电容式压力计

SKY® CDG025D

全量程 0.1 ... 1000 Torr / mbar

嵌入式选项

与我们一起彻底改变您的真空计使用体验！

INFICON SKY CDG025D 电容式隔膜真空计系列的高精度、温度补偿型压力计，可以在恶劣的生产加工环境中提供稳定的性能。高级数字电子元件可提高仪表性能, 且易操作, 例如一键归零功能和设定点调整。防腐蚀陶瓷传感器具的零点稳定性出色，预计寿命可达到数百万个加压循环，包括突发大气压。独有的传感器屏蔽（专利申请中）可防止仪表被过程污染。坚固的机械设计和数字电子元件可以改进电磁兼容性 (EMC)、长期稳定性和温度补偿。CDG025D 为开机后快速稳定以及从气压中快速恢复的功能树立了新的标准。

好处

从 100 mTorr 至 1000 Torr 的满刻度量程
电源接通后快速稳定
暴露于大气压后快速恢复
防腐蚀陶瓷传感器
卓越的长期信号稳定性
温度补偿
传感器受防污染保护
一键调零功能
宽范围电源

典型应用

用于蚀刻、CVD、PVD 和 ALD 的半导体制造设备
数据存储和显示器制造设备
工业真空设备
经济、高度精确的压力测量

规格

1000 Torr / 1100 mbar

500 ... 10 Torr / mbar

1 Torr / mbar

0.25 Torr

0.1 Torr / mbar

精度	% of reading	0.2

分辨率	percent FS	0.003

输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10

反应时间	ms	30

暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass

精度	% of reading	0.2

分辨率	percent FS	0.003

输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10

反应时间	ms	30

暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass

精度	% of reading	0.2

分辨率	percent FS	0.003

输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10

反应时间	ms	30

暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass

精度	% of reading	0.25

分辨率	percent FS	0.003

输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10

反应时间	ms	130

暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass

精度	% of reading	0.5

分辨率	percent FS	0.003

输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10

反应时间	ms	130

暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass

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下载

手册

SKY® CDG025D Brochure

pdf • 1,9 MB • 英文 • 手册

数据表

SKY® CDG025D 0.1 ... 1000 Torr/mbar DE

pdf • 499,6 KB • 德语 • 数据表

SKY® CDG025D Datasheet

pdf • 166,5 KB • 英文 • 数据表

SKY® CDG025D 0.1 ... 1000 Torr / mbar

pdf • 539,2 KB • 西班牙语 • 数据表

SKY® CDG025D 0.1 ...1000 Torr / mbar JA

pdf • 640,3 KB • 日语 • 数据表

SKY® CDG025D 0.1 ... 1,000 Torr/mbar KO

pdf • 538,9 KB • 韩语 • 数据表

SKY® CDG025D 0.1 ... 1000 托 / 毫巴 ZH

pdf • 619,9 KB • 中文 • 数据表

手册

pdf • 1,1 MB • 中文 • 操作手册

Manual CDG025D ZH

pdf • 391,9 KB • 日语 • 操作手册

Manual CDG025D DE

pdf • 983,5 KB • 德语 • 操作手册

pdf • 979,7 KB • 英文 • 操作手册

CDGxxxD Kommunikationsanleitung RS232C

pdf • 188,5 KB • 德语 • 操作手册

CDGxxxD Communication manual RS232C

pdf • 187,4 KB • 英文 • 操作手册

3D文件

SKY CDG025D 16CF 15DSUB

zip • 409,7 KB • 3D文件

SKY CDG025D 16KF 15DSUB

zip • 447,3 KB • 3D文件

SKY CDG025D 4-VCR-f 15DSUB

zip • 269,6 KB • 3D文件

SKY CDG025D 4-VCR-m 15DSUB

zip • 372,4 KB • 3D文件

SKY CDG025D 8-VCR-f 15DSUB

zip • 457,6 KB • 3D文件

SKY CDG025D tube 15DSUB

zip • 444,7 KB • 3D文件

尺寸图

CDG025D dimensions

png • 137,5 KB • 德语, 日语, 韩语, 西班牙语, 中文, 英文 • 尺寸图

该产品被用于以下市场

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