冷阴极真空计
MPG40X
大气压至超高真空真空计
嵌入式选项
与我们一起彻底改变您的真空计使用体验！
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Request
Your configuration has been successfully sent!
INFICON 倒泵控管 Pirani 真空计 MPG400 和 MPG401 测量范围为 5 x 10-9 mbar 至大气压力（3.8 x 10-9 Torr 至大气压力）。将多项技术融入带有一个对数模拟输出信号的单个紧凑型装置中，显著降低了安装、设置和集成的复杂性。
好处
- 复合真空计 – 倒磁控管和皮拉尼
- 从 5 X 10-9 mbar 至大气气压的宽广测量范围
- 不会出现丝极烧毁的现象
- 卓越的点火属性
- 易于清洁
- FPM 或金属密封馈入装置
- LED 指示器，高压时亮起
- 对数模拟输出信号
典型应用
- 高真空压力监控
- 蒸发镀溅系统基本压力
- 中真空和高真空范围内的一般真空测量和控制
规格
MPG400 FPM sealed
MPG401 metal-sealed
| 测量范围（空气，N2） | mbar Torr | 5 x 10-9 … 1000 3.8 x 10-9 … 760 |
| 精度 (N2) | ||
| 1 x 10-8 … 100 mbar | % of reading | ≈±30% |
| Repeatability | ||
| 1 x 10-8 … 100 mbar | % of reading | ≈±5% |
| 容许温度 | ||
| 运行（环境） | °C | +5 … +55 |
| 贮存 | °C | –40 … +65 |
| 烘烤 (1) | °C | 150 |
| 电源电压 | ||
| 真空计上 | V (dc) | +15 … +30 |
| 缆线最长的电源装置 (2) | V (dc) | +16 … +30 |
| 波纹 | V (p-p) | ≤1 |
| 功耗 | W | ≤2 |
| 暴露于真空的材料 | stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W | |
| (1) 没有电子元件和磁屏蔽。 (2) 电源单元的最小电压必须与传感器电缆的长度成比例地增加。 | ||
| 测量范围（空气，N2） | mbar Torr | 5 x 10-9 … 1000 3.8 x 10-9 … 760 |
| 精度 (N2) | ||
| 1 x 10-8 … 100 mbar | % of reading | ≈±30% |
| Repeatability | ||
| 1 x 10-8 … 100 mbar | % of reading | ≈±5% |
| 容许温度 | ||
| 运行（环境） | °C | +5 … +55 |
| 贮存 | °C | –40 … +65 |
| 烘烤 (1) | °C | 150 |
| 电源电压 | ||
| 真空计上 | V (dc) | +15 … +30 |
| 缆线最长的电源装置 (2) | V (dc) | +16 … +30 |
| 波纹 | V (p-p) | ≤1 |
| 功耗 | W | ≤2 |
| 暴露于真空的材料 | stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W | |
| (1) 没有电子元件和磁屏蔽。 (2) 电源单元的最小电压必须与传感器电缆的长度成比例地增加。 | ||
Part Number
Accessories
Spare Parts
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-010 | MPG400 FPM sealed, DN 25 ISO-KF |
| 351-011 | MPG400 FPM sealed, DN 40 ISO-KF |
| 351-012 | MPG400 FPM sealed, DN 40 CF-F |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-020 | MPG401 metal sealed, DN 25 ISO-KF |
| 351-021 | MPG401 metal sealed, DN 40 ISO-KF |
| 351-022 | MPG401 metal sealed, DN 40 CF-F |
| 351-023 | Magnetic shield |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-023 | Magnetic shield |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-023 | Magnetic shield |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| BN846469-T | Spare measurement system MPG400 DN25 KF |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| BN846472-T | Replacement meas. unit MPG401 DN25 KF |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| BN846470-T | Spare measurement system MPG400 DN40 KF |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| BN846473-T | Replacement meas. unit MPG401 DN40 KF |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| BN846471-T | Spare measurement system MPG400 DN40CF-F |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| BN846474-T | Spare meas. system, MPG401 DN40CF-F |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-994 | MPG40x Ignition tool set |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-994 | MPG40x Ignition tool set |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-995 | MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10) |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-995 | MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10) |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-998 | MPG400 Repair set. |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-996 | MPG401 Repair set |
| MPG400 FPM sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-999 | MPG400 Maintenance set |
| MPG401 metal-sealed | |
| Part Number | Description |
| 351-997 | MPG401 Maintenance set |
下载
数据表
手册
3D Step Files
351-010 MPG400 FPM sealed, DN 25 ISO-KF
zip
•
133,7 KB
•
3D文件
351-011 MPG400 FPM sealed, DN 40 CF-F
zip
•
142,8 KB
•
3D文件
351-011 MPG400 FPM sealed, DN 40 ISO-KF
zip
•
137,5 KB
•
3D文件
351-020 MPG401 metal sealed, DN 25 ISO-KF
zip
•
149,0 KB
•
3D文件
351-021 MPG401 metal sealed, DN 40 ISO-KF
zip
•
153,3 KB
•
3D文件
351-022 MPG401 metal sealed, DN 40 CF-F
zip
•
157,9 KB
•
3D文件
