热电离真空计
IE414, IE514
用于 IM540 的热阴极电离无源真空规头
嵌入式选项
与我们一起彻底改变您的真空计使用体验！
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Request
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IE414 和 IE514 是基于热阴极电离效应的高端真空传感器。IE414 是一种 Bayard-Alpert 真空计，而 IE514 则基于抽气机原理。这些无源真空计由 IM540 真空计控制器组合和控制。
通过调节阴极发射电流，IE414 的测量范围从 10-2毫巴到10 -11毫巴，跨度超过 9 个分度。由于采用了萃取器原理，IE514 可以达到 2×10-12mbar 的测量下限，这要归功于其本身减少了 X 射线和离子解吸效应。IE414 和 IE514 真空计头专为低放气真空系统设计，可在极高温度（400 °C）下烘烤。耐高温真空计头电缆套件也可用于超过 200 °C（传感器法兰处为 250 °C）的高温烘烤。
优势
- 采用单独校准的传感系统，测量精度高
- 可更换阴极
- 极高的高温烘烤温度可达 400 °C
IE414
- Bayard-Alpert 传感原理
- 测量范围达 2×10-11毫巴
- 阴极发射电流调制（与 IM540 真空计控制器结合使用）
IE514
- 抽气机传感原理
- 最低测量极限，低至 2×10-12mbar
- 显著降低 X 射线和离子解吸效应
典型应用
- 需要在超高真空范围内进行精确真空测量和高温烘烤的科学和研发应用
运营单位
- 真空计控制器 IM540
规格
IE414
IE514
| 测量原理 | 贝亚德-阿尔伯特，热阴极电离 |
| 测量范围 | 2×10-11 ... 1×10-2 毫巴（带模块化发射电流） |
| X 射线极限 | <10-11 毫巴 |
| 馈入量 | 氧化铝陶瓷 |
| 烘烤温度 | ≤400 °C |
| 暴露在真空中的材料 | 镍铁、AI2O3、不锈钢、Y2O3、钼、钨 |
| 特点 | 铱丝，涂有Y2O3 钼阳极 |
| 测量原理 | 热阴极电离萃取器 |
| 测量范围 | 2×10-12 ... 1×10-4 毫巴 |
| X 射线极限 | <10-12 毫巴 |
| 馈入量 | 氧化铝陶瓷 |
| 烘烤温度 | ≤400 °C |
| 暴露在真空中的材料 | 镍铁、AI2O3、不锈钢、Y2O3、钨 |
| 特点 | 铱丝，涂有Y2O3 不锈钢阳极 |
部件编号
部件编号
配件
| IE414 | |
| 399-661 | IE414 DN 40 CF-F |
| 399-676 | 替换阴极 IE414 |
| IE514 | |
| 399-663 | IE514 DN 40 CF-F |
| 399-677 | 替换阴极 IE514 |
| 连接 IM540 的测宽头电缆 to IE414/514, 80 °C | |
| 399-680 | 3 m |
| 399-681 | 5 m |
| 399-682 | 10 m |
| 399-685 | 50 m |
| 连接 IM540 的测宽头电缆 to IE414/514, 200 °C | |
| 399-686 | 3 m |
| 399-687 | 5 m |
| 399-688 | 10 m |
| 399-690 | 50 m |
