皮拉尼真空计

PGE500 - DeviceNet

大气压至中真空真空计

嵌入式选项

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INFICON Pirani Gauge Enhanced (PGE) DeviceNet 版本配备了市场上最新的数字对流增强型 Pirani 技术。由于对流的物理特性，这种类型的皮拉尼在 100 至 1000 毫巴的测量范围内具有更高的精度。坚固的仪表和传感器设计与许多工厂内置的功能相结合，如明亮、清晰的OLED显示屏与集成键盘、可选择的计量单位和2个可编程的设定点，使PGE500 DeviceNet版本成为高价值/低拥有成本的选择。所有这些特点使该真空计有资格用于需要从低真空到高真空范围的经济型真空测量的许多应用。PGE500 DeviceNet版本是MKS / Granville-Phillips® Mini-Convectron®（即所谓的GP275模块）的DeviceNet版本的直接插入式兼容替代品。INFICON PGE500备用传感器头也适合替换Granville-Phillips®传感器头。

Granville-Phillips®和Mini-Convectron®是MKS Instruments, Andover, MA的注册商标。

优势

对流增强型皮拉尼技术，测量范围广，接近大气层时精度更高
一体化有源表，内置显示屏，2个设定点，数字DeviceNet接口
明亮的数字OLED显示屏，带键盘，设置简单。
工厂预设的测量显示单位或可通过键盘选择
用户可编程的设定点继电器（批量订单要求工厂预设）
镀金钨丝或铂金丝用于腐蚀性应用
机械强度，高度坚固，不易受机械冲击和振动影响
现场可更换的备用传感器单元
法兰选择
合规性及标准。CE, RoHS
直接插入式兼容替代MKS / Granville-Phillips® Mini-Convectron®（GP275模块）的DeviceNet版本

典型应用

真空压力测量
一般真空测量和控制，从低真空到高真空范围。

规格

Measurement range (N₂)	1.3×10^-4 … 1333 mbar 1×10^-4 … 1000 Torr 1.3×10^-2 … 133'000 Pa

Accuracy (N₂)

1.3×10^-4 … 1.3×10^-3 mbar	0.1x10^-3 mbar resolution
1.3×10^-3 … 530 mbar	±10 % of reading
530 … 1333 mbar	±2.5 % of reading

1×10^-4 … 1×10^-3 Torr	0.1 mTorr resolution
1×10^-3 … 400 Torr	±10 % of reading
400 … 1000 Torr	±2.5 % of reading

1.3 × 10^-2 … 1.3 × 10^-1 Pa	0.1 × 10-1 mbar resolution
1.3 × 10^-1 … 53 kPa	±10 % of reading
53 … 133 kPa	±2.5 % of reading

Repeatability (N₂)	±2 % of reading

Admissible temperature

Operation (ambient)	0 … +40 °C
Storage	-40 … +70 °C
Bakeout (electronics removed)	≤150 °C

Supply voltage	+12 … +26 V (dc)

Setpoint relay	2 (single-pole double-throw relays (SPDT)) 1A at 30V (dc) resistive or V (ac) non-inductive

Materials exposed to vacuum	platinum, 304 & 316 stainless steel, glass, nickel, Teflon®, gold plated tungsten,