皮拉尼真空计
PPG550
大气压至中真空真空计
嵌入式选项
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Gemini™ MxG5xx
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Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
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新型 INFICON Pirani /Piezo 组合真空计 (PPG550) 基于目前最先进的 MEMS（微机电系统）传感器技术。
在MEMS过程中微型化的Pirani/Piezo组合技术，能够构建一个非常小的、从而节省空间的传感器，这使得测量设备的整体高度非常低成为可能。
除了高度低的优势外，基于MEMS技术的皮拉尼还具有在高压范围内比传统皮拉尼测量更深、更准确的优势。与安装在同一法兰上的MEMS压电传感器相结合，皮拉尼真空计成为一个真正的宽范围真空计，其测量范围远远超过通常的1000mbar，也可延伸到大气压层。同时，MEMS压电传感器提供独立于气体类型的压力测量，范围为2 ...1333毫巴。上述技术的另一个优点是增加了对加速力和振动的抵抗力。
最后但并非最不重要的是，新的INFICON PPG550可以用来直接取代所谓的MKS910 "DualTrans™ MicroPirani™-绝对压电真空压力传感器 "以及MKS925 "Micro Pirani™真空压力传感器"。Inficon提供了相同的连接器/引脚分配，模拟输出和RS232/485兼容性。
优势
- 2mbar以上的气体类型独立--允许任何气体混合物的安全排放
- 大气层的高精度和可重复性--用于可靠、快速的大气压力检测
- 多种安装方向--为工具设计提供工程自由度
- 可选择模拟输出信号，便于系统集成
- 数字接口RS232/RS485
- 符合标准。CE, EN, UL, CSA, RoHS
- 能够直接替换MKS910 "DualTrans™ MicroPirani™ - Absolute Piezo Vacuum Pressure Transducers" 以及MKS925 "Micro Pirani™ Vacuum Pressure Transducers" 。
- DualTrans™ MicroPirani™是MKS Instruments, Andover, MA的注册商标。
- 合规性和标准。CE, EN, UL, CSA, RoHS
典型应用
- 在分析设备/质谱仪中使用
- 物理气相沉积
- 前线测量
- 气体回填
规格
| 测量范围 (N2) | mbar | 1x10-6 … 1333 |
| 准确度 | ||
| 100 ... 1333 mbar | % of reading | 0.5 |
| 800 ... 1099 mbar | % of reading | 0.25 |
| 100 ... 800 mbar | % of reading | 0.5 |
| 2 ... 99.9 mbar | % of reading | 1 |
| 1 x 10-4 ... 1.99 mbar | % of reading | 5 |
| 1 x 10-5 ... 9.99 x 10-5 mbar | % of reading | 25 |
| 温度补偿 | °C | +10 … +50 |
| 温度测量的绝对精度 | °C | +/-1.5 (0 … +80) |
| 仪表上的电源电压 | V (dc) | +12 … 30 |
零件编号
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