皮拉尼真空计

PPG570

大气压至中压真空计+大气压开关

嵌入式选项

与我们一起彻底改变您的真空计使用体验！

新型 INFICON Pirani 压电组合真空计 (PPG570) 基于现有最先进的 MEMS（微机电系统）传感器技术，该技术也用于我们的 PPG550 "ATM 至中真空 "真空计。

PPG570与PPG550的不同之处在于，它额外安装了ATM传感器，使PPG570可以用于传统的负载锁定应用。例如，在半导体行业或任何其他真空应用中，相对于大气环境压力的精确压力测量非常重要。

在MEMS工艺中微型化的Pirani/Piezo组合技术能够建造一个非常小的传感器，从而节省空间，这使得测量设备的整体高度非常小成为可能。

除了高度低的优势外，基于MEMS技术的皮拉尼还具有在高压范围内比传统皮拉尼测量更深、更准确的优势。与安装在同一法兰上的MEMS压电传感器相结合，皮拉尼真空计成为一个真正的宽范围真空计，其测量范围远远超过通常的1000mbar，也可延伸到大气层。同时，MEMS压电传感器提供独立于气体类型的压力测量，范围为2 ...1333毫巴。上述技术的另一个优点是增加了对加速力和振动的抵抗力。

最后但并非最不重要的是，新的INFICON PPG570可以用来直接取代所谓的MKS Instruments MKS901P "MicroPirani™和压电负载锁真空压力传感器"。PPG570提供相同的连接器/引脚分配、模拟输出和RS232/485数字通信协议兼容性。

好处

2mbar以上的气体类型独立--允许任何气体混合物的安全排放
大气层的高精度和重现性--用于可靠、快速的大气层压力检测
大气层环境压力测量多
达3个固态继电器
安装方向的多样性--为工具设计提供工程自由度
可选择的模拟输出信号，便于系统集成
数字接口RS232/RS485
能够直接滴入替代MKS901P "MicroPirani™-和压电式负载锁真空压力传感器"。
合规性和标准。CE, EN, UL, CSA, RoHS

典型应用

半导体负载锁应用
在分析设备/质量分光计
中使用
物理气相沉积
物理气相沉积

规格

Measurement range (N2)	mbar	1x10^-6 … 1333

Accuracy

1100 ... 1333 mbar	% of reading	0.5
800 ... 1099 mbar	% of reading	0.25
100 ... 800 mbar	% of reading	0.5
2 ... 99.9 mbar	% of reading	1
1 x 10-4 ... 1.99 mbar	% of reading	5
1 x 10-5 ... 9.99 x 10-5 mbar	% of reading	25

Temperature compensation	°C	+10 … +50

Temperature measurement absolute accuracy	°C	+1.5 (0 … +80)

Supply voltage at the gauge	V (dc)	+12 … +30 ripple max. 1 V_pp