被动真空计

PSG010, PSG017 & PSG018

适用于VGC094的Pirani被动式测量头

PSG01X
嵌入式选项

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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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真空计表头PSG010、PSG017和PSG018是历史悠久的被动式皮拉尼真空计,可与真空计控制器VGC094搭配使用。它们专为压力范围在8×10-4到1000 mbar的气体真空测量而设计。紧凑的金属设计提供了适合一般真空应用的坚固解决方案。
PSG010适用于一般真空应用,而PSG017和PSG018则因其金属密封设计,可满足烘烤温度高达250°C或抗高度电离辐射的严苛应用需求。PSG017的镍丝适用于腐蚀性介质应用。

优势

  • 弹性体(PSG010)或金属密封(PSG017,PSG018)设计
  • 指定的高测量准确度与重复性
  • 烘烤温度高达100°C(PSG010)/ 250°C(PSG017,PSG018)
  • 抗电离辐射高达106Gy(PSG017,PSG018)
  • 镍丝耐腐蚀(PSG017)
  • 电缆长度可达100公尺(PI 300 DL/CP 300 T11L可达500公尺)

 

典型应用

  • 适用于要求严苛和/或高温应用的一般真空测量与控制,真空范围从低真空到高真空

运行套件

  • 真空計控制器 VGC094

规格

PSG010
PSG017
PSG018
測量原理皮拉尼
测量范围(空气、O2、CO、N2)8×10-4 … 1000 mbar
准确度 (N2) 
在 ≥100 mbar 的范围內读数的因素 2 以下
室溫且 
电缆长度 <20 m
1×10-1... 10 mbar 范围内读数的 ~±20%
≤10-2mbar 范围内读数的 2 倍以下
重复性 (N2)~±2% 的读数,范围为 1×10-2... 100 mbar
內部密封玻璃 | 弹性体 (FPM)
烘烤溫度≤100 °C
最大操作距离≤100 m
暴露于真空的材料AIMgSi、玻璃、FPM、W、Ni、烧结青銅
特点钨(W) 
測量原理皮拉尼
測量范围(空气、O2、CO、N2)8×10-4 … 1000 mbar
准确度 (N2) 
在 ≥100 mbar 的范围內读数的 2 倍以下
室溫且 
电缆长度 <20 m
~±10% 讀數的范围 1×10-2... 100 mbar
重复性 (N2) 1×10-2... 100 mbar 范围內 ~±2% 的读数100 mbar
內部密封AI2O3陶瓷 | 金屬
烘烤溫度≤250 °C
最大操作距離≤100 m
电辐射射耐受性106 Gy
暴露于真空的材料不锈钢、AI2O3、银、镍
特点镍 (Ni) 絲,耐腐蝕
測量原理皮拉尼
測量範圍(空氣、O2、CO、N2)8×10-4 … 1000 mbar
準確度 (N2) 
在 ≥100 mbar 的範圍內讀數的 2 倍以下
室溫且 
電纜長度 <20 m
~±10% 讀數的範圍為 1×10-2... 100 mbar
高達 +70 °C 且在整個 
指定電纜長度的整個範圍內
~±20% 讀數的範圍為 1×10-2... 100 mbar
在整個指定範圍內 
溫度和電纜長度
1×10-2... 100 mbar 範圍內 ~±35% 的讀數 100 mbar
重複性 (N2)~±2% 讀數在 1×10-2... 的範圍內 100 mbar
內部密封AI2O3 陶瓷 | 金屬
烘烤溫度≤250 °C
最大操作距離≤500 m (使用 PI 300 DL/CP 300 T11L)
電離輻射耐受性106 Gy
暴露於真空中的材料不銹鋼、AI2O3、銀、鎢、鎳
特點鎢 (W) 絲

零件编号

零件编号
配件
 PSG010
350-400DN 10 ISO-KF
  
 PSG017
350-430DN 16 ISO-KF
350-431DN 16 CF-F
  
 PSG018
350-420DN 16 ISO-KF
350-424DN 16 CF-F
350-423DN 40 CF-F
 连接 VGC094 的线缆
 至 PSG010 80°C
BG548402-T3 m (9.9 ft)
BG548403-T6 m (19.8 ft)
BG548450-T10 m (33 ft)
BG548451-T15 m (49 ft)
  
 连接 VGC094 的线缆
 至 PSG017/018 80°C
BG548308-T3 m (9.9 ft)
BG548309-T6 m (19.8 ft)
BG548456-T10 m (33 ft)
BG548457-T15 m (49 ft)
  
 连接VGC094 的线缆
 至 PSG017/018 250°C
BG548414-T3 m (9.9 ft)
BG548465-T6 m (19.8 ft)
BG448047-T10 m (33 ft)
BG448043-T15 m (49 ft)
  
 適用於 PSG010/017/018 的延長線 80°C
BG548466-T10 m (33 ft)
BG548468-T20 m (65 ft)
BG548470-T30 m (99 ft)
改产品用于以下市场
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分析仪器

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半导体IDM和晶圆代工厂

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真空镀膜

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