皮拉尼真空计

PPG570

大气压至中压真空计+大气压开关

Pirani-PPG570
嵌入式选项

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Gemini™ MxG5xx

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Sensor version
Ionization chamber
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inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
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None
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FCC, 8-pin
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None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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新型 INFICON Pirani 压电组合真空计 (PPG570) 基于现有最先进的 MEMS(微机电系统)传感器技术,该技术也用于我们的 PPG550 "ATM 至中真空 "真空计。 

PPG570与PPG550的不同之处在于,它额外安装了ATM传感器,使PPG570可以用于传统的负载锁定应用。例如,在半导体行业或任何其他真空应用中,相对于大气环境压力的精确压力测量非常重要。 

在MEMS工艺中微型化的Pirani/Piezo组合技术能够建造一个非常小的传感器,从而节省空间,这使得测量设备的整体高度非常小成为可能。 

除了高度低的优势外,基于MEMS技术的皮拉尼还具有在高压范围内比传统皮拉尼测量更深、更准确的优势。与安装在同一法兰上的MEMS压电传感器相结合,皮拉尼真空计成为一个真正的宽范围真空计,其测量范围远远超过通常的1000mbar,也可延伸到大气层。同时,MEMS压电传感器提供独立于气体类型的压力测量,范围为2 ...1333毫巴。上述技术的另一个优点是增加了对加速力和振动的抵抗力。 

最后但并非最不重要的是,新的INFICON PPG570可以用来直接取代所谓的MKS Instruments MKS901P "MicroPirani™和压电负载锁真空压力传感器"。PPG570提供相同的连接器/引脚分配、模拟输出和RS232/485数字通信协议兼容性。

好处

  • 2mbar以上的气体类型独立--允许任何气体混合物的安全排放 
  • 大气层的高精度和重现性--用于可靠、快速的大气层压力检测 
  • 大气层环境压力测量 多
  • 达3个固态继电器 
  • 安装方向的多样性--为工具设计提供工程自由度 
  • 可选择的模拟输出信号,便于系统集成 
  • 数字接口RS232/RS485 
  • 能够直接滴入替代MKS901P "MicroPirani™-和压电式负载锁真空压力传感器"。 
  • 合规性和标准。CE, EN, UL, CSA, RoHS

典型应用

  • 半导体负载锁应用 
  • 在分析设备/质量分光计
  • 中使用 
  • 物理气相沉积 
  • 物理气相沉积

规格

Measurement range (N2)mbar1x10-6 … 1333
   
Accuracy   
1100 ... 1333 mbar% of reading0.5
800 ... 1099 mbar% of reading0.25
100 ... 800 mbar% of reading0.5
2 ... 99.9 mbar% of reading1
1 x 10-4 ... 1.99 mbar% of reading5
1 x 10-5 ... 9.99 x 10-5 mbar% of reading25
   
Temperature compensation°C+10 … +50
   
Temperature measurement absolute accuracy°C+1.5 (0 … +80)
   
Supply voltage at the gaugeV (dc)+12 … +30 ripple max. 1 Vpp
在此下载完整的规格

零件编号

2022-07-07_PN Key PPG570
2022-07-07_PN Key PPG570

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