电容式压力计
SKY® CDG025D-X3
全量程 0.1 ... 1000 Torr / mbar
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Gemini™ MxG5xx
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在对精度和可靠性要求极高的应用中，INFICON SKY 推出了 CDG025D-X3 电容式隔膜真空计，这是一款用于压力测量和控制的顶级产品。这款压力表将数十年的经验与最先进的技术相结合，在业内树立了无与伦比的标准。
SKY® CDG025D-X3 简介
高精度温度补偿： CDG025D-X3 采用先进的温度补偿技术。这确保了仪器即使在极端条件下也能提供可靠、准确的测量。
耐腐蚀陶瓷传感器具有出色的零点稳定性，使用寿命长达数百万次压力循环，包括大气爆破。
先进的数字电子元件： 这款压力表的电子元件不仅是最先进的，而且还提供了一系列令人印象深刻的功能。一键归零和设定点调整功能提高了使用的便捷性。
最新 SKY® 技术
长寿命陶瓷传感器： 耐腐蚀的超陶瓷传感器使压力表具有出色的长期信号稳定性和数百万次压力循环的预期寿命，即使在大气压力下降时也是如此。
此外，正在申请专利的传感器防护罩可保护压力表免受工艺污染。这一点在半导体生产设备等典型应用中尤为重要，特别是在蚀刻、CVD、PVD 和 ALD 等工艺中。CDG025D-X3 也非常适合数据存储和显示制造设备、工业真空工艺设备以及需要高精度的一般压力测量。
特质和优势
在当今的工业环境中，电磁干扰可能是一个严重的问题，CDG025D-X3 在设计时充分考虑了电磁兼容性。此外，CDG025D-X3 还具有出色的长期稳定性和温度补偿功能，可确保多年的可靠性能。
此外，CDG025D-X3 还具有开机后快速稳定和暴露于大气压力后同样快速恢复的特性，是要求苛刻的工业应用中不可或缺的仪器。它不仅仅是一个真空计，更是真空测量技术领域质量和创新的象征。
益处
- 全量程范围为 100 mTorr ... 1000 Torr
- 通电后快速稳定
- 从大气压快速恢复
- 耐腐蚀陶瓷传感器
- 出色的长期信号稳定性
- 温度补偿
- 传感器双重保护，防止污染
- 一键归零功能
- 宽范围电源
- 2 个设定点
- RS232 接口
- 符合无尘室标准
典型应用
- 用于蚀刻、CVD、PVD、ALD 的半导体制造设备
- 数据存储和显示制造设备
- 工业真空设备
- 一般高精度压力测量
技术规格
1000 Torr / 1100 mbar
500 ... 10 Torr / mbar
1 Torr / mbar
0.25 Torr
0.1 Torr / mbar
| 精度 | % of 读数 | 0.2 |
| 分辨率 | % FS | 0.003 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 |
| 反应时间 | ms | 30 |
| 暴露于真空的材料 | 氧化铝陶瓷 (AI2O3), 不锈钢 (AISI 316L) |
| 精度 | % 读数 | 0.2 |
| 分辨率 | % FS | 0.003 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 |
| 反应时间 | ms | 30 |
| 暴露于真空的材料 | 氧化铝陶瓷 (AI2O3), 不锈钢 (AISI 316L) |
| 精度 | % 读数 | 0.2 |
| 分辨率 | % FS | 0.003 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 |
| 反应时间 | ms | 30 |
| 暴露于真空的材料 | 氧化铝陶瓷 (AI2O3), 不锈钢 (AISI 316L) |
| 精度 | % 读数 | 0.25 |
| 分辨率 | % FS | 0.003 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 |
| 反应时间 | ms | 130 |
| 暴露于真空的材料 | 氧化铝陶瓷 (AI2O3), 不锈钢 (AISI 316L) |
| 精度 | % 读数 | 0.5 |
| 分辨率 | % FS | 0.003 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 |
| 反应时间 | ms | 130 / 30 (3) |
| 暴露于真空的材料 | 氧化铝陶瓷 (AI2O3), 不锈钢 (AISI 316L) |
零件编号
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数据表
SKY® CDG025D-X3 0.1 ... 1000 Torr/mbar Prozessmessröhre DE
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SKY® CDG025D-X3 Datasheet
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SKY® CDG025D-X3 0.1 ... Calibre de proceso 1000 Torr / mbar
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SKY® CDG025D-X3 0.1 ...1000 Torr / mbar プロセスゲージ JA
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数据表
SKY® CDG025D-X3 0.1 ... 1,000 Torr/mbar 공정 게이지 KO
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数据表
SKY® CDG025D-X3 0.1 ... 1000 托 / 毫巴过程压力真空计 ZH
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