冷阴极真空计
MAG050, MAG060, MAG070
用于 VGC094 和 VGC083C 的冷阴极无源真空计
嵌入式选项
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
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真空计MAG050、MAG060 和 MAG070 是历史悠久的无源倒置磁控管冷阴极真空计，可与真空计控制器 VGC094 和 VGC083C 配合使用。它们设计用于 1×10-11 (MAG070) 至 5×10-3 mbar 压力范围内的真空测量。紧凑的金属设计提供了适用于一般真空应用的坚固解决方案。MAG050 是一种更简单的冷阴极真空计，带有一个橡胶密封馈入件。
由于采用了全金属设计，MAG060 和 MAG070 可满足烘烤温度高达 250 °C 或抗电离辐射能力较强的苛刻应用需求。这两款产品均可在超高压范围内进行压力测量。MAG070 的三轴连接可实现最低压力读数（低至 1×10-11 mbar），并可在表头和控制器之间实现远距离操作（最远可达 500 米）。所有表头都在阳极上安装了点火辅助装置（减少了低压下的冷阴极点火时间），并且可以方便地拆卸和清洁，从而可以在停机时间最短的情况下长期使用。
优势
- 基于倒置磁控管原理的表头设计可靠且经过验证
- 大真空压力测量范围能力从 1×10-11 (MAG070) 到 5×10-3 mbar
- 可烘烤至 150 °C (MAG050) 或 250 °C (MAG060, MAG070)
- 良好的点火性能
- 采用陶瓷馈入件，耐腐蚀
- 提供抗辐射设计（MAG060、MAG070）
- 易于维护，拥有成本低
典型应用
- 适用于从低真空到高真空范围的苛刻和/或高温应用的通用真空测量和控制装置
运营单位
- 真空计控制器 VGC094 和 VGC083C（不包括 MAG070）
规格
MAG050
MAG060
MAG070
| 测量原理 | 反相磁控管冷阴极 |
| 测量范围 | 2x10-9 ... 5x10-3 mbar |
| 精度（N2） | 30% 的读数 |
| 重复性（N2） | 5%的读数 |
| 内部密封 | AI2O3 陶瓷 | 弹性体 (FPM) |
| 烘烤温度 | ≤150°C |
| 最大操作距离 | ≤100 m |
| 电离辐射耐受性 | - |
| 暴露在真空中的材料 | 不锈钢、AI2O3、Ag、Mo |
| 特性 | 三同轴连接器 |
| 测量原理 | 反相磁控管冷阴极 |
| 测量范围 | 1x10-10 ... 5x10-3 mbar |
| 精度（N2） | 30% 的读数 |
| 重复性（N2） | 5%的读数 |
| 内部密封 | AI2O3 陶瓷 | 弹性体 (FPM) |
| 烘烤温度 | ≤250°C |
| 最大操作距离 | ≤100 m |
| 电离辐射耐受性 | 107 Gy |
| 暴露在真空中的材料 | 不锈钢、AI2O3、Ag、Mo |
| 特性 | 三同轴连接器 |
| 测量原理 | 反相磁控管冷阴极 |
| 测量范围 | 1x10-11 ... 5x10-3 mbar |
| 精度（N2） | 30% 的读数 |
| 重复性（N2） | 5%的读数 |
| 内部密封 | AI2O3 陶瓷 | 弹性体 (FPM) |
| 烘烤温度 | ≤250°C |
| 最大操作距离 | ≤500 m |
| 电离辐射耐受性 | 107 Gy |
| 暴露在真空中的材料 | 不锈钢、AI2O3、Ag、Mo |
| 特性 | 三同轴连接器 |
部件编号
部件编号
配件
| MAG050 | |
| 399-840 | DN 25 ISO-KF |
| 399-841 | DN 40 ISO-KF |
| 399-842 | DN 40 CF-F |
| MAG060 | |
| 399-845 | DN 40 ISO-KF |
| 399-846 | DN 40 CF-F |
| MAG070 | |
| 399-847 | DN 40 ISO-KF |
| 399-848 | DN 40 CF-F |
| 连接 VGC094 的电缆 | |
| 至 MAG050/060 80°C | |
| BG548406-T | 3 m (9.9 ft) |
| BG548407-T | 6 m (19.8 ft) |
| BG548419-T | 10 m (33 ft) |
| BG548483-T | 15 m (49 ft) |
| 至 MAG050/060 250°C | |
| BG548542-T | 3 m (9.9 ft) |
| BG548543-T | 6 m (19.8 ft) |
| BG448045-T | 10 m (33 ft) |
| BG548989-T | 15 m (49 ft) |
| 至 MAG070 80°C | |
| BG548306-T | 3 m (9.9 ft) |
| BG548317-T | 6 m (19.8 ft) |
| BG548490-T | 10 m (33 ft) |
| BG548491-T | 15 m (49 ft) |
| 连接 VGC083C 的电缆 | |
| 至 MAG050/060 80°C | |
| 399-820 | 3 m (9 ft) |
| 399-821 | 8 m (25 ft) |
| 399-822 | 15 m (50 ft) |
| 至 MAG050/060 200°C | |
| 399-830 | 3 m (9 ft) |
| 399-831 | 8 m (25 ft) |
| 399-832 | 15 m (50 ft) |
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数据表
Kaltkathoden-Messköpfe MAG050 MAG060 - Passiv DE
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MAG050, MAG060, MAG070 Cold Cathode Gauges
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Vacuómetros de cátodo frío MAG050 y MAG060, pasivos ES
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MAG050 MAG060冷陰極ゲージ - パッシブ JA
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MAG050 MAG060 냉음극 게이지 - 패시브 KO
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MAG050 MAG060 冷阴极测量仪 - 被动 ZH
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