皮拉尼真空计
PGE500 - RS485/ Analog
大气压至中真空真空计
嵌入式选项
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
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Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON 皮拉尼仪表增强型 500 (PGE500) 采用了市场上最新的数字对流增强型皮拉尼技术。由于对流的物理性质,这种皮拉尼型产品在 100 至 1000 mbar 的测量范围中可达到更高的准确度。坚固的仪表和传感器设计结合多种工厂内置功能,例如明亮、流畅而清晰的 OLED 显示器及集成键盘、RS485/RS232 数字接口和 4 种可选模拟输出信号,使得 PGE500 成为高价值/低拥有成本的选择。所有这些特点使该仪表适合众多需要低真空度至高真空度范围的经济型真空测量功能的应用。
好处
- 对流增强的皮拉尼技术可在大气压下实现宽测量范围和更高的精度
- 内置显示器的一体式主动式测量仪,2 个设定点,4 个模拟输出信号和 2 个数字接口
- 带键盘的明亮的数字 OLED 显示屏,简化设置校准和操作
- 4 个可选的模拟输出信号(3 个用户可选,1 个默认)
- 出厂预设模拟输出信号或通过键盘进行选择
- 工厂预设的显示单位或通过键盘进行选择
- 用户可编程的设定点继电器(工厂根据量订单的要求预设)
- 镀金钨丝
- 机械强度高、坚固耐用、不易受机械冲击和振动影响
- 各种法兰的选择
- 合规和标准:CE、RoHS
- 直接取代大多数 Granville-Phillips® Mini-Convectron® 模块 (GP275) Granville-Phillips® 和 Mini-Convectron® 是 MKS Instruments, Andover, MA 的注册商标)
典型应用
- 前级真空压力测量
- 低真空至高真空范围内的一般真空测量和控制
技术规格
Measurement range N2 | mbar Torr Pa | 1.3×10-4 … 1333 1×10-4 … 1000 1.3×10-2 … 133'000 |
Accuracy (N2) | ||
1.3×10-4 … 1.3×10-3 mbar | 0.1x10-3 mbar resolution | |
1×10-3 … 530 mbar | % of reading | ±10 |
530 … 1333 mbar | % of reading | ±2.5 |
1×10-4 … 1×10-3 Torr | Torr | 0.1 mTorr resolution |
1×10-3 … 400 Torr | % of reading | ±10 |
400 … 1000 Torr | % of reading | ±2.5 |
Repeatability (N2) | % of reading | ±2 |
| ||
Admissible temperature | ||
Operation (ambient) | °C | 0 … +40 |
Storage | °C | -40 … +70 |
Bakeout (electronics removed) | °C | ≤150 |
| ||
Supply voltage | V (dc) | +12 … +28 |
Setpoint relay: Number of setpoints | Number of setpoints | 2 (single-pole double-throw relays (SPDT)); 1A at 30V (dc) resisiv or V (ac) non-inductive |
Materials exposed exposed to vacuum | exposed exposed to vacuum | gold plated tungsten, 304 & 316 stainless steel, glass, nickel, Teflon® |
零件编号
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手册
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3PE5-0X1-B7FX PGE500 Pirani Gauge Enhanced - DN 16 ISO-KF.STEP
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3PE5-0X3-B7FX PGE500 Pirani Gauge Enhanced - DN 16 CF-R.STEP
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3PE5-0X6-B7FX PGE500 Pirani Gauge Enhanced - DN 25 ISO-KF.STEP
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3PE5-0X7-B7FX PGE500 Pirani Gauge Enhanced - DN ISO-KF 40.STEP
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3PE5-0X8-B7FX PGE500 Pirani Gauge Enhanced - DN 40 CF-R.STEP
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3PE5-0XD-B7FX PGE500 Pirani Gauge Enhanced - 4 VCR female.STEP
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3PE5-0XE-B7FX PGE500 Pirani Gauge Enhanced - 8 VCR female.STEP
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3PE5-0XF-B7FX PGE500 Pirani Gauge Enhanced - 1_8 Inch NPT.STEP
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