真空计控制器
IM540
IM540
多功能热阴极电离无源真空计控制器
嵌入式选项
与我们一起彻底改变您的真空计使用体验！
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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真空计控制器 IM540 是一款多功能电离真空计控制器，可在 10-12 毫巴和大气压力之间提供完整的真空测量和控制。 根据不同的应用和用户需求，IM540 可结合多达 4 种不同的真空测量原理 - 皮拉尼真空计、电容式隔膜真空计、贝亚德-阿尔伯Bayard-Alpert特真空计和抽取式真空计，是您的一站式解决方案。该控制器可以可靠、完整地集成到复杂的过程控制系统中。
优势
- 支持 IE414（Bayard-Alpert）和 IE514（提取器）热阴极电离规的操作
- 可连接和操作 PSG5xx（皮拉尼）、PCG55x（皮拉尼-电容式隔膜）和 CDG（电容式隔膜）有源真空计系列中的两个有源真空计
- 操作简单，可通过菜单引导显示进行参数、传感器或常规设置
- 内置 RS232 通信接口，可选配 PROFIBUS DP 接口板 (IF 540 P)
- 两个设定点（可选 7 个），带可调滞后
- 高分辨率 - 16 位 A/D 转换器
- 2 个可编程 0 至 10 V 图表记录器输出
规格
IM540
IM540
| 测量通道 | 4 |
| 显示 | 液晶显示器，LED 背光 |
| 显示速率 | 4 s-1 |
| 测量范围 | 1 x 10-12 ... 1100 毫巴 |
| 测量单位（可选） | mbar, Torr, Pa, hPa, Micron, V |
| 测量范围切换 | 自动或十进制预选 |
| 图表记录器输出 | 对数 0 至 10 V（1 V / 分）或线性 0 至 10 V |
| 界面 | RS232C、PROFIBUS（带 IF540P） |
| 切换阈值 (单次操作或间隔） | 2 带浮动转换触点 |
| 电源 | 90 ... 264 V (ac) |
| 频率 | 47 ... 63 Hz |
| 运行温度 | +5 ... +40°C |
部件编号
部件编号
配件
| 399-660 | IM540 真空计控制器 |
| 399-661 | IE414 DN 40 CF-F |
| 399-676 | 替换阴极 IE414 |
| 399-663 | IE514 DN 40 CF-F |
| 399-677 | 替换阴极 IE514 |
| 接口板 | |
| 399-670 | IF540P PROFIBUS DP 接口板 |
| 测量头电缆至 IE414/514, 80 °C | |
| 399-680 | 3 m |
| 399-681 | 5 m |
| 399-682 | 10 m |
| 399-685 | 50 m |
| 测量头电缆至 IE414/514, 200 °C | |
| 399-686 | 3 m |
| 399-687 | 5 m |
| 399-688 | 10 m |
| 399-690 | 50 m |
量具概览
IE414
IE514
PSG5xx
PCG55x
CDG (e.g. CDG025D, CDG045D)
| 量规原理 | 贝亚德-阿尔伯特，热阴极电离 |
| 压力范围 | 2×10-11 ... 1×10-2 mbar (带模块化发射电流) |
| 烘烤温度 | ≤400 °C |
| 量规原理 | 提取器，热阴极电离 |
| 压力范围 | 2×10-12 ... 1×10-4 mbar |
| 烘烤温度 | ≤400 °C |
| 量规原理 | 皮拉尼（主动测量仪类型） |
| 压力范围 | 8x10-4 mbar to ATM |
| 烘烤温度 | ≤80 / 250 °C (取决于型号） |
| 量规原理 | 皮拉尼电容隔膜（有源压力表型） |
| 压力范围 | 5×10-5 mbar to 1.5×103 mbar |
| 烘烤温度 | ≤80 / 250 °C (取决于型号） |
| 量规原理 | 电容隔膜（有源压力表类型） |
| 压力范围 | 4 个用户可选的压力范围 |
| 烘烤温度 | 取决于型号 |
测量配置
通道 1 + 2
通道 3 + 4
| 仪器原理 | 热阴极电离规 |
| 仪器型号 | IE414 (Bayard-Alpert) IE514（提取器） |
| 仪器原理 | 活性量规： 皮拉尼 皮拉尼电容式隔膜 电容隔膜 |
| 仪器型号 | PSG5xx PCG55x CDG (e.g. CDG025D, CDG045D) |
接口板
IF 540 P
IF 540 P
| 通信协议 | PROFIBUS 接口和继电器（1.5 A） |
