reading	5

容许温度
运行（环境）	°C	+5 ... +55
法兰烘烤 (1)	°C	<150
储存	°C	-40 ... +70
灯丝温度	°C	120

供电电压
在量规 (2)	V (dc)	+14.5 ... +30
波纹	V (p-p)	<1
功耗	W	<=3
待连接的保险丝	AT	<1

(1）没有电子元件。 (2）电源单元的最小电压必须与传感器电缆的长度成比例地增加。

在此下载完整的规格

法兰盘类型

零部件

MAG5xx
零件编号	描述
211-098	Centering ring with fine filter DN 25 KF
351-550	MxG50x Ignition tool set
211-113	Centering ring with baffle DN 25 KF
353-512	Baffle for BPG400
MPG5xx
零件编号	描述
211-098	Centering ring with fine filter DN 25 KF
351-550	MxG50x Ignition tool set
211-113	Centering ring with baffle DN 25 KF
353-512	Baffle for BPG400

MAG5xx
零件编号	描述
351-500	MAG500 spare sensor, 25KF, SS
351-556	Spare ion chamber ti
351-512	MAG500 spare sensor, 40KF, SS
351-536	MAG500 spare sensor, 40CF-R, SS
351-524	MAG500 spare sensor, 40CF-F, SS
351-502	MAG500 spare sensor, 25KF, TI
351-514	MAG500 spare sensor, 40KF, TI
351-538	MAG500 spare sensor, 40CF-R, TI
351-526	MAG500 spare sensor, 40CF-F, TI
351-501	MAG504 spare sensor, 25KF, SS
351-513	MAG504 spare sensor, 40KF, SS
351-537	MAG504 spare sensor, 40CF-R, SS
351-525	MAG504 spare sensor, 40CF-F, SS
351-503	MAG504 Ersatzsensor, 25KF, TI
351-515	MAG504 spare sensor, 40KF, TI
351-539	MAG504 spare sensor, 40CF-R, TI
351-527	MAG504 spare sensor, 40CF-F, TI
351-995	MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)
351-555	Spare ion chamber ss
MPG5xx
零件编号	描述
351-506	MPG500 spare sensor, 25KF, SS
351-518	MPG500 spare sensor, 40KF, SS
351-542	MPG500 spare sensor, 40CF-R, SS
351-530	MPG500 spare sensor, 40CF-F, SS
351-508	MPG500 spare sensor, 25KF, TI
351-520	MPG500 spare sensor, 40KF, TI
351-544	MPG500 spare sensor, 40CF-R, TI
351-532	MPG500 spare sensor, 40CF-F, TI
351-507	MPG504 SS,LC,9DSub,25KF
351-519	MPG504 spare sensor, 40KF, SS
351-543	MPG504 spare sensor, 40CF-R, SS
351-531	MPG504 spare sensor, 40CF-F, SS
351-509	MPG504 spare sensor, 25KF, TI
351-521	MPG504 spare sensor, 40KF, TI
351-545	MPG504 spare sensor, 40CF-R, TI
351-533	MPG504 spare sensor, 40CF-F, TI
351-995	MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)
351-555	Spare ion chamber ss
351-556	Spare ion chamber ti