电容式压力计

SKY® CDG025D-X3, 4-20mA

全量程 0.1 ... 1000 Torr / mbar

嵌入式选项

与我们一起彻底改变您的真空计使用体验！

INFICON SKY CDG025D 电容膜片真空计属于高精度温度补偿型真空计，在苛刻的生产环境中具有稳定的性能。先进的数字电子设备提高真空计的性能和易于使用的特点，如一键调零功能和设定点调整。抗腐蚀性的超纯陶瓷传感器具有卓越的零点稳定性和预计数百万次压强周期（包括大气冲击）的长使用寿命。独特的传感器屏蔽（专利申请中）保护真空计免受过程污染。坚固耐用的机械设计和数字电子设备改善了 EMC 兼容性、长期稳定性和温度补偿。 CDG025D 为电源接通后的快速稳定与暴露大气压后的快速恢复等特性设定了新标准。

好处

全刻度范围从 100 毫托 … 1000 托
电源接通后快速稳定
暴露于大气压后快速恢复
防腐陶瓷传感器
卓越的长期信号稳定性
温度补偿
传感器防污染双层保护
一键调零功能
电源范围广
2 个设定点
RS232 接口
Remote zero included
符合洁净室标准
Status LED

典型应用

用于刻蚀、CVD、PVD、ALD 的半导体生产设备
数据存储和显示制造设备
工业真空设备
常规高精度压力测量

规格

1000 Torr / 1100 mbar

500 ... 10 Torr / mbar

1 Torr / mbar

0.25 Torr

0.1 Torr / mbar

精度	% of reading	0.2

分辨率	percent FS	0.003

输出信号（模拟）
Signal range	mA	3.8 ... 20.2
Measuring range (zero ...FS)	mA	4.0 ... 20.0
Relationship current-pressure	Relationship current-pressure	linear

反应时间	ms	≤100

暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

精度	% of reading	0.2

分辨率	percent FS	0.003

输出信号（模拟）
Signal range	mA	3.8 ... 20.2
Measuring range (zero ...FS)	mA	4.0 ... 20.0
Relationship current-pressure	Relationship current-pressure	linear

反应时间	ms	≤100

暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

精度	% of reading	0.2

分辨率	percent FS	0.003

输出信号（模拟）
Signal range	mA	3.8 ... 20.2
Measuring range (zero ...FS)	mA	4.0 ... 20.0
Relationship current-pressure	Relationship current-pressure	linear

反应时间	ms	≤100

暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

精度	% of reading	0.25

分辨率	percent FS	0.003

输出信号（模拟）
Signal range	mA	3.8 ... 20.2
Measuring range (zero ...FS)	mA	4.0 ... 20.0
Relationship current-pressure	Relationship current-pressure	linear

反应时间	ms	≤100

暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

精度	% of reading	0.5

分辨率	percent FS	0.003

输出信号（模拟）
Signal range	mA	3.8 ... 20.2
Measuring range (zero ...FS)	mA	4.0 ... 20.0
Relationship current-pressure	Relationship current-pressure	linear

反应时间	ms	≤100

暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)